【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学检测设备，特别涉及一种光学检测设备及其减振装置。
技术介绍
1、光学检测设备可应用于检测产品的缺陷或尺寸，通常包括具有光源的光学系统、光路开关器件(shutter，挡光片)和驱动光路开关器件运动以实现光学系统生成的光路的开关切换的运动机构(电机)。
2、例如，基于linnik型(又称林尼克型)干涉条纹聚焦测量技术的相关光学检测设备中，运动机构对光学检测设备的光路开关器件的空间位置进行调节变换，来实现光学检测设备的光路开关的频繁切换控制。
3、但是，由于光路的开关频率通常可以达到几百赫兹至几千赫兹，这就导致了运动机构会产生很大的激振，而运动机构的激振很容易引发连锁反应，致使光学检测设备的光学系统或者其他功能构件出现振荡，从而影响光学检测设备的检测效果。
4、因此，如何减小运动机构产生的激振，以减小光学检测设备的振荡，保证光学检测设备的检测效果，是本领技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供了一种减振装置，减小运动机构产生的激振，以减小光学检测设备的振荡，保证光学检测设备的检测效果。此外，本技术还提供了一种具有上述减振装置的光学检测设备。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种减振装置，其包括：
4、支架组件，所述支架组件包括沿预设路径依次布设的多个支撑臂，各所述支撑臂形成有首尾的连接端部，一个连接端部用于连接振源，另一个连接端部用于连接预设载体；各所述支撑
5、减振组件，所述减振组件包括多个隔振连接件，所述隔振连接件设于相邻的所述支撑臂之间，用于限定所述支撑臂且吸收所述支撑臂上的振动。
6、优选的，上述的减振装置中，所述预设路径包括第一方向、第二方向和第三方向，且所述第一方向与第二方向相交；
7、所述第三方向相交于所述第一方向和第二方向形成的平面，或所述第三方向、所述第一方向和所述第二方向共面。
8、优选的，上述的减振装置中，所述支撑臂包括：沿所述第一方向延伸的第一支撑臂、沿所述第二方向延伸的第二支撑臂和沿所述第三方向延伸的第三支撑臂，所述第一支撑臂用于连接所述振源，所述第三支撑臂用于连接所述预设载体；
9、所述隔振连接件包括：连接所述第一支撑臂和所述第二支撑臂的第一隔振连接件、和连接所述第二支撑臂和所述第三支撑臂的第二隔振连接件。
10、优选的，上述的减振装置中，所述第二支撑臂包括：均沿所述第二方向延伸的第一分支撑臂和第二分支撑臂；
11、其中，所述第一分支撑臂与所述第一支撑臂通过所述第一隔振连接件连接；
12、所述第二分支撑臂与所述第一分支撑臂连接，且所述第二分支撑臂与所述第三支撑臂通过所述第二隔振连接件连接。
13、优选的，上述的减振装置中，所述第一分支撑臂和所述第二分支撑臂之间的距离可沿所述第二方向调节。
14、优选的，上述的减振装置中，所述第一分支撑臂和所述第二分支撑臂通过腰型孔连接，所述腰型孔沿所述第二方向延伸。
15、优选的，上述的减振装置中，所述第三支撑臂包括：沿所述第三方向延伸的第三分支撑臂和第四分支撑臂；
16、其中，所述第三分支撑臂通过所述第二隔振连接件与所述第二分支撑臂连接；所述第四分支撑臂一端与所述第三分支撑臂连接，另一端用于连接所述预设载体；
17、所述隔振连接件还包括用于连接所述第三分支撑臂和所述第四分支撑臂的第三隔振连接件。
18、优选的，上述的减振装置中，所述隔振连接件还包括第四隔振连接件，
19、且所述第四分支撑臂与所述预设载体通过所述第四隔振连接件连接。
20、优选的，上述的减振装置中，所述隔振连接件包括：
21、用于与所述支撑臂螺纹连接的螺杆和套设于所述螺杆上的隔振垫。
22、优选的，上述的减振装置中，所述第二隔振连接件的隔振垫为沿与重力方向相交的方向延伸的台阶减震件，
23、并且所述台阶减震件的小径段伸入于所述第三分支撑臂的第一安装孔内，并且所述台阶减震件的台阶面与所述第三分支撑臂的安装孔相抵。
24、优选的，上述的减振装置中，所述第三隔振连接件与所述第二隔振连接件的结构相同；
25、所述第三隔振连接件的台阶减震件的小径段伸入于所述第三分支撑臂的第二安装孔内，并且所述台阶减震件的台阶面与所述第二安装孔相抵。
26、优选的，上述的减振装置中，
27、所述支撑臂具有减重孔。
28、一种光学检测设备，包括运动机构和减振装置，其中，所述减振装置为上述任一项所述的减振装置。
29、本技术提供了一种减振装置，该减振装置包括支架组件和对相邻支架进行减振的减振组件。将减振装置与运动机构连接，从而利用减振组件的减振功能将运动机构产生的激振消耗，从而减小光学检测设备的振荡，保证光学检测设备的检测效果；利用多级减振组件能够逐级消减振动的传递作用，尽量让振动在支撑臂上消减掉，避免对预设载体的振动影响；支架组件围绕形成的避让区域用来设置防振对象，如此能够实现振源、减振装置与防振对象的相互隔离，传递到预设载体的振动已经变的非常微弱，再通过预设载体传递到防振对象的振动就可忽略不计，从而杜绝振动对防振对象产生的影响作用。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种减振装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，所述预设路径包括第一方向、第二方向和第三方向，且所述第一方向与所述第二方向相交；
3.根据权利要求2所述的减振装置，其特征在于，所述支撑臂包括：沿所述第一方向延伸的第一支撑臂、沿所述第二方向延伸的第二支撑臂和沿所述第三方向延伸的第三支撑臂，所述第一支撑臂的一端用于连接所述振源，所述第三支撑臂的一端用于连接所述预设载体；
4.根据权利要求3所述的减振装置，其特征在于，所述第二支撑臂包括：均沿所述第二方向延伸的第一分支撑臂和第二分支撑臂；
5.根据权利要求4所述的减振装置，其特征在于，所述第一分支撑臂和所述第二分支撑臂之间的距离可沿所述第二方向调节。
6.根据权利要求5所述的减振装置，其特征在于，所述第一分支撑臂和所述第二分支撑臂通过腰型孔连接，所述腰型孔沿所述第二方向延伸。
7.根据权利要求4所述的减振装置，其特征在于，所述第三支撑臂包括：沿所述第三方向延伸的第三分支撑臂和第四分支撑臂；
8.根据权利要求7所述的减振
9.根据权利要求8所述的减振装置，其特征在于，所述隔振连接件包括：
10.根据权利要求9所述的减振装置，其特征在于，所述第二隔振连接件的隔振垫为沿与重力方向相交的方向延伸的台阶减震件，
11.根据权利要求10所述的减振装置，其特征在于，所述第三隔振连接件与所述第二隔振连接件的结构相同；
12.根据权利要求1至11任一项所述的减振装置，其特征在于，
13.一种光学检测设备，包括运动机构和减振装置，其特征在于，所述减振装置为如权利要求1至12任一项所述的减振装置。
...【技术特征摘要】
1.一种减振装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，所述预设路径包括第一方向、第二方向和第三方向，且所述第一方向与所述第二方向相交；
3.根据权利要求2所述的减振装置，其特征在于，所述支撑臂包括：沿所述第一方向延伸的第一支撑臂、沿所述第二方向延伸的第二支撑臂和沿所述第三方向延伸的第三支撑臂，所述第一支撑臂的一端用于连接所述振源，所述第三支撑臂的一端用于连接所述预设载体；
4.根据权利要求3所述的减振装置，其特征在于，所述第二支撑臂包括：均沿所述第二方向延伸的第一分支撑臂和第二分支撑臂；
5.根据权利要求4所述的减振装置，其特征在于，所述第一分支撑臂和所述第二分支撑臂之间的距离可沿所述第二方向调节。
6.根据权利要求5所述的减振装置，其特征在于，所述第一分支撑臂和所述第二分支撑臂通过腰型孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋训鹏，吕肃，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。