【技术实现步骤摘要】
本技术涉及低温泵，具体为一种应用于半导体低温泵进排气口与马达的连接装置。
技术介绍
1、在半导体元器件的制造工艺中，许多需要高真空、高清洁度或低温的环境，在这些方面半导体低温泵具有非常明显的优势。半导体低温泵在设备的真空腔体内部没有运动部件，无需润滑和密封，不会给真空腔体带入任何外来物质，因此可以获得高清洁度的真空环境。
2、现有的低温泵设备有如下缺陷：
3、现有半导体低温泵设备中，氦气进出气要与活塞运动时压缩与膨胀气体充分配合，而活塞的运动是由马达带动，进排气口与马达之间不便于连接，影响整体运行的稳定、进排气的流畅性。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本技术提供了一种应用于半导体低温泵进排气口与马达的连接装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种应用于半导体低温泵进排气口与马达的连接装置，包括装置本体，所述装置本体包括输送腔架和进气口调节连接装置，所述进气口调节连接装置安装在输送腔架内部；
5、优选的，所述进气口调节连接装置包括驱动杆和活塞，所述驱动杆一端安装在输送腔架内部左端，所述活塞安装在驱动杆右端，所述驱动杆和活塞均呈圆柱状结构，所述活塞前端设有活塞固定块。
6、优选的，所述输送腔架包括第一架体和第二架体，所述第一架体和第二架体呈上下对称方式分布，所述第一架体后端与第二架体后端相固定，所
7、优选的，所述输送腔架后侧开设有固定口，所述固定口内安装有固定块，所述固定块呈圆柱状结构且内部为贯通式结构。
8、(三)有益效果
9、本技术提供了一种应用于半导体低温泵进排气口与马达的连接装置。具备以下有益效果：
10、该种应用于半导体低温泵进排气口与马达的连接装置，可以有效地便于对马达和排气进行连接，从而可以方便马达对排气口进行开启或者关闭，该种装置结构简单，操作方便，便于工作人员进行使用。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种应用于半导体低温泵进排气口与马达的连接装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括输送腔架(2)和进气口调节连接装置(3)，所述进气口调节连接装置(3)安装在输送腔架(2)内部；
2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵进排气口与马达的连接装置，其特征在于：所述输送腔架(2)包括第一架体(7)和第二架体(8)，所述第一架体(7)和第二架体(8)呈上下对称方式分布，所述第一架体(7)后端与第二架体(8)后端相固定，所述第一架体(7)和第二架体(8)之间设有活动通道(9)，所述第一架体(7)和第二架体(8)右端均设有剪刀块(10)。
3.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵进排气口与马达的连接装置，其特征在于：所述输送腔架(2)后侧开设有固定口(11)，所述固定口(11)内安装有固定块(12)，所述固定块(12)呈圆柱状结构且内部为贯通式结构。
【技术特征摘要】
1.一种应用于半导体低温泵进排气口与马达的连接装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括输送腔架(2)和进气口调节连接装置(3)，所述进气口调节连接装置(3)安装在输送腔架(2)内部；
2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵进排气口与马达的连接装置，其特征在于：所述输送腔架(2)包括第一架体(7)和第二架体(8)，所述第一架体(7)和第二架体(8)呈上下对称方式分布...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，
申请(专利权)人：上海优尊真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。