一种靶材回收装置制造方法及图纸

本技术公开了一种靶材回收装置，包括回收熔炼炉，所述回收熔炼炉包括炉体，所述炉体内设有燃烧腔，所述燃烧腔内设有燃料入口，所述燃烧腔上方设有靶材熔炼腔，所述靶材熔炼腔内设有废弃靶材放置架，所述炉体上设有热气层，所述热气层外设有保温层，所述热气层内设有螺旋式热气管道，所述热气层上连接有余热回收系统；本技术结构简单，设计新颖，减少能源消耗，提高资源利用率，避免环境污染。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及靶材回收，具体为一种靶材回收装置。

技术介绍

1、靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，通过薄膜沉积设备使用高能的粒子轰击靶材然后在硅片上形成特定功能的金属层，例如导电层，阻挡层等。靶材在使用后即为废弃品，目前常用的回收手段为火法回收，通过高温熔炼、焚烧，将靶材转化为金属锭或金属粉末，但火法回收需要消耗大量资源，且产生的废气废渣处理不当会对环境造成污染。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种靶材回收装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种靶材回收装置，包括回收熔炼炉，所述回收熔炼炉包括炉体，所述炉体内设有燃烧腔，所述燃烧腔内设有燃料入口，所述燃烧腔上方设有靶材熔炼腔，所述靶材熔炼腔内设有废弃靶材放置架，所述炉体上设有热气层，所述热气层外设有保温层，所述热气层内设有螺旋式热气管道，所述热气层上连接有余热回收系统。

2、优选的，所述余热回收系统包括烟气过滤器，所述烟气过滤器通过烟管连接至烟气回收器，所述烟气回收器通过烟管连接至靶材真空熔炼炉的排气口。

3、优选的，所述废弃靶材放置架下方设有废渣收集盒，所述废渣收集盒下方设有靶材回收盒。

4、优选的，所述炉体上设有废气排管，所述废气排管内设有过滤器。

5、与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术设计新颖，利用合理的机械结构，巧妙发挥各要素内在潜力，通过将靶材真空熔炼炉内产生的烟气进行余热回收，将余热传输至回收熔炼炉内，充分利用烟气余热，为回收熔炼炉内的熔炼提供温度加持，减少能源消耗，提高资源利用率；

6、同时，在回收熔炼炉上加设废气过滤装置与废渣收集盒，将废气与废渣分类处理，避免环境污染。

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【技术保护点】

1.一种靶材回收装置，包括回收熔炼炉，其特征在于：所述回收熔炼炉包括炉体(1)，所述炉体(1)内设有燃烧腔(11)，所述燃烧腔(11)内设有燃料入口(12)，所述燃烧腔(11)上方设有靶材熔炼腔(13)，所述靶材熔炼腔(13)内设有废弃靶材放置架(14)，所述炉体(1)上设有热气层(15)，所述热气层(15)外设有保温层(16)，所述热气层(15)内设有螺旋式热气管道(17)，所述热气层(15)上连接有余热回收系统(2)。

2.根据权利要求1所述的一种靶材回收装置，其特征在于：所述余热回收系统(2)包括烟气过滤器(21)，所述烟气过滤器(21)通过烟管(22)连接至烟气回收器(23)，所述烟气回收器(23)通过烟管(22)连接至靶材真空熔炼炉的排气口。

3.根据权利要求1所述的一种靶材回收装置，其特征在于：所述废弃靶材放置架(14)下方设有废渣收集盒(18)，所述废渣收集盒(18)下方设有靶材回收盒(19)。

4.根据权利要求1所述的一种靶材回收装置，其特征在于：所述炉体上设有废气排管(3)，所述废气排管(3)内设有过滤器(31)。

【技术特征摘要】

1.一种靶材回收装置，包括回收熔炼炉，其特征在于：所述回收熔炼炉包括炉体(1)，所述炉体(1)内设有燃烧腔(11)，所述燃烧腔(11)内设有燃料入口(12)，所述燃烧腔(11)上方设有靶材熔炼腔(13)，所述靶材熔炼腔(13)内设有废弃靶材放置架(14)，所述炉体(1)上设有热气层(15)，所述热气层(15)外设有保温层(16)，所述热气层(15)内设有螺旋式热气管道(17)，所述热气层(15)上连接有余热回收系统(2)。

2.根据权利要求1所述的一种靶材回收装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜亚飞，常代展，王雷，
申请(专利权)人：江苏海泰光电材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：