【技术实现步骤摘要】
本技术涉及退火工序,更具体的公开了一种键合丝退火炉炉管。
技术介绍
1、键合丝的生产工序中,退火工序必不可少,是决定线材性能的关键性工序。常见规格的键合丝退火温度为400℃-650℃之间,高温下键合丝表面容易被氧化,因此在退火的过程中需通入保护气气对键合丝进行保护。退火炉结构为炉体中穿插一根玻璃管,需要退火的键合丝从玻璃管中通过,与此同时,向玻璃管中通入保护气,以达到防氧化退火的效果。当前退火炉管均为单侧开有一y型枝口,用于通入保护气,整个炉管长度约0.5m,气体通入方向与键合丝收线方向相反,因整体炉管较长,保护气的流量需开的很大,即使这样,亦难以保证远离保护气进口侧的键合丝是否被保护。另一方面,过大的保护气流量亦造成炉管中的线材抖动,从而与炉管边缘磕碰,影响键合丝质量。
技术实现思路
1、本技术主要解决的技术问题是提供一种键合丝退火炉炉管,能够解决气体流量需求大,键合丝保护不完全,保护气流造成键合丝抖动的问题。
2、为解决上述技术问题,根据本技术的一个方面,更具体的说是一种键合丝退火炉炉管,包括进线管,所述进线管的左端一体成型有进线口,所述进线管的外侧壁下方左边一体成型有进气管,所述进线管的右侧内部套接有出线管,所述出线管的右端一体成型有出线口,所述出线管的外侧壁下方右边一体成型有进气管。
3、更进一步的,所述进线管的内壁与所述出线管的外壁紧密贴合。
4、更进一步的,所述进线管的内壁与所述出线管的外壁相接处均为磨砂面。
5、更进一步
6、本技术一种键合丝退火炉炉管的有益效果为:在退火作业前,调大气流量,两根进去管同时通入保护气,先堵住进线口,通入的保护气从出线口流出,一段时间后堵住出线口,使保护气从左侧进气口流出,此时炉管内充满保护气,炉管内空气完全排出,退火时,松开堵住的进线口和出线口,降低气流量,持续的小流量保护气通入炉管,使得炉管内始终保持正压即可,气体从进线口和出线口排出,外部空气无法进入,从而达到键合丝的退火均在保护气的环境中进行。
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1.一种键合丝退火炉炉管,包括进线管(1),其特征在于:所述进线管(1)的左端一体成型有进线口(3),所述进线管(1)的外侧壁下方左边一体成型有进气管(5),所述进线管(1)的右侧内部套接有出线管(2),所述出线管(2)的右端一体成型有出线口(4),所述出线管(2)的外侧壁下方右边一体成型有进气管(5)。
2.根据权利要求1所述的一种键合丝退火炉炉管,其特征在于:所述进线管(1)的内壁与所述出线管(2)的外壁紧密贴合。
3.根据权利要求1所述的一种键合丝退火炉炉管,其特征在于:所述进线管(1)的内壁与所述出线管(2)的外壁相接处均为磨砂面。
4.根据权利要求1所述的一种键合丝退火炉炉管,其特征在于:所述进线口(3)与所述进线管(1)相接处为圆台状,所述出线口(4)与所述出线管(2)相接处为圆台状。
【技术特征摘要】
1.一种键合丝退火炉炉管,包括进线管(1),其特征在于:所述进线管(1)的左端一体成型有进线口(3),所述进线管(1)的外侧壁下方左边一体成型有进气管(5),所述进线管(1)的右侧内部套接有出线管(2),所述出线管(2)的右端一体成型有出线口(4),所述出线管(2)的外侧壁下方右边一体成型有进气管(5)。
2.根据权利要求1所述的一种键合丝退火炉炉管,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹昆明,
申请(专利权)人:合肥矽格玛应用材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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