清洁装置制造方法及图纸

本申请提供一种清洁装置，清洁装置用于清洁曲折管路，清洁装置包括支杆、通气管、气囊和软轴，软轴与支杆连接，气囊与支杆密封连接且包覆于支杆的外部，气囊设置有进气口，通气管与进气口连接，通气管用于将气体传输至气囊内，以使气囊鼓胀，软轴用于来回拉动支杆移动，以提高管路的清洁效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体，具体涉及一种清洁装置。

技术介绍

1、在半导体器件生产的过程中，通常需要使用各种设备，如炉管机台或者沉积装置等设备，这些设备在使用之后，通常需要对其进行清洁，在对设备进行清洁过程中，有许多机台需要清洁排气管路，其中，有些管路有曲折，手动无法清理到位，因此需要完全拆卸管路后才能再做清理，清理完成之后，再将管路组装回去，但这样会严重影响机台的清洁效率。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种清洁装置，以提高管路的清洁效率。

2、本申请提供一种清洁装置，所述清洁装置用于清洁曲折管路，所述清洁装置包括支杆、通气管、气囊和软轴，所述软轴与所述支杆连接，所述气囊与所述支杆密封连接且包覆于所述支杆的外部，所述气囊设置有进气口，所述通气管与所述进气口连接，所述通气管用于将气体传输至所述气囊内，以使所述气囊鼓胀，所述软轴用于来回拉动所述支杆移动。

3、在一些实施例中，所述支杆设置有通气孔，所述通气孔用于传输气体。

4、在一些实施例中，所述支杆包括通气杆以及与所述通气杆连接的支撑板，所述软轴以及所述通气杆分别与所述支撑板连接且位于所述支撑板的相对两侧，所述通气孔贯穿所述通气杆以及所述支撑板；自所述支杆朝向所述软轴的方向上，所述支杆的投影位于所述支撑板的投影内。

5、在一些实施例中，所述支撑板包括支板、支撑杆以及转接件，所述支板与所述转接件通过所述支撑杆连接，所述支板背离所述转接件的一侧连接有所述支杆，所述转接件与所述软轴连接，所述通气孔还贯穿所述通气杆。

6、在一些实施例中，自所述支杆朝向所述软轴的方向上，所述转接件的投影位于所述支板的投影内。

7、在一些实施例中，所述通气孔与所述软轴间隔设置。

8、在一些实施例中，所述支杆背离所述软轴的一侧设置有摄像装置。

9、在一些实施例中，所述通气杆位于所述支板的中间区域。

10、在一些实施例中，所述转接件与所述支板的中间区域对应设置。

11、在一些实施例中，还包括过滤结构，所述过滤结构设置于所述支撑板靠近所述软轴的一侧，且所述过滤结构覆盖于所述通气孔上。

12、本申请提供一种清洁装置，清洁装置用于清洁曲折管路，清洁装置包括支杆、通气管、气囊和软轴，软轴与支杆连接，气囊与支杆密封连接且包覆于支杆的外部，气囊设置有进气口，通气管与进气口连接，通气管用于将气体传输至气囊内，以使气囊鼓胀，软轴用于来回拉动支杆移动。在本申请中，通过采用本申请提供的清洁装置清洁管路，可以利用气囊鼓胀后与管路内壁的之间的摩擦作用清洁管路内壁，使得无需将曲折的管路拆卸以及组装，即可达到清洁管路的目的，提高了管路的清洁效率。

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【技术保护点】

1.一种清洁装置，其特征在于，所述清洁装置用于清洁曲折管路，所述清洁装置包括支杆、通气管、气囊和软轴，所述软轴与所述支杆连接，所述气囊与所述支杆密封连接且包覆于所述支杆的外部，所述气囊设置有进气口，所述通气管与所述进气口连接，所述通气管用于将气体传输至所述气囊内，以使所述气囊鼓胀，所述软轴用于来回拉动所述支杆移动。

2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述支杆设置有通气孔，所述通气孔用于传输气体。

3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述支杆包括通气杆以及与所述通气杆连接的支撑板，所述软轴以及所述通气杆分别与所述支撑板连接且位于所述支撑板的相对两侧，所述通气孔贯穿所述通气杆以及所述支撑板；自所述支杆朝向所述软轴的方向上，所述支杆的投影位于所述支撑板的投影内。

4.根据权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述支撑板包括支板、支撑杆以及转接件，所述支板与所述转接件通过所述支撑杆连接，所述支板背离所述转接件的一侧连接有所述通气杆，所述转接件与所述软轴连接，所述通气孔还贯穿所述支板。

5.根据权利要求4所述的清洁装置，其特征在于，自所述支杆朝向所述软轴的方向上，所述转接件的投影位于所述支板的投影内。

6.根据权利要求2-4任一项所述的清洁装置，其特征在于，所述通气孔与所述软轴间隔设置。

7.根据权利要求1-5任一项所述的清洁装置，其特征在于，所述支杆背离所述软轴的一侧设置有摄像装置。

8.根据权利要求4所述的清洁装置，其特征在于，所述通气杆位于所述支板的中间区域。

9.根据权利要求4所述的清洁装置，其特征在于，所述转接件与所述支板的中间区域对应设置。

10.根据权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，还包括过滤结构，所述过滤结构设置于所述支撑板靠近所述软轴的一侧，且所述过滤结构覆盖于所述通气孔上。

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【技术特征摘要】

1.一种清洁装置，其特征在于，所述清洁装置用于清洁曲折管路，所述清洁装置包括支杆、通气管、气囊和软轴，所述软轴与所述支杆连接，所述气囊与所述支杆密封连接且包覆于所述支杆的外部，所述气囊设置有进气口，所述通气管与所述进气口连接，所述通气管用于将气体传输至所述气囊内，以使所述气囊鼓胀，所述软轴用于来回拉动所述支杆移动。

2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述支杆设置有通气孔，所述通气孔用于传输气体。

3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述支杆包括通气杆以及与所述通气杆连接的支撑板，所述软轴以及所述通气杆分别与所述支撑板连接且位于所述支撑板的相对两侧，所述通气孔贯穿所述通气杆以及所述支撑板；自所述支杆朝向所述软轴的方向上，所述支杆的投影位于所述支撑板的投影内。

4.根据权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述支撑板包括支板、支撑杆以及转接件，所述支板与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦铄烨，巩雨锋，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：