System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种用于半导体二极管芯片的检测设备制造技术_技高网

一种用于半导体二极管芯片的检测设备制造技术

技术编号:40274134 阅读:12 留言:0更新日期:2024-02-02 23:00
本发明专利技术提供一种用于半导体二极管芯片的检测设备,属于二极管芯片技术领域,其包括机架;顶板,顶板固定连接于机架的顶部,机架的底部固定连接有底板;支撑板,支撑板固定连接于机架的内壁之间,支撑板的顶部转动连接有转盘,顶板和支撑板之间设置有CCD摄像机和辅助光源,辅助光源的圆周表面包裹有夹具,当通过PLC控制箱判断出单个二极管芯片为二极管芯片次品时,启动辅助光源,辅助光源的输出端发射出激光,对二极管芯片次品打上标记,实现对二极管芯片残次品标识,在视检的同时进行标识,实现视检和标识工艺的同步,避免二极管芯片残次品容易被漏标,防止二极管芯片残次品流出,提高二极管成品率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于二极管芯片,具体涉及一种用于半导体二极管芯片的检测设备


技术介绍

1、半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。

2、二极管,电子元件当中,一种具有两个电极的装置,只允许电流由单一方向流过,许多的使用是应用其整流的功能。而变容二极管则用来当作电子式的可调电容器。大部分二极管所具备的电流方向性我们通常称之为“整流”功能。二极管最普遍的功能就是只允许电流由单一方向通过(称为顺向偏压),反向时阻断(称为逆向偏压)。因此,二极管可以想成电子版的逆止阀。

3、检测设备有很多种类,工厂常用的检测设备有很多,包括测量设备卡尺、天平、打点机等,另外还有质量检测分析仪器,材质检测、包装检测设备等也是常见的检测设备。在包装环节中比较常见的有包装材料检测仪、金属检测设备、非金属检测设备以及无损检测设备等。

4、肖特基二极管是二极管中的一种,以贵金属(金、银、铝、铂等)a为正极,以n型半导体b为负极,利用二者接触面上形成的势垒具有整流特性而制成的金属-半导体器件,其处于待切割晶圆状态时,需要对晶圆状态的半导体芯片进行外观检测和标识出残次品,现有的二极管芯片检测设备,将二极管芯片进行视检和标识分成两个工艺流程,使得二极管芯片残次品容易被漏标,致使二极管芯片残次品流出,导致二极管成品率降低,为此我们提出一种用于半导体二极管芯片的检测设备。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种用于半导体二极管芯片的检测设备,旨在解决现有的二极管芯片检测设备,将二极管芯片进行视检和标识分成两个工艺流程,使得二极管芯片残次品容易被漏标,致使二极管芯片残次品流出,导致二极管成品率降低。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:

3、一种用于半导体二极管芯片的检测设备,包括机架;

4、顶板,所述顶板固定连接于机架的顶部,所述机架的底部固定连接有底板;

5、支撑板,所述支撑板固定连接于机架的内壁之间,所述支撑板的顶部转动连接有转盘,所述顶板和支撑板之间设置有ccd摄像机和辅助光源,所述辅助光源的圆周表面包裹有夹具,所述ccd摄像机的侧端固定连接有摆动盘;

6、反光板,所述反光板通过升降机构安装固定于顶板和支撑板之间;以及

7、调节机构,所述调节机构设置于顶板和支撑板之间,所述调节机构与摆动盘和夹具相连接,用以对ccd摄像机和辅助光源平行移动。

8、作为本专利技术一种优选的方案,所述调节机构包括推动组件、驱动组件和分隔组件,所述分隔组件设置于顶板、支撑板和底板之间,所述推动组件设置于顶板和支撑板之间,所述推动组件位于分隔组件的一侧,所述驱动组件设置有两组,两组所述驱动组件设置于推动组件的侧端,两组所述驱动组件与摆动盘和夹具相连接。

9、作为本专利技术一种优选的方案,所述分隔组件包括插槽、固定隔板、升降槽、升降板和电动推杆,所述插槽开设于支撑板的顶部,所述固定隔板固定连接于顶板和支撑板之间,所述固定隔板与插槽相对应,所述升降槽开设于固定隔板的底部,所述升降槽与插槽相对应,所述升降板插设于插槽和升降槽之间,所述电动推杆固定连接于底板的顶部,所述电动推杆的输出端与升降板相连接。

10、作为本专利技术一种优选的方案,所述推动组件包括伸缩槽、l型固定板、滑轨、第二滑块、限位槽、限位块、第二丝杆、第四电机和固定架,所述l型固定板固定连接于固定隔板和顶板之间,所述伸缩槽设置有两个,两个所述伸缩槽开设于固定隔板的侧端,所述滑轨固定连接于l型固定板的顶部,所述第二丝杆转动连接于滑轨的内,所述第二丝杆的一端延伸至滑轨的侧端,所述第四电机固定连接于l型固定板的顶部,且所述第四电机的输出端与第二丝杆固定连接,所述第二滑块套设于第二丝杆的圆周表面,所述第二滑块的延伸端活动插设于两个伸缩槽内,所述限位槽设置有两个,两个所述限位槽开设于滑轨的侧端,所述限位块设置有两个,两个所述限位块滑动于两个限位槽内,两个所述限位块均与第二滑块相连接,所述固定架设置有两个,两个所述固定架通过螺栓固定连接于第二滑块的延伸端,两个所述固定架通过转轴与摆动盘、夹具转动连接。

11、作为本专利技术一种优选的方案,每组所述驱动组件包括第二从动齿轮、第二主动齿轮、伺服电机和第二齿轮罩,所述第二齿轮罩固定连接于固定架的侧端,所述第二从动齿轮设置于第二齿轮罩内,且所述第二从动齿轮与单根转轴相连接,所述第二主动齿轮设置于第二齿轮罩的内壁之间,所述第二主动齿轮与第二从动齿轮相啮合,所述伺服电机固定连接于第二齿轮罩的侧端,所述伺服电机的输出端延伸至第二齿轮罩内,所述伺服电机的输出端与第二主动齿轮固定连接。

12、作为本专利技术一种优选的方案,所述升降机构包括伸缩架、滑槽、第一滑块、第三电机、第一丝杆、抬升架、l型安装块和斜角块,所述伸缩架通过螺栓固定连接于支撑板的顶部,所述滑槽开设于伸缩架的侧端,所述第一丝杆转动连接于伸缩架的内壁之间,所述第一丝杆的底部延伸至支撑板的底部,所述第三电机固定连接于支撑板的底部,所述第三电机的输出端与第一丝杆固定连接,所述第一滑块套设于伸缩架的内壁之间,且所述第一滑块滑动于伸缩架和滑槽的内壁之间,所述抬升架设置于伸缩架的上侧,所述抬升架与第一滑块相连接,所述l型安装块固定连接于抬升架的侧端,所述l型安装块与反光板固定连接,所述斜角块设置有两个,两个所述斜角块固定连接于抬升架的顶部,两个所述斜角块与滑槽的侧端相对应。

13、作为本专利技术一种优选的方案,所述支撑板的底部设置有光源机构,所述光源机构包括折射镜、第一齿轮罩、光源灯、第一电机、第一主动齿轮和第一从动齿轮,所述折射镜固定连接于转盘的内壁之间,所述第一齿轮罩固定连接于支撑板的底部,所述第一从动齿轮设置于第一齿轮罩的内壁之间,所述第一从动齿轮与转盘相连接,所述第一主动齿轮设置于第一齿轮罩的内壁之间,所述第一主动齿轮与第一从动齿轮相啮合,所述光源灯固定连接于第一齿轮罩的顶部,所述第一齿轮罩与转盘相对应,所述第一电机固定连接于第一齿轮罩的底部,所述第一电机的输出端延伸至第一齿轮罩内,所述第一电机的输出端与第一主动齿轮固定连接。

14、作为本专利技术一种优选的方案,所述支撑板和底板之间设置有除尘机构,所述除尘机构包括托盘、伸缩喷嘴、压缩泵、吸尘罩、金属管和过滤器,所述托盘设置有两个,两个所述托盘固定连接于支撑板的顶部,所述吸尘罩包裹于单个托盘的圆周表面,且所述吸尘罩的一端延伸至支撑板的底部,所述压缩泵固定连接于底板的顶部,所述金属管固定连接于压缩泵的顶部,所述金属管与吸尘本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,包括;

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,所述调节机构包括推动组件、驱动组件和分隔组件,所述分隔组件设置于顶板(3)、支撑板(4)和底板(5)之间,所述推动组件设置于顶板(3)和支撑板(4)之间,所述推动组件位于分隔组件的一侧,所述驱动组件设置有两组,两组所述驱动组件设置于推动组件的侧端,两组所述驱动组件与摆动盘(42)和夹具(47)相连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,所述分隔组件包括插槽(6)、固定隔板(7)、升降槽(9)、升降板(10)和电动推杆(11),所述插槽(6)开设于支撑板(4)的顶部,所述固定隔板(7)固定连接于顶板(3)和支撑板(4)之间,所述固定隔板(7)与插槽(6)相对应,所述升降槽(9)开设于固定隔板(7)的底部,所述升降槽(9)与插槽(6)相对应,所述升降板(10)插设于插槽(6)和升降槽(9)之间,所述电动推杆(11)固定连接于底板(5)的顶部,所述电动推杆(11)的输出端与升降板(10)相连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,所述推动组件包括伸缩槽(8)、L型固定板(51)、滑轨(35)、第二滑块(36)、限位槽(37)、限位块(38)、第二丝杆(39)、第四电机(40)和固定架(41),所述L型固定板(51)固定连接于固定隔板(7)和顶板(3)之间,所述伸缩槽(8)设置有两个,两个所述伸缩槽(8)开设于固定隔板(7)的侧端,所述滑轨(35)固定连接于L型固定板(51)的顶部,所述第二丝杆(39)转动连接于滑轨(35)的内,所述第二丝杆(39)的一端延伸至滑轨(35)的侧端,所述第四电机(40)固定连接于L型固定板(51)的顶部,且所述第四电机(40)的输出端与第二丝杆(39)固定连接,所述第二滑块(36)套设于第二丝杆(39)的圆周表面,所述第二滑块(36)的延伸端活动插设于两个伸缩槽(8)内,所述限位槽(37)设置有两个,两个所述限位槽(37)开设于滑轨(35)的侧端,所述限位块(38)设置有两个,两个所述限位块(38)滑动于两个限位槽(37)内,两个所述限位块(38)均与第二滑块(36)相连接,所述固定架(41)设置有两个,两个所述固定架(41)通过螺栓固定连接于第二滑块(36)的延伸端,两个所述固定架(41)通过转轴与摆动盘(42)、夹具(47)转动连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,每组所述驱动组件包括第二从动齿轮(44)、第二主动齿轮(45)、伺服电机(46)和第二齿轮罩(52),所述第二齿轮罩(52)固定连接于固定架(41)的侧端,所述第二从动齿轮(44)设置于第二齿轮罩(52)内,且所述第二从动齿轮(44)与单根转轴相连接,所述第二主动齿轮(45)设置于第二齿轮罩(52)的内壁之间,所述第二主动齿轮(45)与第二从动齿轮(44)相啮合,所述伺服电机(46)固定连接于第二齿轮罩(52)的侧端,所述伺服电机(46)的输出端延伸至第二齿轮罩(52)内,所述伺服电机(46)的输出端与第二主动齿轮(45)固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,所述升降机构包括伸缩架(27)、滑槽(28)、第一滑块(29)、第三电机(30)、第一丝杆(31)、抬升架(32)、L型安装块(33)和斜角块(49),所述伸缩架(27)通过螺栓固定连接于支撑板(4)的顶部,所述滑槽(28)开设于伸缩架(27)的侧端,所述第一丝杆(31)转动连接于伸缩架(27)的内壁之间,所述第一丝杆(31)的底部延伸至支撑板(4)的底部,所述第三电机(30)固定连接于支撑板(4)的底部,所述第三电机(30)的输出端与第一丝杆(31)固定连接,所述第一滑块(29)套设于伸缩架(27)的内壁之间,且所述第一滑块(29)滑动于伸缩架(27)和滑槽(28)的内壁之间,所述抬升架(32)设置于伸缩架(27)的上侧,所述抬升架(32)与第一滑块(29)相连接,所述L型安装块(33)固定连接于抬升架(32)的侧端,所述L型安装块(33)与反光板(34)固定连接,所述斜角块(49)设置有两个,两个所述斜角块(49)固定连接于抬升架(32)的顶部,两个所述斜角块(49)与滑槽(28)的侧端相对应。

7.根据权利要求6所述的一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,所述支撑板(4)的底部设置有光源机构,所述光源机构包括折射镜(13)、第一齿轮罩(14)、光源灯(15)、第一电机(16)、第一主动齿轮(17)和第...

【技术特征摘要】

1.一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,包括;

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,所述调节机构包括推动组件、驱动组件和分隔组件,所述分隔组件设置于顶板(3)、支撑板(4)和底板(5)之间,所述推动组件设置于顶板(3)和支撑板(4)之间,所述推动组件位于分隔组件的一侧,所述驱动组件设置有两组,两组所述驱动组件设置于推动组件的侧端,两组所述驱动组件与摆动盘(42)和夹具(47)相连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,所述分隔组件包括插槽(6)、固定隔板(7)、升降槽(9)、升降板(10)和电动推杆(11),所述插槽(6)开设于支撑板(4)的顶部,所述固定隔板(7)固定连接于顶板(3)和支撑板(4)之间,所述固定隔板(7)与插槽(6)相对应,所述升降槽(9)开设于固定隔板(7)的底部,所述升降槽(9)与插槽(6)相对应,所述升降板(10)插设于插槽(6)和升降槽(9)之间,所述电动推杆(11)固定连接于底板(5)的顶部,所述电动推杆(11)的输出端与升降板(10)相连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,所述推动组件包括伸缩槽(8)、l型固定板(51)、滑轨(35)、第二滑块(36)、限位槽(37)、限位块(38)、第二丝杆(39)、第四电机(40)和固定架(41),所述l型固定板(51)固定连接于固定隔板(7)和顶板(3)之间,所述伸缩槽(8)设置有两个,两个所述伸缩槽(8)开设于固定隔板(7)的侧端,所述滑轨(35)固定连接于l型固定板(51)的顶部,所述第二丝杆(39)转动连接于滑轨(35)的内,所述第二丝杆(39)的一端延伸至滑轨(35)的侧端,所述第四电机(40)固定连接于l型固定板(51)的顶部,且所述第四电机(40)的输出端与第二丝杆(39)固定连接,所述第二滑块(36)套设于第二丝杆(39)的圆周表面,所述第二滑块(36)的延伸端活动插设于两个伸缩槽(8)内,所述限位槽(37)设置有两个,两个所述限位槽(37)开设于滑轨(35)的侧端,所述限位块(38)设置有两个,两个所述限位块(38)滑动于两个限位槽(37)内,两个所述限位块(38)均与第二滑块(36)相连接,所述固定架(41)设置有两个,两个所述固定架(41)通过螺栓固定连接于第二滑块(36)的延伸端,两个所述固定架(41)通过转轴与摆动盘(42)、夹具(47)转动连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,每组所述驱动组件包括第二从动齿轮(44)、第二主动齿轮(45)、伺服电机(46)和第二齿轮罩(52),所述第二齿轮罩(52)固定连接于固定架(41)的侧端,所述第二从动齿轮(44)设置于第二齿轮罩(52)内,且所述第二从动齿轮(44)与单根转轴相连接,所述第二主动齿轮(45)设置于第二齿轮罩(52)的内壁之间,所述第二主动齿轮(45)与第二从动齿轮(44)相啮合,所述伺服电机(46)固定连接于第二齿轮罩(52)的侧端,所述伺服电机(46)的输出端延伸至第二齿轮罩(52)内,所述伺服电机(46)的输出端与第二主动齿轮(45)固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于半导体二极管芯片的检测设备,其特征在于,所述升降机构包括伸缩架(27)、滑槽(28)、第一滑块(29)、第三电机(30)、第一丝杆(31)...

【专利技术属性】
技术研发人员:江永生林振吴富友
申请(专利权)人:深圳市深微半导体有限公司
类型:发明
国别省市:

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