【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆生产，特别是涉及一种晶圆传送机械手。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
2、晶圆在生产过程中大多使用机械手来进行传送，现有的机械手对于晶圆无法进行有效固定，晶圆在传送过程中很容易从机械手上脱落，如此会造成不必要的损失，需要加以改进。
技术实现思路
1、本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆传送机械手。
2、本技术通过以下技术方案来实现上述目的：
3、一种晶圆传送机械手，包括载板、挡环，所述挡环固定在所述载板上，还包括用于对晶圆进行固定的固定机构，所述固定机构安装在所述载板下方；
4、所述固定机构包括固定箱、固定组件，所述固定组件安装在所述固定箱上，所述固定组件包括电机、丝杠、移动套、连接杆、圆弧杆，所述丝杠固定在所述电机输出端，所述移动套安装在所述丝杠外侧，所述连接杆安装在所述移动套侧面，所述圆弧杆安装在所述连接杆远离所述移动套的一端。
5、优选的，限位机构安装在所述固定机构上，所述限位机构包括固定架、限位组件，所述限位组件安装在所述固定架上。
6、优选的，所述限位组件包括固定杆、限位杆，所述限位杆安装在所述固定杆外侧。
7、优选的，所述固定箱的材质为铝合金，所述电机与所述固定
8、优选的，所述移动套的形状为正方体，所述圆弧杆与所述连接杆焊接。
9、优选的，所述固定杆与所述固定架焊接，所述限位杆的材质为不锈钢。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
11、通过设置固定机构，将需要传送的晶圆放置在载板上的圆槽中，启动电机，电机带动丝杠转动，丝杠转动带动移动套移动，移动套通过连接杆带动圆弧杆移动，圆弧杆移动与晶圆接触，两个圆弧杆共同协作对圆槽中的晶圆进行夹持固定，如此有效提高了晶圆在传送过程中的稳定性，能够避免晶圆脱落的情况发生。
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1.一种晶圆传送机械手，包括载板(1)、挡环(2)，所述挡环(2)固定在所述载板(1)上，其特征在于：还包括用于对晶圆进行固定的固定机构(5)，所述固定机构(5)安装在所述载板(1)下方；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆传送机械手，其特征在于：限位机构(6)安装在所述固定机构(5)上，所述限位机构(6)包括固定架(601)、限位组件，所述限位组件安装在所述固定架(601)上。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆传送机械手，其特征在于：所述限位组件包括固定杆(602)、限位杆(603)，所述限位杆(603)安装在所述固定杆(602)外侧。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆传送机械手，其特征在于：所述固定箱(501)的材质为铝合金，所述电机(502)与所述固定箱(501)通过螺栓连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆传送机械手，其特征在于：所述移动套(504)的形状为正方体，所述圆弧杆(506)与所述连接杆(505)焊接。
6.根据权利要求3所述的一种晶圆传送机械手，其特征在于：所述固定杆(602)与所述固定架(601)焊
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆传送机械手，包括载板(1)、挡环(2)，所述挡环(2)固定在所述载板(1)上，其特征在于：还包括用于对晶圆进行固定的固定机构(5)，所述固定机构(5)安装在所述载板(1)下方；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆传送机械手，其特征在于：限位机构(6)安装在所述固定机构(5)上，所述限位机构(6)包括固定架(601)、限位组件，所述限位组件安装在所述固定架(601)上。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆传送机械手，其特征在于：所述限位组件包括固定杆(602)、限位杆(603)，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：田耕，徐新玉，王志远，
申请(专利权)人：郑州轨道交通信息技术研究院，
类型：新型
国别省市：
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