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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅基太阳能电池,尤其涉及一种多结、高效硅基太阳能电池的制作方法。
技术介绍
1、硅基太阳能电池单结光电转换率理论上达到28%,而目前国内实验室为26%左右,量化生产在22%-25%之间,其光电转换功能发挥迈进极限,因此提出一种多结高效硅基太阳能电池的制作方法,用以提升太阳能电池的光电转换效率就显得十分有必要了。
技术实现思路
1、(一)要解决的技术问题
2、为了解决现有技术的上述问题,本专利技术提供一种多结、高效硅基太阳能电池的制作方法,旨在利用磁控溅射镀膜技术,使太阳的自然光谱能够多次、充分利用,以达到提高硅基太阳能电池的光电转换效率的目的。
3、(二)技术方案
4、为了达到上述目的,本专利技术采用的主要技术方案包括:
5、一种多结、高效硅基太阳能电池的制作方法,包括以下步骤:
6、x1、取常规达标硅基太阳能硅片作为基材;
7、x2、采用硅基合金作为镀膜用的靶材;
8、x3、进行磁控溅射镀膜:采用中频或射频,在真空中依次进行磁控溅射镀膜,硅合金在硅基太阳能硅片上进行n、p型转换镀膜,使得硅基太阳能硅片表面交替形成n型镀膜和p型镀膜,形成多结层次;
9、x4、镀膜完成后,对硅基太阳能硅片的四周边缘进行离子刻蚀防止短路;
10、x5、进行丝网印刷制电路。
11、(三)有益效果
12、本专利技术的有益效果是:在实际实施过程中,通过镀膜填补硅基
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1.一种多结、高效硅基太阳能电池的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
【技术特征摘要】
1.一种多结、高效硅基太阳能电池的制...
【专利技术属性】
技术研发人员:戴文伟,林霞,胡满根,
申请(专利权)人:将乐三晶新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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