【技术实现步骤摘要】
技术介绍
技术实现思路
1、以下描述呈现了本文所描述的方法和系统的一个或多个方面的简化概述，以便提供对此类方面的基本理解。此概述不是所有所涵盖方面的广泛综述，并且既不希望标识所有方面的关键或决定性要素，也不希望划定任何或所有方面的范围。其唯一目的是以简化形式呈现本文所述的方法和系统的一个或多个方面的一些概念，作为下文呈现的更详细描述的序言。
2、在一些例示性示例中，离子引导件包括第一表面和定位成与第一表面相对的第二表面以及多个电极，该多个电极包括在第一表面上的电极的第一布置和在第二表面上的电极的第二布置，电极的第一布置和电极的第二布置定位成彼此相对并且限定在该第一布置与该第二布置之间的离子约束空间，其中：电极的第一布置包括沿着该离子约束空间的纵向轴线布置在第一表面上的第一电极和第二电极；每个第一电极包括从该离子约束空间的第一侧延伸到该离子约束空间的第二侧的第一主部和在该离子约束空间的第一侧处的第一边缘部分，沿着该离子约束空间的纵向轴线，第一边缘部分比第一主部宽；电极的第二布置包括沿着该离子约束空间的纵向轴线布置在第二表面上的第三电极和第四电极；每个第四电极包括从该离子约束空间的第一侧延伸到该离子约束空间的第二侧的第四主部和在该离子约束空间的第一侧处的第四边缘部分，沿着该离子约束空间的纵向轴线，第四边缘部分比该第四主部宽；第一电极的第一边缘部分定位成与第四电极的第四边缘部分相对；并且第一电极和第三电极被配置成接收第一rf电压，并且第二电极和第四电极被配置成接收相对于第一rf电压相移
3、在一些例示性示例中，引导离子的方法包括：将离子引入离子引导件内，该离子引导件包括第一表面和定位成与第一表面相对的第二表面以及多个电极，该多个电极包括在第一表面上的电极的第一布置和在第二表面上的电极的第二布置，电极的第一布置和电极的第二布置定位成彼此相对并且限定在该第一布置与该第二布置之间的离子约束空间，其中：电极的第一布置包括沿着该离子约束空间的纵向轴线布置在第一表面上的第一电极和第二电极；每个第一电极包括从该离子约束空间的第一侧延伸到该离子约束空间的第二侧的第一主部和在该离子约束空间的第一侧处的第一边缘部分，沿着该离子约束空间的纵向轴线，第一边缘部分比第一主部宽；电极的第二布置包括沿着该离子约束空间的纵向轴线交替布置在第二表面上的第三电极和第四电极；每个第四电极包括从该离子约束空间的第一侧延伸到该离子约束空间的第二侧的第四主部和在该离子约束空间的第一侧处的第四边缘部分，沿着该离子约束空间的纵向轴线，第四边缘部分比该第四主部宽；并且第一电极的第一边缘部分定位成与第四电极的第四边缘部分相对；以及向该多个电极施加rf电压，第一电极和第三电极接收第一rf电压，并且第二电极和第四电极接收相对于第一rf电压相移的第二rf电压。
4、在一些例示性示例中，离子引导件包括第一表面和定位成与第一表面相对的第二表面以及多个电极，该多个电极包括在第一表面上的电极的第一布置和在第二表面上的电极的第二布置，电极的第一布置和电极的第二布置定位成彼此相对并且限定在该第一布置与该第二布置之间的离子约束空间，其中：电极的第一布置包括沿着该离子约束空间的纵向轴线交替布置在第一表面上的第一电极和第二电极；电极的第二布置包括沿着该离子约束空间的纵向轴线交替布置在第二表面上的第三电极和第四电极；第一电极和第三电极被配置成接收相同相位的rf电压；第二电极和第四电极被配置成接收具有相同相位并且相对于由第一电极和第三电极接收的rf电压相移的rf电压；第一电极和第三电极的相对主部以及第二电极和第四电极的相对主部被配置成生成表面约束电场，该表面约束电场抑制该离子约束空间内的离子朝向第一表面和第二表面的移动；并且第一电极和第四电极的相对边缘部分被配置成接收相对于彼此相移的rf电压并且生成第一边缘约束电场，该第一边缘约束电场抑制该离子约束空间内的离子朝向该离子约束空间的第一侧的移动。
5、在一些例示性示例中，离子引导件包括第一表面和定位成与第一表面相对的第二表面；多个电极，其包括在第一表面上的电极的第一布置和在第二表面上的电极的第二布置；以及在电极的第一布置与电极的第二布置之间的离子约束空间；其中：电极的第一布置包括沿着该离子约束空间的纵向轴线布置在第一表面上的第一电极和第二电极；电极的第二布置包括沿着该离子约束空间的纵向轴线布置在第二表面上的第三电极和第四电极；第一电极的第一主部定位成与第三电极的第三主部相对；第二电极的第二主部定位成与第四电极的第四主部相对；第一电极的第一边缘部分在该离子约束空间的第一侧处定位成与第四电极的第四边缘部分相对；第一电极和第三电极被配置成接收rf电压；并且第二电极和第四电极被配置成接收相对于由第一电极和第三电极接收的rf电压相移的rf电压。
6、在一些例示性示例中，制作离子引导件的方法包括以电极的第一布置将第一电极和第二电极布置在第一表面上；以电极的第二布置将第三电极和第四电极布置在第二表面上；以及将第一表面定位成与第二表面相对，使得电极的第一布置和电极的第二布置限定在该第一布置与该第二布置之间的离子约束空间，其中将电极的第一布置和电极的第二布置定位，使得第一电极的第一主部定位成与第三电极的第三主部相对，第二电极的第二主部定位成与第四电极的第四主部相对，并且第一电极的第一边缘部分在该离子约束空间的第一侧处定位成与第四电极的第四边缘部分相对；将第一电极和第三电极连接到被配置成接收rf电压的第一电路；以及将第二电极和第四电极连接到第二电路，该第二电路被配置成接收相对于由第一电路接收的rf电压相移的rf电压。
7、在一些例示性示例中，离子引导件包括多个电极，该多个电极布置在相对表面上并且限定在该相对表面之间的离子约束空间，其中：该多个电极中的每个电极包括细长的主部和在该主部的端部处的边缘部分，沿着该离子约束空间的纵向轴线，该边缘部分比该主部宽；该多个电极被配置成接收rf电压；并且该多个电极布置成使得相对主部接收相同相位的rf电压，并且相对边缘部分接收相对于彼此相移的rf电压。
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1.一种离子引导件，所述离子引导件包括：
2.根据权利要求1所述的离子引导件，其中所述第一电极和所述第二电极具有L形状、T形状或Y形状。
3.根据权利要求1所述的离子引导件，其中：
4.根据权利要求1所述的离子引导件，其中所述第一电极的所述第一主部定位成与所述第四电极的所述第四主部相对。
5.根据权利要求1所述的离子引导件，其中：
6.根据权利要求1所述的离子引导件，其中：
7.根据权利要求6所述的离子引导件，其中所述第二电极和所述第三电极具有L形状、T形状或Y形状。
8.根据权利要求1所述的离子引导件，其中：
9.根据权利要求1所述的离子引导件，其中第一电极的所述第一边缘部分沿着所述离子约束空间的所述纵向轴线延伸经过相邻第二电极的所述第二主部的全部或一部分。
10.根据权利要求9所述的离子引导件，其中第四电极的所述第四边缘部分沿着所述离子约束空间的所述纵向轴线延伸经过相邻第三电极的所述第三主部的全部或一部分。
【技术特征摘要】
1.一种离子引导件，所述离子引导件包括：
2.根据权利要求1所述的离子引导件，其中所述第一电极和所述第二电极具有l形状、t形状或y形状。
3.根据权利要求1所述的离子引导件，其中：
4.根据权利要求1所述的离子引导件，其中所述第一电极的所述第一主部定位成与所述第四电极的所述第四主部相对。
5.根据权利要求1所述的离子引导件，其中：
6.根据权利要求1所述的离子引导件，其中：
7.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·W·森科，
申请(专利权)人：赛默菲尼根有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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