【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及密封领域，尤其是涉及真空隔离阀以及包括上述真空隔离阀的密封结构。
技术介绍
1、真空技术在工业和科学研究中应用广泛，真空按照其压力分为：粗略中空、中度真空、高真空和超高真空。真空隔离阀为真空技术的重要零部件，真空隔离阀起到密封的作用，能够保持腔室内的真空状态。
2、当真空隔离阀被用在扫描电子显微镜里时，当被密封元件的真空状态解除后，需要真空隔离阀离开连通孔的轴线，避免真空隔离阀遮挡光线，导致轴线光路不畅。现有技术虽然存在不密封时远离连通孔的真空隔离阀，但现有技术中的真空隔离阀结构复杂，成本高并且容易损坏。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的之一在于提供一种真空隔离阀，其结构简单并且当被密封元件的真空状态解除后，真空隔离阀离开连通孔的轴线，避免轴线光路不畅。
2、为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的之二在于提供一种密封结构，其结构简单并且当被密封元件的真空状态解除后，真空隔离阀离开连通孔的轴线，避免轴线光路不畅。
3、本专利技术的目的之一采用如下技术方案实现：
4、一种真空隔离阀，包括阀体被动件、安装于所述阀体被动件的密封圈、阀体主动件以及至少两连杆，所述阀体主动件与所述阀体被动件平行，每一所述连杆分别与所述阀体主动件以及所述阀体被动件转动连接，所述阀体被动件、所述阀体主动件以及至少两所述连杆形成平行四边形结构，所述真空隔离阀沿垂直于待密封件的连通孔轴线的第一方向移动至极限位置时，所述阀体被动件
5、进一步的，所述阀体被动件设有凸台，所述凸台上设有安装槽，所述密封圈位于所述安装槽中，所述真空隔离阀处于使用状态时，所述凸台与所述待密封件抵触。
6、进一步的，所述密封圈为o形密封圈。
7、进一步的，所述阀体被动件设有第二端部，所述阀体主动件设有第一端部，所述第二端部与所述第一端部位于同一侧，所述第二端部位于所述第一端部上方并伸出所述第一端部。
8、进一步的，所述阀体主动件包括座体以及从所述座体延伸而出的两连接板，两所述连接板之间形成开槽。
9、进一步的，两所述连接板平行。
10、进一步的，所述真空隔离阀还包括安装杆、连接杆以及调节螺母，所述安装杆固定于所述座体，所述连接杆与所述安装杆连接并位于同一直线上，所述调节螺母安装于所述安装杆端部以及所述连接杆之间以调节所述安装杆与所述连接杆之间的连接长度。
11、本专利技术的目的之二采用如下技术方案实现：
12、一种密封结构，包括待密封件，所述待密封件设有连通孔，所述密封结构还包括导向件以及上述任意一种真空隔离阀，所述真空隔离阀沿垂直于待密封件的连通孔轴线的第一方向移动至所述阀体被动件与所述导向件抵触时，所述阀体被动件产生垂直于第一方向的第二方向移动直至密封圈与连通孔边缘抵触实现密封；当所述真空隔离阀沿所述第一方向反向移动时，所述阀体被动件与所述导向件分离，产生沿第二方向的反向移动，密封圈与连通孔边缘分离并且真空隔离阀远离所述连通孔。
13、进一步的，所述导向件设有导向槽，所述导向槽沿所述第一方向延伸，所述导向槽末端为端壁，所述真空隔离阀在所述导向槽中移动，所述阀体被动件与所述端壁抵触。
14、进一步的，所述导向件还设有透光孔，所述透光孔与所述连通孔位于同一直线上，所述导向槽位于所述透光孔与所述连通孔之间。
15、相比现有技术，本专利技术真空隔离阀的阀体主动件与阀体被动件平行，每一连杆分别与阀体主动件以及阀体被动件转动连接，阀体被动件、阀体主动件以及至少两连杆形成平行四边形结构，通过上述设计，阀体被动件被抵触时，产生垂直于第一方向的第二方向移动使密封圈与连通孔边缘抵触实现密封；当真空隔离阀沿第一方向反向移动时，阀体被动件与导向件分离，产生沿第二方向的反向移动，密封圈与连通孔边缘分离并且真空隔离阀远离连通孔，不阻挡光路，并且真空隔离阀整体结构简单。
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1.一种真空隔离阀，包括阀体被动件以及安装于所述阀体被动件的密封圈，其特征在于：所述真空隔离阀还包括阀体主动件以及至少两连杆，所述阀体主动件与所述阀体被动件平行，每一所述连杆分别与所述阀体主动件以及所述阀体被动件转动连接，所述阀体被动件、所述阀体主动件以及至少两所述连杆形成平行四边形结构，所述真空隔离阀沿垂直于待密封件的连通孔轴线的第一方向移动至极限位置时，所述阀体被动件抵触导向件，产生垂直于第一方向的第二方向移动直至密封圈与连通孔边缘抵触实现密封；当所述真空隔离阀沿所述第一方向反向移动时，所述阀体被动件与所述导向件分离，产生沿第二方向的反向移动，密封圈与连通孔边缘分离并且真空隔离阀远离所述连通孔。
2.根据权利要求1所述的真空隔离阀，其特征在于：所述阀体被动件设有凸台，所述凸台上设有安装槽，所述密封圈位于所述安装槽中，所述真空隔离阀处于使用状态时，所述凸台与所述待密封件抵触。
3.根据权利要求1所述的真空隔离阀，其特征在于：所述密封圈为O形密封圈。
4.根据权利要求1所述的真空隔离阀，其特征在于：所述阀体被动件设有第二端部，所述阀体主动件设有
5.根据权利要求1所述的真空隔离阀，其特征在于：所述阀体主动件包括座体以及从所述座体延伸而出的两连接板，两所述连接板之间形成开槽。
6.根据权利要求5所述的真空隔离阀，其特征在于：两所述连接板平行。
7.根据权利要求5所述的真空隔离阀，其特征在于：所述真空隔离阀还包括安装杆、连接杆以及调节螺母，所述安装杆固定于所述座体，所述连接杆与所述安装杆连接并位于同一直线上，所述调节螺母安装于所述安装杆端部以及所述连接杆之间以调节所述安装杆与所述连接杆之间的连接长度。
8.一种密封结构，包括待密封件，所述待密封件设有连通孔，其特征在于：所述密封结构还包括导向件以及如权利要求1-7任意一项所述的真空隔离阀，所述真空隔离阀沿垂直于待密封件的连通孔轴线的第一方向移动至所述阀体被动件与所述导向件抵触时，所述阀体被动件产生垂直于第一方向的第二方向移动直至密封圈与连通孔边缘抵触实现密封；当所述真空隔离阀沿所述第一方向反向移动时，所述阀体被动件与所述导向件分离，产生沿第二方向的反向移动，密封圈与连通孔边缘分离并且真空隔离阀远离所述连通孔。
9.根据权利要求8所述的密封结构，其特征在于：所述导向件设有导向槽，所述导向槽沿所述第一方向延伸，所述导向槽末端为端壁，所述真空隔离阀在所述导向槽中移动，所述阀体被动件与所述端壁抵触。
10.根据权利要求9所述的密封结构，其特征在于：所述导向件还设有透光孔，所述透光孔与所述连通孔位于同一直线上，所述导向槽位于所述透光孔与所述连通孔之间。
...【技术特征摘要】
1.一种真空隔离阀，包括阀体被动件以及安装于所述阀体被动件的密封圈，其特征在于：所述真空隔离阀还包括阀体主动件以及至少两连杆，所述阀体主动件与所述阀体被动件平行，每一所述连杆分别与所述阀体主动件以及所述阀体被动件转动连接，所述阀体被动件、所述阀体主动件以及至少两所述连杆形成平行四边形结构，所述真空隔离阀沿垂直于待密封件的连通孔轴线的第一方向移动至极限位置时，所述阀体被动件抵触导向件，产生垂直于第一方向的第二方向移动直至密封圈与连通孔边缘抵触实现密封；当所述真空隔离阀沿所述第一方向反向移动时，所述阀体被动件与所述导向件分离，产生沿第二方向的反向移动，密封圈与连通孔边缘分离并且真空隔离阀远离所述连通孔。
2.根据权利要求1所述的真空隔离阀，其特征在于：所述阀体被动件设有凸台，所述凸台上设有安装槽，所述密封圈位于所述安装槽中，所述真空隔离阀处于使用状态时，所述凸台与所述待密封件抵触。
3.根据权利要求1所述的真空隔离阀，其特征在于：所述密封圈为o形密封圈。
4.根据权利要求1所述的真空隔离阀，其特征在于：所述阀体被动件设有第二端部，所述阀体主动件设有第一端部，所述第二端部与所述第一端部位于同一侧，所述第二端部位于所述第一端部上方并伸出所述第一端部。
5.根据权利要求1所述的真空隔离阀，其特征在于：所述阀体主动件包括座体以及从所述座体延伸而出的两连接板，两所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾国刚，杨旭，
申请(专利权)人：屹东光学技术苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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