一种推移式芯片转换器制造技术

本技术公开了一种推移式芯片转换器，包括晶舟和可拆卸安装在所述晶下端的晶圆转换组件，所述晶舟的上端面设有向内凹进的收纳仓，所述收纳仓的内壁设有多个隔挡板，所述晶舟的下端面对称设有条形座；所述晶圆转换组件包括安装块，所述安装块的上端面设有向内凹进的半圆槽，所述半圆槽内设有弧形推块，所述安装块的下端面设有连接轴，所述连接轴设有与所述半圆槽相连通的贯穿孔，所述弧形推块设有安装在所述贯穿孔内的推杆。本设备，推杆设置晶圆转换组件，在取出晶舟内的晶圆时，无需工人一片一片的拿取，避免晶圆出现摩擦、产品刮伤、崩角等情况发生，且取出方便、快速，极大的节省了加工时间。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆加工的，具体为一种推移式芯片转换器。

技术介绍

1、晶圆在测试过程中，有工序段需要将产品从一个晶舟转换至另一个晶舟槽内作业，晶舟槽总共有#1～#25个槽位，现有转换作业方式为人工取放，从一个晶舟槽一片一片按照顺序拿取放置在另一个晶舟槽内，人员需要将产品一片一片用手拿取放置，拿取产品力度与拿取的方式会随着人员不同，导致拿取风险增大；

2、例如专利号为：cn214898360u的中国实用专利，其构造为：在承载平面的上端边缘固定连接有若干长方体立柱，在相对的长方体立柱之间固定连接有连接杆，在长方体立柱的内侧具有倒角，承载平面、长方体立柱、连接杆均为石英材质。本技术将垂直立柱由原来的圆柱体，改为长方体立柱，可能接触到晶片的位置做了倒圆角处理，增了垂直立柱的强度，防止1200℃高温下发生变形；为了防止在转运过程中晶片侧滑，在加工时表面做了磨砂处理。在使用寿命方面：在无外力撞击及人为磕碰，1200℃高温制程状况下，碳化硅材质明显要优于石英材质；在维护费用方面：一旦发生破损，需要委外维修的维护费用，石英材质明显要优于碳化硅材质；

3、专利技术人认为，由于晶圆较薄多是存放在晶舟内的，而上述装置在使用晶圆时，需要工人将晶圆从晶轴内取出，由于工人的力度不同，在转移晶圆时，会导致晶圆出现摩擦、压伤、刮伤、崩角等情况，造成了晶圆损坏，不利于晶圆的转移。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种推移式芯片转换器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种推移式芯片转换器，包括晶舟和可拆卸安装在所述晶下端的晶圆转换组件，所述晶舟的上端面设有向内凹进的收纳仓，所述收纳仓的内壁设有多个隔挡板，所述晶舟的下端面对称设有条形座；

3、所述晶圆转换组件包括安装块，所述安装块的上端面设有向内凹进的半圆槽，所述半圆槽内设有弧形推块，所述安装块的下端面设有连接轴，所述连接轴设有与所述半圆槽相连通的贯穿孔，所述弧形推块设有安装在所述贯穿孔内的推杆。

4、作为本技术提供的所述的推移式芯片转换器的一种优选实施方式：所述晶舟的下端面设有与所述收纳仓相连通的贯穿推槽，所述弧形推块可活动安装在所述贯穿推槽内。

5、作为本技术提供的所述的推移式芯片转换器的一种优选实施方式：所述推杆的下端面设有推件。

6、作为本技术提供的所述的推移式芯片转换器的一种优选实施方式：所述弧形推块的内壁设有抗静电垫块。

7、作为本技术提供的所述的推移式芯片转换器的一种优选实施方式：对称设置的所述条形座相互靠近的一端设有向内凹进的滑槽。

8、作为本技术提供的所述的推移式芯片转换器的一种优选实施方式：所述安装块的左右两端面对称设有安装在所述滑槽内的滑动件。

9、作为本技术提供的所述的推移式芯片转换器的一种优选实施方式：所述晶舟的上端设有可拆卸在的防尘板。

10、作为本技术提供的所述的推移式芯片转换器的一种优选实施方式：所述防尘板的上端面设有向内凹进的扣槽。

11、与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术，通过设置晶舟、收纳仓、隔挡板等零件结构实现存放多个晶圆的功能；通过设置晶圆转换组件、安装块、滑动件、半圆槽、弧形推块、推杆、推件、抗静电垫块、连接轴、贯穿孔等零件结构，在取出晶舟内的晶圆时，无需工人一片一片的拿取，避免晶圆出现摩擦、产品刮伤、崩角等情况发生，且取出方便、快速，极大的节省了加工时间。

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【技术保护点】

1.一种推移式芯片转换器，包括晶舟(1)和可拆卸安装在所述晶下端的晶圆转换组件(2)，其特征在于：所述晶舟(1)的上端面设有向内凹进的收纳仓(11)，所述收纳仓(11)的内壁设有多个隔挡板(12)，所述晶舟(1)的下端面对称设有条形座(13)；

2.根据权利要求1所述的一种推移式芯片转换器，其特征在于：所述晶舟(1)的下端面设有与所述收纳仓(11)相连通的贯穿推槽(14)，所述弧形推块(23)可活动安装在所述贯穿推槽(14)内。

3.根据权利要求2所述的一种推移式芯片转换器，其特征在于：所述推杆(231)的下端面设有推件(232)。

4.根据权利要求1所述的一种推移式芯片转换器，其特征在于：所述弧形推块(23)的内壁设有抗静电垫块(233)。

5.根据权利要求4所述的一种推移式芯片转换器，其特征在于：对称设置的所述条形座(13)相互靠近的一端设有向内凹进的滑槽(131)。

6.根据权利要求5所述的一种推移式芯片转换器，其特征在于：所述安装块(21)的左右两端面对称设有安装在所述滑槽(131)内的滑动件(211)。

7.根据权利要求1所述的一种推移式芯片转换器，其特征在于：所述晶舟(1)的上端设有可拆卸在的防尘板(15)。

8.根据权利要求7所述的一种推移式芯片转换器，其特征在于：所述防尘板(15)的上端面设有向内凹进的扣槽(151)。

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【技术特征摘要】

1.一种推移式芯片转换器，包括晶舟(1)和可拆卸安装在所述晶下端的晶圆转换组件(2)，其特征在于：所述晶舟(1)的上端面设有向内凹进的收纳仓(11)，所述收纳仓(11)的内壁设有多个隔挡板(12)，所述晶舟(1)的下端面对称设有条形座(13)；

2.根据权利要求1所述的一种推移式芯片转换器，其特征在于：所述晶舟(1)的下端面设有与所述收纳仓(11)相连通的贯穿推槽(14)，所述弧形推块(23)可活动安装在所述贯穿推槽(14)内。

3.根据权利要求2所述的一种推移式芯片转换器，其特征在于：所述推杆(231)的下端面设有推件(232)。

4.根据权利要求1所述的一种推移式芯片转换...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡建军，
申请(专利权)人：苏州英尔捷半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：