System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种半导体发光元件制造技术_技高网

一种半导体发光元件制造技术

技术编号:40237646 阅读:11 留言:0更新日期:2024-02-02 22:37
本发明专利技术公开了一种导体发光元件,所述半导体发光元件包括:从下至上依次设置的衬底、n型半导体层、量子阱、p型半导体层和p型接触层;所述p型接触层包括:GaN、InGaN、AlInGaN、AlGaN、InAlN中的任意一种或多种;所述p型接触层的In元素组分、Al元素组分、O元素含量浓度、H元素含量浓度、C元素含量浓度、Mg元素掺杂浓度和Si元素掺杂浓度分别呈函数方式分布。本发明专利技术可以提升p型接触层的Mg离化效率和溶解度,提升空穴浓度,降低半导体发光元件的电阻和电压,并降低p型接触层与透明导电层的接触电阻和带阶,使半导体发光元件的电压下降,达到降低半导体发光元件的使用能耗的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体发光电器件的,尤其涉及一种半导体发光元件


技术介绍

1、半导体发光元器件是具有可调范围广泛的波长范围,发光效率高,节能环保的电子元件。由于其使用寿命长且尺寸小,现已逐渐取代白炽灯和荧光灯,成为不同使用场景的照明光源,例如户内高分辨率显示屏、户外显屏、mini-led、micro-led、手机电视背光、路灯、汽车大灯、车日行灯、车内氛围灯、手电筒等。

2、由于传统氮化物半导体的空穴离化效率远低于电子离化效率,甚至可能空穴浓度低于电子浓度2个数量级以上,导致p型接触层的电阻和电压偏高,进一步增加使用能耗。


技术实现思路

1、本专利技术提出一种半导体发光元件,所述半导体发光元件通过调整p型接触层的元素掺杂浓度,以提升空穴浓度,从而降低半导体发光元件的电阻和电压,降低半导体发光元件的使用能耗。

2、本专利技术实施例的第一方面提供了一种半导体发光元件,所述半导体发光元件包括:从下至上依次设置的衬底、n型半导体层、量子阱、p型半导体层和p型接触层;

3、所述p型接触层包括:gan、ingan、alingan、algan、inaln中的任意一种或多种;

4、所述p型接触层的in元素组分、al元素组分、o元素含量浓度、h元素含量浓度、c元素含量浓度、mg元素掺杂浓度和si元素掺杂浓度分别呈函数方式分布。

5、在第一方面的一种可能的实现方式中,所述p型接触层的in元素组分含量为指数函数分布;

6、所述p型接触层的al元素组分含量往所述量子阱的方向为波动折线分布;

7、所述p型接触层的o元素含量浓度为对数函数分布;

8、所述p型接触层的h元素含量浓度为指数函数分布;

9、所述p型接触层的c元素含量浓度为反余弦函数分布;

10、所述p型接触层的mg元素掺杂浓度为一次函数分布;

11、所述p型接触层的si元素掺杂浓度为一次函数分布;

12、所述in元素组分含量的指数函数如下式所示:

13、y=ax,1>a>0;

14、所述p型接触层的h元素含量浓度的指数函数分布如下式所示:

15、y=cx,1>c>0;

16、其中,c>a;

17、所述p型接触层的mg元素掺杂浓度的一次函数的斜率为d,所述p型接触层的si元素掺杂浓度的一次函数的斜率为e;

18、其中,d>e。

19、在第一方面的一种可能的实现方式中,所述p型接触层的in元素组分含量往所述量子阱方向为下降趋势;

20、所述p型接触层的si元素掺杂浓度往所述量子阱方向为下降趋势;

21、所述p型接触层的c元素含量浓度往所述量子阱方向为下降趋势;

22、所述p型接触层的o元素含量浓度往所述量子阱方向为下降趋势;

23、所述p型接触层的h元素含量浓度往所述量子阱方向为下降趋势;

24、所述p型接触层的mg元素掺杂浓度往所述量子阱方向为下降趋势。

25、在第一方面的一种可能的实现方式中,所述p型接触层的in元素组分含量往所述量子阱方向的下降角度为α,其中,90°≥α≥40°;

26、所述p型接触层的si元素掺杂浓度往所述量子阱方向的下降角度为β,其中,85°≥β≥35°;

27、所述p型接触层的c元素含量浓度往所述量子阱方向的下降角度为γ,其中,80°≥γ≥30°;

28、所述p型接触层的o元素含量浓度往所述量子阱方向的下降角度为θ,其中,75°≥θ≥25°;

29、所述p型接触层的h元素含量浓度往所述量子阱方向的下降角度为ψ,其中,70°≥ψ≥20°;

30、所述p型接触层的mg元素掺杂浓度往所述量子阱方向的下降角度为φ,其中,65°≥φ≥15°。

31、在第一方面的一种可能的实现方式中,所述下降角度α、所述下降角度β、所述下降角度γ、所述下降角度θ、所述下降角度ψ、所述下降角度φ的大小关系如下:

32、α≥β≥γ≥θ≥ψ≥φ。

33、在第一方面的一种可能的实现方式中,所述p型接触层的mg元素掺杂浓度为1e18~5e19cm-3;

34、所述p型接触层的si元素掺杂浓度为1e14~5e16cm-3;

35、所述p型接触层的h元素含量浓度为5e18~5e19cm-3;

36、所述p型接触层的o元素含量浓度为1e17~5e18cm-3;

37、所述p型接触层的c元素含量浓度为5e15~1e17cm-3。

38、在第一方面的一种可能的实现方式中,所述p型接触层的上方设有透明导电层;

39、所述透明导电层为ito材料,所述透明导电层的厚度为50~5000埃米;

40、所述透明导电层上方设有金属电极,所述电极材料为cr、al、ag、ti、ni、w、pt、au、pd、rh、cu的任意一种或多种组合。

41、在第一方面的一种可能的实现方式中,所述量子阱由阱层和垒层组成的周期结构,所述量子阱的周期数为x,其中,5≤x≤20;

42、所述阱层的厚度为a,其中,10埃米≤a≤80埃米;

43、所述垒层的厚度为b,其中,20埃米≤b≤150埃米。

44、在第一方面的一种可能的实现方式中,所述n型半导体层、所述量子阱为gan、algan、ingan、alingan、aln、inn、alinn的任意一种或多种组合;

45、所述p型半导体层为gan、algan、ingan、alingan、aln、inn、alinn的任意一种或多种组合。

46、在第一方面的一种可能的实现方式中,所述衬底包括:蓝宝石、硅、ge、sic、aln、gan、gaas、inp、蓝宝石/sio2复合衬底、蓝宝石/aln复合衬底、蓝宝石/sinx、镁铝尖晶石mgal2o4、mgo、zno、zrb2、lialo2和ligao2复合衬底中的任意一种。

47、相比于现有技术,本专利技术实施例提供的一种半导体发光元件,其有益效果在于:本专利技术可以提升p型接触层的mg离化效率和溶解度,提升空穴浓度,降低半导体发光元件的电阻和电压,并降低p型接触层与透明导电层的接触电阻和带阶,使半导体发光元件的电压下降,达到降低半导体发光元件的使用能耗的效果。

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【技术保护点】

1.一种半导体发光元件,其特征在于,所述半导体发光元件包括:从下至上依次设置的衬底、n型半导体层、量子阱、p型半导体层和p型接触层;

2.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,所述p型接触层的In元素组分含量为指数函数分布;

3.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,所述p型接触层的In元素组分含量往所述量子阱方向为下降趋势;

4.根据权利要求3所述的半导体发光元件,其特征在于,所述p型接触层的In元素组分含量往所述量子阱方向的下降角度为α,其中,90°≥α≥40°;

5.根据权利要求4所述的半导体发光元件,其特征在于,所述下降角度α、所述下降角度β、所述下降角度γ、所述下降角度θ、所述下降角度ψ、所述下降角度φ的大小关系如下:

6.根据权利要求3所述的半导体发光元件,其特征在于,所述p型接触层的Mg元素掺杂浓度为1E18~5E19cm-3;

7.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,所述p型接触层的上方设有透明导电层;

8.根据权利要求1-7任意一项所述的半导体发光元件,其特征在于,所述量子阱由阱层和垒层组成的周期结构,所述量子阱的周期数为x,其中,5≤x≤20;

9.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,所述n型半导体层、所述量子阱为GaN、AlGaN、InGaN、AlInGaN、AlN、InN、AlInN的任意一种或多种组合;

10.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,所述衬底包括:蓝宝石、硅、Ge、SiC、AlN、GaN、GaAs、InP、蓝宝石/SiO2复合衬底、蓝宝石/AlN复合衬底、蓝宝石/SiNx、镁铝尖晶石MgAl2O4、MgO、ZnO、ZrB2、LiAlO2和LiGaO2复合衬底中的任意一种。

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【技术特征摘要】

1.一种半导体发光元件,其特征在于,所述半导体发光元件包括:从下至上依次设置的衬底、n型半导体层、量子阱、p型半导体层和p型接触层;

2.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,所述p型接触层的in元素组分含量为指数函数分布;

3.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,所述p型接触层的in元素组分含量往所述量子阱方向为下降趋势;

4.根据权利要求3所述的半导体发光元件,其特征在于,所述p型接触层的in元素组分含量往所述量子阱方向的下降角度为α,其中,90°≥α≥40°;

5.根据权利要求4所述的半导体发光元件,其特征在于,所述下降角度α、所述下降角度β、所述下降角度γ、所述下降角度θ、所述下降角度ψ、所述下降角度φ的大小关系如下:

6.根据权利要求3所述的半导体发光元件,其特征在于,所述p型接触层的mg元素掺杂...

【专利技术属性】
技术研发人员:李水清王星河胡志勇陈婉君张江勇请求不公布姓名
申请(专利权)人:安徽格恩半导体有限公司
类型:发明
国别省市:

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