一种远程等离子体设备的辅助安装工具制造技术

本技术提供一种远程等离子体设备的辅助安装工具，由第一支架单元与第二支架单元组合而成，设置行走轮及升降组件，既方便移动升降远程等离子体设备，节约人力，减少底部密封圈损耗，降低生产成本；还通过拆分两支架单元进行辅助安装工具的移除，无需移动远程等离子体设备造成对准失效，节约时间，提高安装效率。承重底板上对应设置贯通槽，指示设备的底部螺丝孔位置，配合辅助螺丝精准对孔，降低对准难度，提高对准及安装效率；承重底板梯形设置，便于装卸设备，节约人力。副支撑柱与第一副支撑柱相对滑动以进行调节尺寸，设置锁紧销与锁紧孔以进行机械锁定，使辅助安装工具适用不同型号的远程等离子体设备，提高适用范围及稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体辅助工具领域，特别是涉及一种远程等离子体设备的辅助安装工具。

技术介绍

1、目前rps(remoteplasmasource，远程等离子体)设备没有辅助安装工具，基本靠手动调整rps设备的位置来进行安装。rps设备需安装至上腔室上，以给反应腔室提供等离子体气源，因为其重量重且没有便携移动的部分，导致其安装非常费力；而且人工挪动rps设备会使rps的o-ring(o型密封圈，安装在rps和rps cube连接处，主要起密封作用)增加摩擦减少使用寿命，造成o-ring损耗大，增加生产成本。

2、另外rps设备底下的四个螺丝孔也难以对准，靠手动调整rps的位置来达到螺丝孔位的对准，很难顺利一次安装完成，这就导致rps设备安装难度大和安装时间长，从而需要耗费过多的时间和人力。因此专利技术一种远程等离子体设备的辅助安装工具实属必要。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种远程等离子体设备的辅助安装工具，用于解决现有技术中远程等离子体设备对准安装的难度大、耗时长等问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种远程等离子体设备的辅助安装工具有以下有益效果：由第一支架单元与第二支架单元组合而成，支架单元中设置有行走轮及升降组件，方便移动升降远程等离子体设备，节约人力，减少设备底部密封圈的损耗；还能够在设备完成对准操作后，通过拆分两支架单元进行辅助安装工具的移除而无需移动远程等离子体设备，无需重复进行设备底部螺丝孔的对准操作，节约安装时间，提高安装效率。同时承重底板上对应于远程等离子体设备的底部螺丝孔设置有贯通槽，能够明确指示所述底部螺丝孔的位置，配合辅助螺丝进行精准对孔，降低所述底部螺丝孔的对准难度，且不易受外力影响对准效果，提高对准及安装效率。

3、副支撑柱与第一副支撑柱能够相对滑动以调节固定支架的尺寸，从而使辅助安装工具能够适用于不同的远程等离子体设备，提高适用范围；副支撑柱与第一副支撑柱上设置锁紧销与锁紧孔便于进行机械锁定，提高稳定性；承重底板梯形设置，便于装卸设备，节约人力。

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【技术保护点】

1.一种远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于，所述辅助安装工具至少包括：

2.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：还设置有设定长度的辅助螺丝，所述辅助螺丝安装于远程等离子体设备的所述底部螺丝孔中以进行辅助对孔操作。

3.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述行走轮与所述支撑柱底部通过弹性结构连接，且所述支撑柱与所述行走轮上对应设置有贯穿孔以配合插销将所述行走轮收缩进所述支撑柱内。

4.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述第一副支撑柱与所述副支撑柱之间能够相对滑动，以进行所述固定支架尺寸的调节。

5.根据权利要求4所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述副支撑柱的外径大于所述第一副支撑柱的外径，所述副支撑柱为夹具形式且靠近所述第一副支撑柱端设置有夹具盖板，抬起所述夹具盖板以将所述第一副支撑柱放置进入所述副支撑柱。

6.根据权利要求1、4-5任一所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述第一副支撑柱与所述副支撑柱上对应设置有锁紧孔与锁紧销。

7.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述升降结构包括丝杆与升降螺母，所述丝杆沿竖直方向穿过所述卡块活动连接于所述开口中空结构中，所述升降螺母穿过所述丝杆且固定于所述卡块的内部，所述动力结构包括涡轮、蜗杆与动力件，所述涡轮位于所述开口中空结构中并与所述丝杆顶部连接，所述蜗杆连接两相对所述支撑柱内的所述涡轮且穿过一所述支撑柱侧壁后与所述动力件连接。

8.根据权利要求7所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述动力件为手摇杆，所述手摇杆与所述蜗杆可拆卸固定连接。

9.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：沿所述第二方向上，所述承重底板第一方向尺寸随着远离所述卡块而逐渐减小，呈现梯形形状。

10.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：还设置有承重插销，且所述第二支架单元与所述第一支架单元的所述承重底板底部均对应设置有插环。

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【技术特征摘要】

1.一种远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于，所述辅助安装工具至少包括：

2.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：还设置有设定长度的辅助螺丝，所述辅助螺丝安装于远程等离子体设备的所述底部螺丝孔中以进行辅助对孔操作。

3.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述行走轮与所述支撑柱底部通过弹性结构连接，且所述支撑柱与所述行走轮上对应设置有贯穿孔以配合插销将所述行走轮收缩进所述支撑柱内。

4.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述第一副支撑柱与所述副支撑柱之间能够相对滑动，以进行所述固定支架尺寸的调节。

5.根据权利要求4所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述副支撑柱的外径大于所述第一副支撑柱的外径，所述副支撑柱为夹具形式且靠近所述第一副支撑柱端设置有夹具盖板，抬起所述夹具盖板以将所述第一副支撑柱放置进入所述副支撑柱。

6.根据权利要求1、4-5任一所述的远程等离子体设备的辅助...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴梓源，古育文，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：