【技术实现步骤摘要】
本技术涉及阀门测试，特别是涉及一种高压气动隔膜阀寿命测试装置。
技术介绍
1、随着半导体技术的飞速发展，半导体元件的半导体制造工序要求精密度愈发地高，因而要求高洁净度和特殊的制造工艺，对于生产设备的要求也越来越高。其中气动隔膜阀在半导体行业应用较为广泛，高压气动隔膜阀不仅具备低压气动隔膜阀响应速度快、易清洁、寿命次数高，而且还能传输高压的耐腐蚀性介质。高压气动隔膜阀和低压气动隔膜阀的结构原理差不多，主要由气动头、阀体、连接件组成，膜片和阀体之间通过连接件的螺纹预紧力形成外密封，即硬密封；对于常闭高压气动隔膜阀在气动头未通气状态下，膜片受到双圆柱形压缩弹簧的间接作用力压紧在阀座上，和阀座上端面形成内密封；当气动头通气时，气动头的上活塞和下活塞的下端面受到气体压力向上运动，推动弹簧再次压缩，膜片和阀座分离，阀门导通。高压气动隔膜阀寿命在几百万次到上千万次；由于使用工况苛刻，出现泄漏造成的损失不可估量，所以对高压气动隔膜阀进行寿命测试的抽检是非常有必要的。
2、目前常用的寿命测试装置是高压气动隔膜阀一端通高压气体，另一端接大气，通过电磁阀直接控制高压气动隔膜阀气动头的开闭，这种测试装置虽然简单，但由于是直接对空排放，且排放的测试气体压力大，所以每次泄放的气体量非常大，一是不安全，二是成本高，因为测试气体一般采用的是高纯氮气或其他昂贵的高纯气体，几百万次到几千万次的排放将会耗费非常多的测试气体，增加测试成本。同时由于每次泄放的气体量大，高压气动隔膜阀入口端连接的气源压力需一段时间补充，所以测试压力较难瞬间增加到测试气压，若要
3、在申请号为：202121793250.7，公开号为cn215865690u的技术中公开了一种飞机气动阀门测试装置，该飞机气动阀门测试装置，具备便于使用的优点，但是其依旧存在在测试时，测试不安全，测试成本高的问题。
技术实现思路
1、基于此，针对上述问题，本技术提出了一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，解决了目前的高压气动隔膜阀寿命测试装置测试不安全，测试成本高的问题。
2、本技术的技术方案是：
3、一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，包括高气压管路和低气压控制管路，所述高气压管路包括依次通过管道连通的第二气源、气气增压泵、气罐、高压调节阀、压力表、待测阀和高压常闭气动隔膜阀，且所述第二气源、气气增压泵、气罐、高压调节阀、压力表、待测阀和高压常闭气动隔膜阀与管道均为可拆卸连接，所述气气增压泵和气罐之间的管道上设有卸荷管，所述卸荷管上可拆卸连接有高压卸荷阀，所述高压调节阀和压力表之间的管道上设有泄放管，所述泄放管上可拆卸连接有高压泄放阀；
4、所述低气压控制管路包括第一气源、与第一气源连通的主管路、与主管路连通的第一支管和第二支管、与第一支管连通的第三支管和第四支管和与第三支管连通的第五支管和第六支管；
5、所述第二支管上设有第一气压调节阀，且所述第二支管另一端与气气增压泵连通，所述第一支管上设有第二气压调节阀，所述第四支管上设有第一电磁阀，所述第四支管另一端与待测阀连通，且与待测阀可拆卸连接，所述第五支管和第六支管上分别设有第二电磁阀和第三气压调节阀，且所述第五支管和第六支管另一端分别与高压常闭气动隔膜阀连接，所述第一电磁阀、第二电磁阀分别由控制器控制。
6、优选的是，所述高压卸荷阀一端通过卸荷管与气气增压泵和气罐之间的管道连通，且所述高压卸荷阀与卸荷管法兰连接，另一端通过可拆卸连接的管道与大气连通。
7、优选的是，所述高压泄放阀一端通过泄放管与高压调节阀和压力表之间的管道连通，且所述高压泄放阀与泄放管法兰连接，另一端通过可拆卸连接的管道与大气连通。
8、优选的是，所述高压常闭气动隔膜阀一端通过管道与待测阀连通，另一端通过可拆卸连接的管道与大气连通。
9、优选的是，所述第二气源的出气端与气气增压泵的进气端通过管道连通，且所述第二气源的出气端与该管道一端法兰连接，所述气气增压泵的进气端与该管道另一端法兰连接。
10、优选的是，所述气气增压泵的出气端与气罐的进气端通过管道连通，且所述气气增压泵的出气端与该管道一端法兰连接，气罐的进气端与该管道另一端法兰连接。
11、优选的是，所述气罐的出气端与高压调节阀的进气端通过管道连通，且所述气罐的出气端与该管道一端法兰连接，所述高压调节阀的进气端与该管道另一端法兰连接。
12、优选的是，所述高压调节阀的出气端与压力表的进气端通过管道连通，且所述高压调节阀的出气端与该管道一端法兰连接，所述压力表的进气端与该管道另一端法兰连接。
13、优选的是，所述压力表的出气端与待测阀的进气端通过管道连通，且所述压力表的出气端与该管道一端法兰连接，所述待测阀的进气端与该管道另一端法兰连接。
14、优选的是，所述待测阀的出气端与高压常闭气动隔膜阀的进气端通过管道连通，且所述待测阀的出气端与该管道一端法兰连接，所述高压常闭气动隔膜阀的进气端与该管道另一端法兰连接。
15、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
16、在本技术中，控制器主要是控制第一电磁阀和第二电磁阀按照设定的逻辑实现开闭顺序和开闭时长，通过给第一电磁阀和第二电磁阀发送脉冲信号控制第一电磁阀和第二电磁阀的开闭，且完成对脉冲信号计数；第一气压调节阀、第二气压调节阀、第三气压调节阀主要是用于调节控制管路气压；气气增压泵是用于给高气压管路提供足够的气压；高压卸荷阀是用于保护高气压管路，当出现异常时，自动泄压；气罐是用于保障高气压管路气压的稳定，有高气压的气罐在管路中，当气体有少量的泄放时，不会对气压有太大影响，并可由气气增压泵对气压快速进行补充；高压调节阀和高压泄放阀是用于控制高气压管路；压力表是用于显示高气压管路的实时气压；高压常闭气动隔膜阀是用于控制高气压管路气压排放；
17、在使用时，将需要测量的高压气动隔膜阀安装在待测阀的位置，完成寿命测试装置的安装，确认控制器、第一气压调节阀、第二气压调节阀、高压泄放阀处于关闭状态，高压调节阀处于开启状态，然后打开第一气源和第二气源，调节第一气压调节阀，使气气增压泵开始动作，缓慢增压至压力表显示数值为测试压力后，停止增压，调节第二气压调节阀，使第二气压调节阀的表显数值达到测试压力，通过控制器控制第一电磁阀和第二电磁阀的开闭时间与高压常闭气动隔膜阀的开启时间形成配合，完成循环寿命测试；然后关闭第二气源，关闭控制器，关闭第一气压调节阀，缓慢打开高压泄放阀进行高气压管路气压的泄放直至压力表示数为0，缓慢调节第三气压调节阀至预先设定压力范围，然后进行高气压管路末端气压的泄放；然后关闭第一气源，关闭第二气压调节阀，关闭第三气压调节阀，完成装置的关闭，解决了目前的高压气动隔膜阀寿命测试装置测试不安全本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，包括高气压管路(10)和低气压控制管路(20)，所述高气压管路(10)包括依次通过管道连通的第二气源(100)、气气增压泵(110)、气罐(120)、高压调节阀(130)、压力表(140)、待测阀(150)和高压常闭气动隔膜阀(160)，且所述第二气源(100)、气气增压泵(110)、气罐(120)、高压调节阀(130)、压力表(140)、待测阀(150)和高压常闭气动隔膜阀(160)与管道均为可拆卸连接，所述气气增压泵(110)和气罐(120)之间的管道上设有卸荷管(30)，所述卸荷管(30)上可拆卸连接有高压卸荷阀(31)，所述高压调节阀(130)和压力表(140)之间的管道上设有泄放管(32)，所述泄放管(32)上可拆卸连接有高压泄放阀(33)；
2.根据权利要求1所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，所述高压卸荷阀(31)一端通过卸荷管(30)与气气增压泵(110)和气罐(120)之间的管道连通，且所述高压卸荷阀(31)与卸荷管(30)法兰连接，另一端通过可拆卸连接的管道与大气连通。
3.
4.根据权利要求3所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，所述高压常闭气动隔膜阀(160)一端通过管道与待测阀(150)连通，另一端通过可拆卸连接的管道与大气连通。
5.根据权利要求1所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，所述第二气源(100)的出气端与气气增压泵(110)的进气端通过管道连通，且所述第二气源(100)的出气端与该管道一端法兰连接，所述气气增压泵(110)的进气端与该管道另一端法兰连接。
6.根据权利要求1所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，所述气气增压泵(110)的出气端与气罐(120)的进气端通过管道连通，且所述气气增压泵(110)的出气端与该管道一端法兰连接，气罐(120)的进气端与该管道另一端法兰连接。
7.根据权利要求1所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，所述气罐(120)的出气端与高压调节阀(130)的进气端通过管道连通，且所述气罐(120)的出气端与该管道一端法兰连接，所述高压调节阀(130)的进气端与该管道另一端法兰连接。
8.根据权利要求1所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，所述高压调节阀(130)的出气端与压力表(140)的进气端通过管道连通，且所述高压调节阀(130)的出气端与该管道一端法兰连接，所述压力表(140)的进气端与该管道另一端法兰连接。
9.根据权利要求1所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，所述压力表(140)的出气端与待测阀(150)的进气端通过管道连通，且所述压力表(140)的出气端与该管道一端法兰连接，所述待测阀(150)的进气端与该管道另一端法兰连接。
10.根据权利要求1所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，所述待测阀(150)的出气端与高压常闭气动隔膜阀(160)的进气端通过管道连通，且所述待测阀(150)的出气端与该管道一端法兰连接，所述高压常闭气动隔膜阀(160)的进气端与该管道另一端法兰连接。
...【技术特征摘要】
1.一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，包括高气压管路(10)和低气压控制管路(20)，所述高气压管路(10)包括依次通过管道连通的第二气源(100)、气气增压泵(110)、气罐(120)、高压调节阀(130)、压力表(140)、待测阀(150)和高压常闭气动隔膜阀(160)，且所述第二气源(100)、气气增压泵(110)、气罐(120)、高压调节阀(130)、压力表(140)、待测阀(150)和高压常闭气动隔膜阀(160)与管道均为可拆卸连接，所述气气增压泵(110)和气罐(120)之间的管道上设有卸荷管(30)，所述卸荷管(30)上可拆卸连接有高压卸荷阀(31)，所述高压调节阀(130)和压力表(140)之间的管道上设有泄放管(32)，所述泄放管(32)上可拆卸连接有高压泄放阀(33)；
2.根据权利要求1所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，所述高压卸荷阀(31)一端通过卸荷管(30)与气气增压泵(110)和气罐(120)之间的管道连通，且所述高压卸荷阀(31)与卸荷管(30)法兰连接，另一端通过可拆卸连接的管道与大气连通。
3.根据权利要求1或2所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，所述高压泄放阀(33)一端通过泄放管(32)与高压调节阀(130)和压力表(140)之间的管道连通，且所述高压泄放阀(33)与泄放管(32)法兰连接，另一端通过可拆卸连接的管道与大气连通。
4.根据权利要求3所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置，其特征在于，所述高压常闭气动隔膜阀(160)一端通过管道与待测阀(150)连通，另一端通过可拆卸连接的管道与大气连通。
5.根据权利要求1所述的一种高压气动隔膜阀寿命测试装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：童泽琼，宋铠钰，陈林，张智明，
申请(专利权)人：四川九天真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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