【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆检测，特别涉及一种晶圆传片检测用led灯。
技术介绍
1、晶圆由硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆常用于芯片的载体，以及在晶圆上加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。
2、在公开号为cn217059905u的中国技术专利中公开了一种晶圆外观缺陷快速检测设备，包括机座、机架及晶圆座，所述机座设有一灯槽及控制面板，所述灯槽内设有led灯组，所述机架及晶圆座分别安装在机座上，所述机架上设有检测镜头及xy活动轴，所述检测镜头安装在xy活动轴上，所述晶圆座设置在led灯组上方及检测镜头下方，所述晶圆座设有滑轨、连座及卡座，所述滑轨具有两个并设置在灯槽两边的机座上，所述连座具有两个并连接两滑轨，所述卡座具有两个并分别设置在两连座上用于固定晶圆板，所述晶圆板上设有待检测的晶圆，所述控制面板分别与led灯组、检测镜头及xy活动轴相连。
3、针对上述中的相关技术，专利技术人认为存在以下缺陷：led灯组长时间使用后，灯组中的个别led灯珠容易损坏，上述专利中难以对个别led灯珠进行单独维修更换，需要整体更换灯组，提高了使用成本，且损坏的led灯影响了晶圆检测结果，从而影响了晶圆的质量。
技术实现思路
1、为了解决上述问题，本技术提供一种晶圆传片检测用led灯。
2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种晶圆传片检测用led灯，包括灯座，所述灯座底部开设有多个矩形阵列分布安放槽，每个
3、通过采用上述技术方案，l型连接杆采用弹性材料制成，当需要对led灯珠进行更换时，工作人员通过转动灯罩，将l型连接杆转动至安装槽一侧，从而使l型连接杆从l型槽内取出，以此将灯罩从灯座上拆卸下来，便于对损坏的led灯珠进行更换，更换后只需将l型连接杆对准安装槽并插入，同时转动灯罩带动l型连接杆转动，使得l型连接杆卡接在与安装槽连通的l型槽内，从而将灯罩安装在灯座上，避免了因个别led灯珠损坏而更换整体灯组的情况，降低了使用成本。
4、进一步的，所述l型槽的水平部内底壁开设有环形槽，所述l型连接杆上安装有与环形槽滚动连接的滚珠。
5、通过采用上述技术方案，滚珠与环形槽的滚动连接，减小了l型连接杆在l型槽内转动产生的摩擦力，使得工作人员转动灯罩更加省力，从而降低了安装和拆卸灯罩的难度。
6、进一步的，所述l型连接杆侧壁开设有安装口，所述安装口内顶壁开设有与滚珠配合的球形槽，所述安装口内底壁开设有用于安装滚珠的球形孔。
7、通过采用上述技术方案，l型连接杆采用弹性材料制成，当需要安装滚珠时，工作人员只需将安装口向上掰动，将滚珠放置在球形孔内，再松开安装口，在l型连接杆的弹力作用下，使球形槽对滚珠限位，从而将滚珠安装在l型连接杆上，有利于对滚珠安装更换。
8、进一步的，所述安装口内底壁开设有螺纹槽，所述l型连接杆上贯穿设置有与螺纹槽螺纹连接的螺钉。
9、通过采用上述技术方案，滚珠放入球形孔后，将螺钉拧紧在l型连接杆上螺纹槽中，对安装口进行限位，降低了因安装口松开导致滚珠脱离l型连接杆的概率。
10、进一步的，所述灯罩上表面固定有气垫，所述气垫上表面与阶梯槽内底壁抵紧。
11、通过采用上述技术方案，气垫具有良好的弹性和柔软性，对灯罩起到了良好的缓冲作用，灯罩与阶梯槽内壁配合并抵紧气垫，有利于减少转动灯罩导致灯罩上表面与阶梯槽下表面的磨损，同时还增强了对安放槽的密封性能，降低了长时间使用因灰尘等杂质进入安放槽内导致led灯珠损坏的概率。
12、进一步的，所述灯罩下表面设置有多个凸起。
13、通过采用上述技术方案，多个凸起增加了灯罩表面的摩擦力，为工作人员转动灯罩提供了良好的着力点，便于对灯罩进行安装拆卸，提高了更换led灯珠的效率。
14、进一步的，所述灯座上表面固定有散热鳍片，所述散热鳍片侧壁开设有多个安装孔。
15、通过采用上述技术方案，led灯在长时间使用时，会产生较多的热量，利用散热鳍片以复合的热交换模式来散热，能有效给led灯降温，降低了因高温导致led灯珠损坏的概率，同时安装孔的设置便于led灯的固定。
16、进一步的，所述l型连接杆为弹簧钢材质制成的l型连接杆。
17、通过采用上述技术方案，弹簧钢材质具有强度大、弹性极限好以及有较高韧性的特点，有利于通过l型连接杆安装拆卸灯罩。
18、综上所述，本技术具有以下有益效果：
19、1、本申请中，l型连接杆采用弹性材料制成，当需要对led灯珠进行更换时，工作人员通过转动灯罩，将l型连接杆转动至安装槽一侧，从而使l型连接杆从l型槽内取出，以此将灯罩从灯座上拆卸下来，便于对损坏的led灯珠进行更换，更换后只需将l型连接杆对准安装槽并插入，同时转动灯罩带动l型连接杆转动，使得l型连接杆卡接在与安装槽连通的l型槽内，从而将灯罩安装在灯座上，避免了因个别led灯珠损坏而更换整体灯组的情况，降低了使用成本；
20、2、本申请中，滚珠与环形槽的滚动连接，减小了l型连接杆在l型槽内转动产生的摩擦力，使得工作人员转动灯罩更加省力，从而降低了安装和拆卸灯罩的难度；
21、3、本申请中，l型连接杆采用弹性材料制成，当需要安装滚珠时，工作人员只需将安装口向上掰动，将滚珠放置在球形孔内，再松开安装口，在l型连接杆的弹力作用下，使球形槽对滚珠限位，从而将滚珠安装在l型连接杆上，有利于对滚珠安装更换。
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1.一种晶圆传片检测用LED灯，包括灯座(1)，其特征是：所述灯座(1)底部开设有多个矩形阵列分布安放槽(11)，每个所述安放槽(11)中均安装有LED灯珠(2)，每个所述安放槽(11)内壁与灯座(1)下表面之间的相交处均开设有阶梯槽(12)，每个所述阶梯槽(12)内均设置有灯罩(3)，所述灯罩(3)上固定有L型连接杆(4)，所述阶梯槽(12)内顶壁开设与L型连接杆(4)配合的L型槽(121)，所述阶梯槽(12)内顶壁开设有与L型槽(121)连通的安装槽(122)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆传片检测用LED灯，其特征是：所述L型槽(121)的水平部内底壁开设有环形槽(1211)，所述L型连接杆(4)上安装有与环形槽(1211)滚动连接的滚珠(5)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆传片检测用LED灯，其特征是：所述L型连接杆(4)侧壁开设有安装口(41)，所述安装口(41)内顶壁开设有与滚珠(5)配合的球形槽(411)，所述安装口(41)内底壁开设有用于安装滚珠(5)的球形孔(412)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆传片检测用LED
5.根据权利要求4所述的一种晶圆传片检测用LED灯，其特征是：所述灯罩(3)上表面固定有气垫(6)，所述气垫(6)上表面与阶梯槽(12)内底壁抵紧。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆传片检测用LED灯，其特征是：所述灯罩(3)下表面设置有多个凸起(7)。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆传片检测用LED灯，其特征是：所述灯座(1)上表面固定有散热鳍片(8)，所述散热鳍片(8)侧壁开设有多个安装孔(81)。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆传片检测用LED灯，其特征是：所述L型连接杆(4)为弹簧钢材质制成的L型连接杆(4)。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆传片检测用led灯，包括灯座(1)，其特征是：所述灯座(1)底部开设有多个矩形阵列分布安放槽(11)，每个所述安放槽(11)中均安装有led灯珠(2)，每个所述安放槽(11)内壁与灯座(1)下表面之间的相交处均开设有阶梯槽(12)，每个所述阶梯槽(12)内均设置有灯罩(3)，所述灯罩(3)上固定有l型连接杆(4)，所述阶梯槽(12)内顶壁开设与l型连接杆(4)配合的l型槽(121)，所述阶梯槽(12)内顶壁开设有与l型槽(121)连通的安装槽(122)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆传片检测用led灯，其特征是：所述l型槽(121)的水平部内底壁开设有环形槽(1211)，所述l型连接杆(4)上安装有与环形槽(1211)滚动连接的滚珠(5)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆传片检测用led灯，其特征是：所述l型连接杆(4)侧壁开设有安装口(41)，所述安装口(41)内顶壁开设有与滚珠(5)配合的球形槽(...
【专利技术属性】
技术研发人员：盛小艳，韩芬芬，沈明达，
申请(专利权)人：无锡奥考斯半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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