【技术实现步骤摘要】
本说明书中实施方式关于生产工艺，具体地说，涉及生产工艺下的工艺配方处理技术，更具体地说，涉及一种工艺配方的同步方法、装置及半导体工艺设备。
技术介绍
1、工艺配方可以简单理解为用于生产产品的工艺步骤的记录。设备在生产该产品时，通常会严格按照工艺配方进行生产。并且，为了更好的监控设备中的工艺配方，通常会设置一监控设备，将所有工艺配方同步到监控设备进行监控。
2、然而，随着设备的不断使用，其中工艺配方的数量也在不定期的增加，从而使得设备在使用一段时间之后，其内部工艺配方的数量往往至少有数百个，此时，需要花费很长的时间才能完成工艺配方的同步。
技术实现思路
1、本说明书中多个实施方式提供一种工艺配方的同步方法、装置及半导体工艺设备，以实现快速同步工艺设备中的工艺配方的目的。
2、第一方面，本说明书的一个实施方式提供了一种工艺配方的同步方法，所述工艺配方的同步方法包括：
3、采用多线程的异步任务处理方式，确定目标工艺设备中未存储于配方数据库的目标工艺配方，并将所述目标工艺配方同步至所述配方数据库；
4、所述采用多线程的异步任务处理方式包括：采用目标数量的子线程，并行执行目标任务，所述目标任务包括确定目标工艺设备中未存储于配方数据库的目标工艺配方，并将所述目标工艺配方同步至所述配方数据库。
5、在一些实施方式中，所述配方数据库用于存储工艺监控应用所展示的工艺配方，所述工艺监控应用用于监控所述目标工艺设备。
6、在一些实施
7、获取所述目标工艺设备的目标配方数据，其中，所述目标配方数据包括：所述目标工艺设备中的工艺配方的标识信息；
8、将所述目标配方数据分配至目标数量的子线程，其中，不同的所述子线程被分配不同工艺配方的标识信息；
9、分别针对每一所述子线程，在所述子线程中遍历其被分配的标识信息，并在原配方数据未包含被遍历到的标识信息指示的工艺配方的情况下，将所述被遍历到的标识信息指示的工艺配方确定为所述目标工艺配方，并将所述目标工艺配方同步至所述配方数据库；其中，所述原配方数据包括：将目标工艺配方同步至所述配方数据库前，所述配方数据库中存储的工艺配方。
10、在一些实施方式中，所述标识信息包括：工艺配方的配方名称和修改时间。
11、在一些实施方式中，将所述目标工艺配方同步至所述配方数据库，包括：
12、基于所述目标工艺配方的标识信息，从所述目标工艺设备中获取所述目标工艺配方；
13、解析所述目标工艺配方的工艺步骤；
14、通过单次数据库操作，将所述目标工艺配方按照所述工艺步骤的顺序存储至所述配方数据库。
15、在一些实施方式中，所述解析所述目标工艺配方的工艺步骤，包括：
16、解析所述目标工艺配方，将相邻的步骤名称字段之间的数据确定为前一步骤名称字段对应的工艺步骤，并将所述目标工艺配方中最后一个步骤名称字段之后的数据确定为最后一个工艺步骤。
17、在一些实施方式中，所述单次数据库操作包括基于一条数据库指令触发的数据库插入操作。
18、在一些实施方式中，将所述目标配方数据分配至目标数量的子线程之前，所述方法还包括：
19、响应于用户的目标输入，调整所述目标数量。
20、第二方面，本说明书的一个实施方式提供了一种工艺配方的同步装置，用于同步上位机中的工艺配方，所述工艺配方的同步装置包括：处理器和存储器；
21、其中，所述存储器与所述处理器连接，所述存储器用于存储计算机程序；
22、所述处理器，用于通过运行所述存储器中存储的计算机程序，实现如上述任一项所述的工艺配方的同步方法。
23、第三方面，本说明书的一个实施方式提供了一种工艺配方的同步装置，所述工艺配方的同步装置包括：
24、同步模块，用于采用多线程的异步任务处理方式，确定目标工艺设备中未存储于配方数据库的目标工艺配方，并将所述目标工艺配方同步至所述配方数据库。
25、在一些实施方式中，所述配方数据库用于存储工艺监控应用所展示的工艺配方，所述工艺监控应用用于监控所述目标工艺设备。
26、在一些实施方式中，所述同步模块，包括：
27、获取单元，用于获取所述目标工艺设备的目标配方数据，其中，所述目标配方数据包括：所述目标工艺设备中的工艺配方的标识信息；
28、分配单元，用于将所述目标配方数据分配至目标数量的子线程，其中，不同的所述子线程被分配不同工艺配方的标识信息；
29、同步单元，用于分别针对每一所述子线程，在所述子线程中遍历其被分配的标识信息，并在原配方数据未包含被遍历到的标识信息指示的工艺配方的情况下，将所述被遍历到的标识信息指示的工艺配方确定为所述目标工艺配方，并将所述目标工艺配方同步至所述配方数据库；其中，所述原配方数据包括：将目标工艺配方同步至所述配方数据库前，所述配方数据库中存储的工艺配方。
30、在一些实施方式中，所述标识信息包括：工艺配方的配方名称和修改时间。
31、在一些实施方式中，所述同步单元，具体用于：
32、基于所述目标工艺配方的标识信息，从所述目标工艺设备中获取所述目标工艺配方；
33、解析所述目标工艺配方的工艺步骤；
34、通过单次数据库操作，将所述目标工艺配方按照所述工艺步骤的顺序存储至所述配方数据库。
35、在一些实施方式中，所述同步单元中的解析所述目标工艺配方的工艺步骤，包括：
36、解析所述目标工艺配方，将相邻的步骤名称字段之间的数据确定为前一步骤名称字段对应的工艺步骤，并将所述目标工艺配方中最后一个步骤名称字段之后的数据确定为最后一个工艺步骤。
37、在一些实施方式中，所述装置还包括：
38、响应模块，用于响应于用户的目标输入，调整所述目标数量。
39、第四方面，本说明书的一个实施方式提供了一种半导体工艺设备，包括：上位机和与所述上位机通信连接的工艺配方同步装置；
40、所述上位机包括：用于工艺生产的多个工艺配方；
41、所述工艺配方同步装置用于执行上述任一项所述的工艺配方的同步方法，以同步所述上位机中的工艺配方
42、第五方面，本说明书的一个实施方式提供了一种电子设备，包括处理器和存储器；
43、其中，所述存储器与所述处理器连接，所述存储器用于存储计算机程序；
44、所述处理器，用于通过运行所述存储器中存储的计算机程序，实现如第一方面任一项所述的工艺配方的同步方法。
45、第六方面，本说明书的一个实施方式提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种工艺配方的同步方法，其特征在于，所述工艺配方的同步方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用多线程的异步任务处理方式，确定目标工艺设备中未存储于配方数据库的目标工艺配方，并将所述目标工艺配方同步至所述配方数据库，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述标识信息包括：工艺配方的配方名称和修改时间。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，将所述目标工艺配方同步至所述配方数据库，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述解析所述目标工艺配方的工艺步骤，包括：
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述单次数据库操作包括基于一条数据库指令触发的数据库插入操作。
7.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，将所述目标配方数据分配至目标数量的子线程之前，所述方法还包括：
8.一种工艺配方同步装置，用于同步上位机中的工艺配方，其特征在于，包括：处理器和存储器；
9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序
10.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括：上位机和与所述上位机通信连接的工艺配方同步装置；
...【技术特征摘要】
1.一种工艺配方的同步方法，其特征在于，所述工艺配方的同步方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用多线程的异步任务处理方式，确定目标工艺设备中未存储于配方数据库的目标工艺配方，并将所述目标工艺配方同步至所述配方数据库，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述标识信息包括：工艺配方的配方名称和修改时间。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，将所述目标工艺配方同步至所述配方数据库，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述解析所述目标工艺配方的工艺步骤，包括：
6.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：张军，刘亚欣，蒋丽娜，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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