【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及掩膜板蒸镀设备，尤其涉及一种能自动调节高度的夹爪机构及其蒸镀装置。
技术介绍
1、oled(有机发光二极管)具有自发光、轻薄、宽视角、响应速度快等特点，是目前显示面板的研究热点。oled显示屏一般通过真空蒸镀技术制备发光层，即在真空腔环境下，通过加热坩埚材料，使其蒸发沉积在基板上。基板在进行蒸镀前，需先与fmm(精密金属掩膜板)进行对位。如图1，现有的蒸镀对位机构一般包括磁板14、ccd(图中未示出)、压合板15、夹爪(hook)机构等。
2、如图2和图3，现有的蒸镀设备，一般是将基板17放置于夹爪上，再由夹爪将基板下放至fmm上进行对位动作，而后进行成膜。现有的夹爪机构100包括有安装组件101、连接组件102和夹爪103，夹爪103分列在fmm两侧，且位于fmm两侧的夹爪103通过第二升降组件16整体升降，连接组件和安装组件通过紧固螺丝104连接，夹爪通过锁附螺丝105锁附在连接组件侧面，连接组件的下部设置有腰型孔，锁附螺丝穿过腰型孔与夹爪连接，且在连接组件和夹爪还设置了高度调节螺丝106，通过高度调节螺丝调节夹爪的高度。
3、但是在对位前，由于基板重力因素或夹爪锁附高度不一(锁附螺丝松懈等)，基板下放于fmm上时，整体与fmm接触时机不一致(如图5所示)，从而出现基板滑移掉落现象，导致无法进行对位，影响成膜；由于现有的夹爪机构一般是螺丝锁附(如图4)，出现上述问题时，往往需要开腔手动调整高度(空间狭窄，调整量小)，需多次测试，耗时耗力，影响生产。
技术实现思
1、本专利技术要解决的技术问题，在于提供一种能自动调节高度的夹爪机构及其蒸镀装置，能够调整夹爪高度位置，以达到各夹爪受力一致的状态。
2、本专利技术是这样实现的：
3、第一方面，本专利技术提供了一种夹爪自动调节的蒸镀装置，包括有夹爪安装组件，所述夹爪安装组件连接有夹爪升降平台，所述夹爪升降平台远离夹爪安装组件的一侧设置有齿条，所述夹爪机构还包括有夹爪，所述夹爪与夹爪升降平台滑动连接，所述夹爪转动连接有转轴，所述转轴外壁连接有齿轮，所述齿轮与齿条啮合连接，所述夹爪还连接有电机，所述电机驱动所述转轴旋转，所述夹爪的夹持端设置有压力传感器。
4、进一步地，所述夹爪的侧面设置有凹槽，所述齿轮设置凹槽内，且所述凹槽的两侧壁延伸到夹爪升降平台的侧面。
5、进一步地，所述夹爪升降平台的侧面设置有导轨，所述凹槽的两侧面设置有滑槽，所述导轨滑动连接在滑槽内。
6、进一步地，所述夹爪的夹持端通过螺丝锁附有用于与基板相接触的垫块，所述压力传感器设置在垫块的上表面。
7、进一步地，所述夹爪安装组件为呈矩形结构的安装板，所述夹爪安装组件上连接有复数个夹爪升降平台。
8、第二方面，本专利技术提供了一种蒸镀装置，包括有上述的夹爪机构，还包括有载台，所述载台顶部搭载有金属掩膜板，所述载台顶部通过支柱连接有顶板，所述顶板的中部连接有第一升降组件，所述第一升降组件的输出端贯穿顶板连接有磁板，所述磁板通过导正杆连接有压合板，所述顶板顶部还设置有第二升降组件，所述第二升降组件与夹爪机构连接
9、本专利技术的优点在于：本申请中，压力传感器测量夹爪夹持端的受力，并根据受力情况，在真空下自动调整夹爪机构的高度位置，可以避免基板自重所产生的或夹爪高度位置不一造成的基板滑移脱落，且无需开腔手动操作，节约生产成本，提高生产时间。
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1.一种能自动调节高度的夹爪机构，包括有夹爪安装组件，其特征在于：所述夹爪安装组件连接有夹爪升降平台，所述夹爪升降平台远离夹爪安装组件的一侧设置有齿条，所述夹爪机构还包括有夹爪，所述夹爪与夹爪升降平台滑动连接，所述夹爪转动连接有转轴，所述转轴外壁连接有齿轮，所述齿轮与齿条啮合连接，所述夹爪还连接有电机，所述电机驱动所述转轴旋转，所述夹爪的夹持端设置有压力传感器。
2.如权利要求1所述的一种能自动调节高度的夹爪机构，其特征在于：所述夹爪的侧面设置有凹槽，所述齿轮设置凹槽内，且所述凹槽的两侧壁延伸到夹爪升降平台的侧面。
3.如权利要求2所述的一种能自动调节高度的夹爪机构，其特征在于：所述夹爪升降平台的侧面设置有导轨，所述凹槽的两侧面设置有滑槽，所述导轨滑动连接在滑槽内。
4.如权利要求1所述的一种能自动调节高度的夹爪机构，其特征在于：所述夹爪的夹持端通过螺丝锁附有用于与基板相接触的垫块，所述压力传感器设置在垫块的上表面。
5.如权利要求1所述的一种能自动调节高度的夹爪机构，其特征在于：所述夹爪安装组件为呈矩形结构的安装板，所述夹爪安装组
6.一种蒸镀装置，其特征在于：包括有如权利要求1-5任一项所述的夹爪机构，还包括有载台，所述载台顶部搭载有金属掩膜板，所述载台顶部通过支柱连接有顶板，所述顶板的中部连接有第一升降组件，所述第一升降组件的输出端贯穿顶板连接有磁板，所述磁板通过导正杆连接有压合板，所述顶板顶部还设置有第二升降组件，所述第二升降组件与夹爪机构连接。
...【技术特征摘要】
1.一种能自动调节高度的夹爪机构，包括有夹爪安装组件，其特征在于：所述夹爪安装组件连接有夹爪升降平台，所述夹爪升降平台远离夹爪安装组件的一侧设置有齿条，所述夹爪机构还包括有夹爪，所述夹爪与夹爪升降平台滑动连接，所述夹爪转动连接有转轴，所述转轴外壁连接有齿轮，所述齿轮与齿条啮合连接，所述夹爪还连接有电机，所述电机驱动所述转轴旋转，所述夹爪的夹持端设置有压力传感器。
2.如权利要求1所述的一种能自动调节高度的夹爪机构，其特征在于：所述夹爪的侧面设置有凹槽，所述齿轮设置凹槽内，且所述凹槽的两侧壁延伸到夹爪升降平台的侧面。
3.如权利要求2所述的一种能自动调节高度的夹爪机构，其特征在于：所述夹爪升降平台的侧面设置有导轨，所述凹槽的两侧面设置有滑槽，所述导轨滑...
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