【技术实现步骤摘要】
本申请涉及玻璃制品加工设备的领域，尤其是涉及一种自动化晶圆插片收集机构。
技术介绍
1、半导体在生产过程中，需要将玻璃材质的晶圆进行打磨、加工、微雕等步骤生产半导体，以往在加工过程，需要将逐个晶圆单独进行加工，导致加工效率慢，为此，有人提出通过人工将多个晶圆收集在收集架中，再进行批量加工，提高了半导体的生产效率；在该收集过程需要人工逐个将晶圆进行收集，因此在收集过程中还是需要大量的人工，因此耗费人力，同时在收集晶圆过程，容易没对准，使得晶圆容易装偏，影响收集效率，进而减低生产效率，因此，需要一种能够配合晶圆进行自动收集的机构。
技术实现思路
1、为了提高晶圆插片的收集效率，提高生产效率，本申请提供一种自动化晶圆插片收集机构。
2、1.一种自动化晶圆插片收集机构，包括辅助收集组件、插片收集架、插片传送组件以及控制组件，所述插片传送组件传送插片至插片收集架收集，所述辅助收集组件包括第一工作台和辅助收集单元，所述第一工作台延伸设置有与所述插片传送组件输出端固定连接的连接杆；
3、所述辅助收集单元包括活动连接件、活动板、z轴牵引件以及安装单元，所述活动连接件安装于所述第一工作台靠近所述插片传送组件一侧的台面，所述活动板的下段通过所述活动连接件与所述第一工作台活动连接，所述z轴牵引件的一端安装于第一工作台远离所述活动连接件的一侧台面，所述z轴牵引件的另一端固定于活动板的上段；
4、所述活动板背离所述第一工作台的一面安装有y轴驱动件，所述y轴驱动件驱动所述安
5、通过插片传送组件，便于加工形成的晶圆依次传送，通过插片收集架便于对多个晶圆进行收集，通过连接杆，使第一工作台与插片传送组件固定连接，使其形成一体，减少在加工过程容易晃动或跑偏，提高加工效率；通过活动板便于安装y轴驱动件，而y轴驱动件能够驱动安装单元进行移动，以使插片收集架进行移动，进而配合插片传送组件，实现插片的收集。
6、具体地，当z轴牵引件收缩时，使其牵引活动板朝靠近第一工作台的台面移动，在牵引过程，受到力的作用，使其活动板的下段在活动连接件上活动，使活动板朝靠近第一台面方向倾斜，至与第一台面平行，便于将插片收集架进行安装在安装单元上，当z轴牵引件伸长后，该活动板竖直（90℃放置），此时，插片收集架的输入段与插片传送组件输出端对准，并在y轴驱动件作用下，使其安装单元带动插片收集架进行朝远离第一工作台方向移动，与此同时，配合插片传送组件，实现插片的多个收集。
7、本申请，通过控制组件的作用，便于活动板进行平行或竖直，当倾斜时，便于插片收集架进行拆卸或安装于安装单元，当竖直时，便于插片收集架与插片传送组件的输出端对准，便于收集插片，而y轴驱动件能够驱动安装单元沿着y轴竖直向上移动，进而带动插片收集架进行收集多个插片，实现多个插片的自动收集，减少采用人工收集，提高收集塑料，进而提高晶圆插片的加工效率。
8、优选的，所述插片收集架包括底板、顶板以及支撑收集组件，所述底板与所述顶板对称设置，并通过所述支撑收集组件固定连接，所述底板可拆卸安装于所述安装单元。
9、通过底板、顶板以及支撑收集组件形成结构稳定的插片收集架，便于对插片进行收集。
10、优选的，所述支撑收集组件包括至少一组对称设置的两个第一支撑收集轴和若干组对称设置的两个第二支撑收集轴；
11、每个所述第一支撑收集轴的两端分别与所述底板和所述顶板固定，每个所述第一支撑收集轴均远离所述插片传送组件输出端的一侧；
12、每个所述第二支撑收集轴的两端分别与所述底板和所述顶板固定，每个所述第二支撑收集轴靠近所述插片传送组件输出端的一侧；
13、对称的两个所述第一支撑收集轴之间的间距小于对称设置的两个所述第二支撑收集轴之间的间距。
14、通过两个第一支撑收集轴的间距小于两个第二支撑收集轴的间距，便于插片进入，并稳定在支撑收集轴之间。
15、优选的，每个所述第一支撑收集轴凸设有若干个环形凸起，相邻所述环形凸起形成收集槽，一个所述第一支撑收集轴的收集槽与另一个所述第一支撑收集轴的收集槽相对应；
16、所述第二支撑收集轴的结构与所述第一支撑收集轴的结构相同，所述第二支撑收集轴的收集槽均与所述第一支撑收集轴的收集槽相对应。
17、通过第一支撑收集轴的收集槽与第二支撑收集轴的收集槽相对应，便于对插片进行水平收集，同时形成的收集槽有多个，便于收集多个插片。
18、具体，当插片进入插片收集架后，插片的边缘均与第一支撑收集轴和第一支撑收集轴的收集槽抵接，使得插片安装在插片收集架内。
19、而两个第一支撑收集轴的间距小于两个第二支撑收集轴的间距，由于晶圆插片一般为圆形，防止晶圆插片进而后从两个第一支撑收集轴之间间距脱出，提高晶圆插片收集稳定性。
20、优选的，所述安装单元包括背板、托盘以及若干个可拆卸固定件，所述y轴驱动件驱动所述背板竖直移动，所述背板与所述活动板平行，所述背板的底部与所述托盘固定连接，所述托盘设置有容置槽，所述插片收集架的底板容置于所述容置槽，并通过所述可拆卸固定件可拆卸固定于所述托盘。
21、通过设置容置槽，便于放置底板，而可拆卸固定件，使得托盘与插片收集架的底板进行固定，同时也便于将插片收集架拆离托盘，而背板便于带动托盘移动，使得插片收集架竖直移动。
22、优选的，所述活动连接件包括连轴、两个第一轴座以及两个第二轴座，两个所述第一轴座对称安装于第一工作台靠近所述插片传送组件一侧的台面，两个所述第二轴座对称安装于所述活动板下段的板面，所述第一轴座和第二轴座均开设有通孔，每个所述通孔中均固定安装有滚轮，所述连轴依次穿经并嵌设于所述第一轴座的滚轮、第二轴座的滚轮、另一第二轴座的滚轮以及另一第一轴座的滚轮。
23、通过第一轴座和第二轴座设置滚轮，便于连轴固定穿经，并将第一轴座和第二轴座连接在一起，由于滚轮的作用，使得活动板活动连接于第一工作台的台面上。便于进行调整活动板的倾斜角度。
24、优选的，所述插片传送组件包括第二工作台、传送带以及安装于所述第二工作台的两个传送单元，所述传送单元带动与所述传送带传动连接，所述第二工作台的底部与所述第一工作台的连接杆连接。
25、通过传送带，便于将插片进行传送，并在y轴驱动件的驱动作用下，配合实现多插片收集至插片收集架中，实现插片的自动收集。
26、优选的，每个所述传送单元包括驱动电机、转动轴、传动轮以及两个固定轴座，所述转动轮的轴心固定于所述转动轴，所述转动轴的两端安装于两个所述固定轴座，所述驱动电机驱动所述转动轴转动，所述传送带与所述传动轮传送连接。
27、综上所述，本本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：包括辅助收集组件(1)、插片收集架(2)、插片传送组件(3)以及控制组件(4)，所述插片传送组件(3)传送插片至插片收集架(2)收集，所述辅助收集组件(1)包括第一工作台(1a)和辅助收集单元(1f)，所述第一工作台(1a)延伸设置有与所述插片传送组件(3)输出端固定连接的连接杆；
2.根据权利要求1 所述的一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：所述插片收集架(2)包括底板(2a)、顶板(2b)以及支撑收集组件，所述底板(2a)与所述顶板(2b)对称设置，并通过所述支撑收集组件固定连接，所述底板(2a)可拆卸安装于所述安装单元(1e)。
3.根据权利要求2所述的一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：所述支撑收集组件包括至少一组对称设置的两个第一支撑收集轴(2c)和若干组对称设置的两个第二支撑收集轴(2d)；
4.根据权利要求3所述的一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：每个所述第一支撑收集轴(2c)凸设有若干个环形凸起(2c1)，相邻所述环形凸起(2c1)形成收集槽(2c2)，一个所述第一支撑收
5.根据权利要求2所述的一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：所述安装单元(1e)包括背板(1e1)、托盘(1e2)以及若干个可拆卸固定件(1e3)，所述Y轴驱动件(1g)驱动所述背板(1e1)竖直移动，所述背板(1e1)与所述活动板(1c)平行，所述背板(1e1)的底部与所述托盘(1e2)固定连接，所述托盘(1e2)设置有容置槽，所述插片收集架(2)的底板(2a)容置于所述容置槽，并通过所述可拆卸固定件(1e3)可拆卸安装于所述托盘(1e2)。
6.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：所述活动连接件(1b)包括连轴(1b2)、两个第一轴座(1b3)以及两个第二轴座(1b4)，两个所述第一轴座(1b3)对称安装于第一工作台(1a)靠近所述插片传送组件(3)一侧的台面，两个所述第二轴座(1b4)对称安装于所述活动板(1c)下段的板面，所述第一轴座(1b3)和第二轴座(1b4)均开设有通孔，每个所述通孔中均固定安装有滚轮(1b5)，所述连轴(1b2)依次穿经并嵌设于所述第一轴座(1b3)的滚轮(1b5)、第二轴座(1b4)的滚轮(1b5)、另一第二轴座(1b4)的滚轮(1b5)以及另一第一轴座(1b3)的滚轮(1b5)。
7.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：所述插片传送组件(3)包括第二工作台(3a)、传送带(3b)以及安装于所述第二工作台(3a)的两个传送单元，所述传送单元带动与所述传送带(3b)传动连接，所述第二工作台(3a)的底部与所述第一工作台(1a)的连接杆连接。
8.根据权利要求7所述的一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：每个所述传送单元包括驱动电机(3c)、转动轴(3e)、传动轮(3f)以及两个固定轴座(3g)，所述传动轮(3f)的轴心固定于所述转动轴(3e)，所述转动轴(3e)的两端安装于两个所述固定轴座(3g)，所述驱动电机(3c)驱动所述转动轴(3e)转动，所述传送带(3b)与所述传动轮(3f)传送连接。
...【技术特征摘要】
1.一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：包括辅助收集组件(1)、插片收集架(2)、插片传送组件(3)以及控制组件(4)，所述插片传送组件(3)传送插片至插片收集架(2)收集，所述辅助收集组件(1)包括第一工作台(1a)和辅助收集单元(1f)，所述第一工作台(1a)延伸设置有与所述插片传送组件(3)输出端固定连接的连接杆；
2.根据权利要求1 所述的一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：所述插片收集架(2)包括底板(2a)、顶板(2b)以及支撑收集组件，所述底板(2a)与所述顶板(2b)对称设置，并通过所述支撑收集组件固定连接，所述底板(2a)可拆卸安装于所述安装单元(1e)。
3.根据权利要求2所述的一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：所述支撑收集组件包括至少一组对称设置的两个第一支撑收集轴(2c)和若干组对称设置的两个第二支撑收集轴(2d)；
4.根据权利要求3所述的一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：每个所述第一支撑收集轴(2c)凸设有若干个环形凸起(2c1)，相邻所述环形凸起(2c1)形成收集槽(2c2)，一个所述第一支撑收集轴(2c)的收集槽(2c2)与另一个所述第一支撑收集轴(2c)的收集槽(2c2)相对应；
5.根据权利要求2所述的一种自动化晶圆插片收集机构，其特征在于：所述安装单元(1e)包括背板(1e1)、托盘(1e2)以及若干个可拆卸固定件(1e3)，所述y轴驱动件(1g)驱动所述背板(1e1)竖直移动，所述背板(1e1)与所述活动板(1c)平行，所述背板(1e1)的底部与所述托盘(1e2)固定连接，所述托盘(1e2)...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴林生，
申请(专利权)人：东莞市雕润数控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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