磷化铟晶圆片清洗装置制造方法及图纸

本技术公开了一种磷化铟晶圆片清洗装置，包括清洗池以及设置在清洗池旁的自动取料机构，清洗池左壁和清洗池右壁上从上到下分别设有若干对喷淋器，自动取料机构包括机架,机架上设有旋转座,旋转座上设有竖直布置的电动执行器,电动执行器的活动座上设有倒L形的悬臂,悬臂的底端设有用于夹持置料架的电动夹手,置料架设有若干放料夹具；放料夹具包括通过铰接轴铰接在一起的两个柄把,铰接轴与置料架上设置的支杆相连接,柄把的底端设有置料座,置料座中设有水平贯穿的安装定位孔,安装定位孔下半部孔壁设有三个定位卡块,安装定位孔上半部孔壁设有三个推抵晶圆片背面靠近边沿处的侧托块；置料架上设有转动打开两个柄把的开合机构,每对喷淋器中的一个喷淋器喷淋放料夹具未打开时近处晶圆片的正面,另一个喷淋器喷淋放料夹具打开后远处晶圆片的反面。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种磷化铟晶圆片清洗装置。

技术介绍

1、传统的磷化铟晶圆片的清洗，大多是采用人工清洗的方式，其一是人工清洗效率较低，其二是人会产生疲劳，在连续工作较长时间之后会出现错误,损坏晶圆片。为了保留人工清洗的优势，同时摒弃人工清洗的劣势，所以引入一个机械臂以代替人工清洗的复杂操作，提高清洗效率和降低错误率。经过和人工清洗晶圆片的比较，采用机械臂的清洗方式在对晶圆片的背面进行清洗的效果较差，如何提高机械臂的清洗效果，是一个急需解决的问题。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是：提供一种高效率且清洗效果好的磷化铟晶圆片清洗装置。

2、为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案为：一种磷化铟晶圆片清洗装置，包括清洗池以及设置在清洗池旁的自动取料机构，清洗池上设有敞开的入口，清洗池下壁上设有出水口，清洗池左壁和清洗池右壁上从上到下分别设有若干对喷淋器，进水管道与喷淋器相连，进水管道上设有水压调节器；

3、自动取料机构包括机架,机架上设有旋转座以及驱动旋转座转动的旋转电机,旋转座上设有竖直布置的电动执行器,电动执行器的活动座上设有倒l形的悬臂,悬臂的底端设有用于夹持置料架的电动夹手,置料架上从上到下设有若干与各个喷淋器相对应的放料夹具；

4、放料夹具包括通过铰接轴铰接在一起的两个柄把,铰接轴端部与置料架上设置的l形支杆相连接,柄把的底端设有置料座,置料座中设有水平贯穿的安装定位孔,安装定位孔下半部孔壁设有三个定位卡块,定位卡块上设有用于卡住晶圆片边沿处的卡槽,安装定位孔上半部孔壁设有三个推抵晶圆片背面靠近边沿处的侧托块；置料架上设有转动打开两个柄把的开合机构,每对喷淋器中的一个喷淋器喷淋放料夹具未打开时近处晶圆片的正面,另一个喷淋器喷淋放料夹具打开后远处晶圆片的反面。

5、作为一种优选的方案，所述开合机构包括铰接在清洗池左壁和清洗池右壁的若干与各对喷头一一对应的推棒,同一侧的推棒中部连接在同一根牵引绳上,牵引绳的端部与设置在清洗池沿口的举升机构相连结,推棒翻转向下时在重力作用下将相对应的放料夹具的柄把推转,使得两个柄把的底端的置料座错开。

6、作为一种优选的方案，所述喷淋器喷口成扇形状。

7、作为一种优选的方案，所述喷淋器的出水面与竖直面之间成倾斜状。

8、作为一种优选的方案，所述最低处的一对喷淋器上各自设有检测晶圆片是否到位的光电传感器,光电传感器与水压调节器电连接并控制其开关。

9、本技术的有益效果是：本装置采用放料夹具装载晶圆片,不仅承载稳定,对晶圆片可以有效托承,而且方便自动取料机构夹持,先采用流水喷淋晶圆片正面,保证了正面的清洁度,同时使得背面同时得到清洗,然后打开柄把,对晶圆片背面进行喷淋冲洗,正反面分开冲洗,既能保证清洗干净又能使得晶圆片受冲击较小,整体结构简单,且清洗高效。

10、由于置料座中设有水平贯穿的安装定位孔,安装定位孔下半部孔壁设有三个定位卡块,定位卡块上设有用于卡住晶圆片边沿处的卡槽,安装定位孔上半部孔壁设有三个推抵晶圆片背面靠近边沿处的侧托块；对晶圆片提供有效支撑,在正面清洗时,可以承受更大的水压,而后续背面清洗的时候可以采取稍小的水压,既能保证清洗干净又能使得晶圆片受冲击较小.

11、由于所述开合机构包括铰接在清洗池左壁和清洗池右壁的若干与各对喷头一一对应的推棒,同一侧的推棒中部连接在同一根牵引绳上,牵引绳的端部与设置在清洗池沿口的举升机构相连结,推棒翻转向下时在重力作用下将相对应的放料夹具的柄把推转,使得两个柄把的底端的置料座错开,不仅结构简单\制造成本低,而且打开柄把的过程较慢,避免大幅震动使得晶片破损。

12、由于所述喷淋器喷口成扇形状,增大清洗面积并使晶圆片表面均匀受力。

13、由于所述喷淋器的出水面与竖直面之间成倾斜状,减小了对晶片表面的冲击力。

14、由于所述最低处的一对喷淋器上各自设有检测晶圆片是否到位的光电传感器,光电传感器与水压调节器电连接并控制其开关,可以自动控制喷淋器的打开关闭,提高了设备的自动化程度。

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【技术保护点】

1.一种磷化铟晶圆片清洗装置，包括清洗池以及设置在清洗池旁的自动取料机构，清洗池上设有敞开的入口，清洗池下壁上设有出水口，清洗池左壁和清洗池右壁上从上到下分别设有若干对喷淋器，进水管道与喷淋器相连，进水管道上设有水压调节器；

2.如权利要求1所述的一种磷化铟晶圆片清洗装置，其特征在于:所述开合机构包括铰接在清洗池左壁和清洗池右壁的若干与各对喷头一一对应的推棒,同一侧的推棒中部连接在同一根牵引绳上,牵引绳的端部与设置在清洗池沿口的举升机构相连结,推棒翻转向下时在重力作用下将相对应的放料夹具的柄把推转,使得两个柄把的底端的置料座错开。

3.如权利要求1所述的一种磷化铟晶圆片清洗装置，其特征在于:所述喷淋器喷口成扇形状。

4.如权利要求1所述的一种磷化铟晶圆片清洗装置，其特征在于:所述喷淋器的出水面与竖直面之间成倾斜状。

5.如权利要求1-4中任一项所述的一种磷化铟晶圆片清洗装置，其特征在于:所述最低处的一对喷淋器上各自设有检测晶圆片是否到位的光电传感器,光电传感器与水压调节器电连接并控制其开关。

【技术特征摘要】

1.一种磷化铟晶圆片清洗装置，包括清洗池以及设置在清洗池旁的自动取料机构，清洗池上设有敞开的入口，清洗池下壁上设有出水口，清洗池左壁和清洗池右壁上从上到下分别设有若干对喷淋器，进水管道与喷淋器相连，进水管道上设有水压调节器；

2.如权利要求1所述的一种磷化铟晶圆片清洗装置，其特征在于:所述开合机构包括铰接在清洗池左壁和清洗池右壁的若干与各对喷头一一对应的推棒,同一侧的推棒中部连接在同一根牵引绳上,牵引绳的端部与设置在清洗池沿口的举升机构相连结,推棒翻转向下时在...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦华，杨春柳，赵兴凯，白良，李世强，黄国勇，钱俊兵，
申请(专利权)人：云南鑫耀半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：