【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工设备，特别涉及一种工艺腔体辅助安装装置。
技术介绍
1、双工艺腔体的尺寸和重量都很大，安装至tm腔时需要多个人配合安装，配合不好容易造成人员伤害。此外，安装过程中因为安装孔过大的原因容易造成双工艺腔体安装不平行，安装完成后需要对双工艺腔体进行调平，费时费力。
技术实现思路
1、为了解决现有技术存在的问题，本专利技术的至少一个实施例提供了一种工艺腔体辅助安装装置，设置了升降装置、调平装置以及到位检测架，对双工艺腔体进行到位检测、升降调节以及水平调节，单人就可完成整个双工艺腔体的调平与安装，提高了安装精度，节省了安装时间以及人工成本，降低了人员受伤风险。
2、本专利技术实施例提出一种工艺腔体辅助安装装置，包括可移动的装置架，装置架设置有升降装置、调平装置和到位检测架，升降装置的升降端连接有工艺腔体升降台，到位检测架的两端分别设置有到位传感器。
3、在一些实施例中，本专利技术提供的一种工艺腔体辅助安装装置，装置架包括底板、中间板、侧向支架和横向支柱，侧向支架分别连接于底板的两侧，横向支柱的两端分别连接于侧向支架；升降装置安装于中间板，中间板的一端连接于侧向支架，中间板的另一端通过竖直柱连接于横向支柱。
4、在一些实施例中，本专利技术提供的一种工艺腔体辅助安装装置，升降装置包括丝杆传动机构以及分别安装于丝杆传动机构两侧的折叠架，折叠架的底部一端可转动连接于中间板，折叠架的底部另一端可转动连接于丝杆传动机构的传动端。
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6、在一些实施例中，本专利技术提供的一种工艺腔体辅助安装装置，横向支柱的顶部一侧设置有工艺腔体输入台，工艺腔体输入台和工艺腔体升降台均设置有传输滚道。
7、在一些实施例中，本专利技术提供的一种工艺腔体辅助安装装置，工艺腔体升降台朝向工艺腔体输入台的一侧设置有防倒滑装置，防倒滑装置包括防倒滑座和升降块，升降块设置有朝向工艺腔体输入台的倾斜部；防倒滑座内设置有弹性部件，弹簧部件的一端连接于防倒滑座的内壁，弹簧部件的另一端连接于升降块。
8、在一些实施例中，本专利技术提供的一种工艺腔体辅助安装装置，调平装置为螺旋升降机，底板的底部设置有至少三组调平装置。
9、在一些实施例中，本专利技术提供的一种工艺腔体辅助安装装置，到位检测架包括位于中间板一侧的斜角支架和防撞横档，斜角支架连接于侧向支架，防撞横档连接于斜角支架，到位传感器安装于防撞横档的两端。
10、在一些实施例中，本专利技术提供的一种工艺腔体辅助安装装置，底板安装有多个万向轮。
11、在一些实施例中，本专利技术提供的一种工艺腔体辅助安装装置，工艺腔体升降台的一侧连接有传感器安装座，传感器安装座的两侧分别安装有位移传感器。
12、可见，本专利技术实施例的一种工艺腔体辅助安装装置，设置了升降装置、调平装置以及到位检测架，对双工艺腔体进行到位检测、升降调节以及水平调节，单人就可完成整个双工艺腔体的调平与安装，提高了安装精度，节省了安装时间以及人工成本，降低了人员受伤风险。
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1.一种工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，包括可移动的装置架(1)，所述装置架(1)设置有升降装置(2)、调平装置(3)和到位检测架(4)，所述升降装置(2)的升降端连接有工艺腔体升降台(5)，所述到位检测架(4)的两端分别设置有到位传感器(41)。
2.根据权利要求1所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述装置架(1)包括底板(11)、中间板(12)、侧向支架(13)和横向支柱(14)，所述侧向支架(13)分别连接于所述底板(11)的两侧，所述横向支柱(14)的两端分别连接于所述侧向支架(13)；所述升降装置(2)安装于所述中间板(12)，所述中间板(12)的一端连接于所述侧向支架(13)，所述中间板(12)的另一端通过竖直柱(15)连接于所述横向支柱(14)。
3.根据权利要求2所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述升降装置(2)包括丝杆传动机构(21)以及分别安装于所述丝杆传动机构(21)两侧的折叠架(22)，所述折叠架(22)的底部一端可转动连接于所述中间板(12)，所述折叠架(22)的底部另一端可转动连接于所述丝杆传动机构(21)的传动
4.根据权利要求3所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述中间板(12)设置有固定座(23)，所述折叠架(22)的底部一端可转动连接于所述固定座(23)；所述丝杆传动机构(21)的传动端的两侧分别连接有滚轮(24)，所述中间板(12)设置有与所述滚轮(24)相对应的滚动槽(25)，所述滚轮(24)置于所述滚动槽(25)内。
5.根据权利要求2所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述横向支柱(14)的顶部一侧设置有工艺腔体输入台(6)，所述工艺腔体输入台(6)和工艺腔体升降台(5)均设置有传输滚道(7)。
6.根据权利要求5所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述工艺腔体升降台(5)朝向所述工艺腔体输入台(6)的一侧设置有防倒滑装置(8)，所述防倒滑装置(8)包括防倒滑座(81)和升降块(82)，所述升降块(82)设置有朝向所述工艺腔体输入台的倾斜部(821)；所述防倒滑座(81)内设置有弹性部件(811)，所述弹簧部件(811)的一端连接于所述防倒滑座(81)的内壁，所述弹簧部件(811)的另一端连接于所述升降块(82)。
7.根据权利要求2所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述调平装置(3)为螺旋升降机，所述底板(11)的底部设置有至少三组所述调平装置(3)。
8.根据权利要求2所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述到位检测架(4)包括位于所述中间板(12)一侧的斜角支架(42)和防撞横档(43)，所述斜角支架(42)连接于所述侧向支架(13)，所述防撞横档(43)连接于所述斜角支架(42)，所述到位传感器(41)安装于所述防撞横档(43)的两端。
9.根据权利要求2中任一项所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述底板(11)安装有多个万向轮(111)。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述工艺腔体升降台(5)的一侧连接有传感器安装座(51)，所述传感器安装座(51)的两侧分别安装有位移传感器(52)。
...【技术特征摘要】
1.一种工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，包括可移动的装置架(1)，所述装置架(1)设置有升降装置(2)、调平装置(3)和到位检测架(4)，所述升降装置(2)的升降端连接有工艺腔体升降台(5)，所述到位检测架(4)的两端分别设置有到位传感器(41)。
2.根据权利要求1所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述装置架(1)包括底板(11)、中间板(12)、侧向支架(13)和横向支柱(14)，所述侧向支架(13)分别连接于所述底板(11)的两侧，所述横向支柱(14)的两端分别连接于所述侧向支架(13)；所述升降装置(2)安装于所述中间板(12)，所述中间板(12)的一端连接于所述侧向支架(13)，所述中间板(12)的另一端通过竖直柱(15)连接于所述横向支柱(14)。
3.根据权利要求2所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述升降装置(2)包括丝杆传动机构(21)以及分别安装于所述丝杆传动机构(21)两侧的折叠架(22)，所述折叠架(22)的底部一端可转动连接于所述中间板(12)，所述折叠架(22)的底部另一端可转动连接于所述丝杆传动机构(21)的传动端。
4.根据权利要求3所述的工艺腔体辅助安装装置，其特征在于，所述中间板(12)设置有固定座(23)，所述折叠架(22)的底部一端可转动连接于所述固定座(23)；所述丝杆传动机构(21)的传动端的两侧分别连接有滚轮(24)，所述中间板(12)设置有与所述滚轮(24)相对应的滚动槽(25)，所述滚轮(24)置于所述滚动槽(25)内。
5.根据权利要求2所述的工艺腔体辅助安...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄善发，臧宇，吴金马，
申请(专利权)人：盛吉盛半导体科技无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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