【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶圆清洗领域，具体为一种晶圆清洗装置及其清洗方法。
技术介绍
1、根据授权公告号为“cn113770079b”，专利技术名称为“一种晶圆清洗装置”的专利文件，其说明书中记载：调节多个滚轮的位置，使多个滚轮能沿晶圆的周向夹紧晶圆，开启第一驱动件，经由联轴器和转轴带动滚轮转动，通过摩擦力带动晶圆自转，开启顶升件带动支撑架朝靠近晶圆的方向移动，直至清洗刷筒的外壁与晶圆的外表面接触，开启进水件，往清洗刷轴内的空腔注入清洗介质，部分清洗介质从注水孔流出至清洗刷筒上，对清洗刷筒进行浸润，部分清洗介质从注水孔和冲洗孔中喷出，直接对晶圆进行冲洗，开启转动件带动清洗刷轴转动，从而带动清洗刷筒转动，实现清洗晶圆的表面的功能，但是仍旧存在以下缺陷：
2、在清洗刷对晶圆进行清洗时，杂质易沾附在清洗刷上，当清洗刷重复对晶圆进行刷洗时，清洗刷上杂质越积越多，继而影响后续清洗刷对晶圆的清洁。
技术实现思路
1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供一种晶圆清洗装置及其清洗方法，有效的解决了目前晶圆上的杂质易沾附在清洗刷上，影响后续清洗刷对晶圆的清洁的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆清洗装置，包括底座，所述底座的顶端等角度安装有三个夹持转动组件，底座的顶端安装有刷洗清洁组件；
3、刷洗清洁组件包括安装于底座顶端中部的底板，底板的上方设有安装板，安装板的顶端对称安装有两个第二气缸，第二气缸的输出端与安装板的底壁固定连接，安
4、刷毛清洁组件包括设于清洁辊下方的底部水箱，底部水箱固定安装于安装板的顶壁上，底部水箱的内部转动安装有转动杆，转动杆位于清洁辊的下方，且转动杆与清洁辊平行设置，转动杆的一端安装有第二齿轮，第二齿轮位于底部水箱的一侧，转轴上安装有第一齿轮，第二齿轮位于第一齿轮的下方，且第二齿轮与第一齿轮相啮合，转动杆的外侧均匀安装有除杂刷毛，转动杆的两侧对称设有两个辅助清洁单元。
5、优选的，所述夹持转动组件包括等角度安装于底座顶端的固定座，各个固定座均朝向底座的垂直轴线方向设置，固定座的上方设有移动座，移动座的底端安装有滑块，滑块滑动安装于滑槽内部，滑槽开设于固定座上，滑块远离底座的垂直轴线一侧与第一气缸的输出端固定连接，第一气缸固定安装于固定座上，移动座的内部开设有电机安装槽，电机安装槽的内部安装有第一电机，第一电机的输出轴上安装有夹持转辊，夹持转辊位于移动座的上方。
6、优选的，所述底部水箱的两侧对称设有排液总管，排液总管靠近底部水箱的一侧均等距安装有排液支管，排液支管与底部水箱的内部侧壁底部连通。
7、优选的，所述辅助清洁单元包括对称设于转动杆两侧下方的第一转杆，两个第一转杆相互远离的一侧均设有第二转杆，第一转杆和第二转杆均与转动杆相平行，第一转杆和第二转杆均与底部水箱的内壁转动连接，第一转杆的两端对称安装有第一带轮，第一转杆的两端对称安装有第二带轮，第一带轮与第二带轮的外侧安装有同步带。
8、优选的，两个所述同步带之间均匀设有安装横板，安装横板的两端对称安装有端部连杆，两个端部连杆分别与两个同步带固定连接，安装横板在同步带朝向其外壁的方向上等距安装有勾板抛液单元。
9、优选的，所述转动杆的一端安装有第四齿轮，其中一个第一转杆的一端安装有第三齿轮，第三齿轮与第四齿轮相啮合，两个第一转杆的另一端均安装有第五齿轮，两个第五齿轮相啮合，当转动杆转动时，能够带动两个第一转杆顶端相向转动。
10、优选的，所述勾板抛液单元包括等距安装于安装横板上的固定板，固定板的内部开设有活动槽，活动槽远离安装横板的一侧开设有端部槽，活动槽的内部活动安装有活动板，活动板远离安装横板的一侧安装有连接板，连接板位于端部槽内侧，活动板的内部对称开设有底槽，底槽贯穿至活动板靠近安装横板的一侧，底槽的内部安装有第一弹簧，第一弹簧的一端与底槽的端部内壁固定连接，第一弹簧的另一端与活动槽靠近安装横板的一端内壁固定连接。
11、优选的，所述连接板远离活动板的一端安装有转座，转座上转动安装有勾板，位于上方的安装横板上的勾板朝着转动杆一侧倾斜设置，勾板靠近转动杆的一侧与铰接连杆一端铰接。
12、优选的，所述固定板的一侧开设有第一侧槽，活动板的一侧开设有第二侧槽，第二侧槽的内部滑动安装有第一滑动块，第一滑动块的一侧安装有第二滑动块，第二滑动块与第一侧槽滑动连接，第二滑动块的一端与铰接连杆的另一端铰接，第一滑动块靠近连接板的一侧对称安装有第二弹簧，第二弹簧的一端与第二侧槽靠近连接板的一端内壁固定连接，两个第二转杆相互远离的一侧均设有固定条，固定条对称安装于底部水箱的侧壁上，固定条上开设有挤压斜面。
13、优选的，一种晶圆清洗装置的清洗方法，其清洗步骤如下：
14、s1、将晶圆设于三个夹持转辊之间，使三个夹持转辊将晶圆夹持，将清洁辊调整至与晶圆底壁接触，开启第二电机，使得清洁辊不断转动，使清洁刷毛对晶圆底壁进行清洁，同时夹持转辊转动带动晶圆转动，进行清洁；
15、s2、清洁水箱朝着内腔内部通入清洁水，一部分清洁水从浸润孔处喷出对清洁刷毛进行浸润，另一部分清洁水从喷液孔喷出至晶圆底壁上；
16、s3、从喷液孔向下喷出的清洁水进入到底部水箱内部，同时清洁辊转动带动转动杆转动，使得除杂刷毛对位于清洁辊下方的清洁刷毛上杂质进行清洁；
17、s4、转动杆转动，带动位于上方的各个安装横板朝着转动杆移动，使得勾板抛液单元朝着转动杆移动后，对除杂刷毛进行清洁，同时带动底部水箱内部清洁水循环朝着转动杆流通，更加方便对除杂刷毛进行清洁；
18、s5、当勾板移动至靠近固定条时，在挤压斜面的作用下，使得勾板转动至与连接板处于同一直线上，使得第二弹簧压缩，当勾板端部与挤压斜面分离时，勾板在第二弹簧弹力作用下回转，将部分清洗液抛向底部清洁刷毛。
19、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
20、(1)、本专利技术，通过清洁辊转动，不断带动转动杆朝着与清洁辊转动方向相反的一侧转动，使得除杂刷毛的移动方向与清洁刷毛移动方向相反，除杂刷毛将转动至清洁辊下方清洁刷毛上杂质勾下，方便勾板抛液单元的清洁，提高后续勾板抛液单元对晶圆的清洁效果；
21、(2)、该专利技术通过转动杆转动时，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆清洗装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶端等角度安装有三个夹持转动组件(2)，底座(1)的顶端安装有刷洗清洁组件(3)；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述夹持转动组件(2)包括等角度安装于底座(1)顶端的固定座(201)，各个固定座(201)均朝向底座(1)的垂直轴线方向设置，固定座(201)的上方设有移动座(202)，移动座(202)的底端安装有滑块(203)，滑块(203)滑动安装于滑槽(204)内部，滑槽(204)开设于固定座(201)上，滑块(203)远离底座(1)的垂直轴线一侧与第一气缸(205)的输出端固定连接，第一气缸(205)固定安装于固定座(201)上，移动座(202)的内部开设有电机安装槽，电机安装槽的内部安装有第一电机(206)，第一电机(206)的输出轴上安装有夹持转辊(207)，夹持转辊(207)位于移动座(202)的上方。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述底部水箱(402)的两侧对称设有排液总管(403)，排液总管(403)靠近底部水箱(402)的一
4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述辅助清洁单元(408)包括对称设于转动杆(405)两侧下方的第一转杆(4081)，两个第一转杆(4081)相互远离的一侧均设有第二转杆(4082)，第一转杆(4081)和第二转杆(4082)均与转动杆(405)相平行，第一转杆(4081)和第二转杆(4082)均与底部水箱(402)的内壁转动连接，第一转杆(4081)的两端对称安装有第一带轮(4083)，第一转杆(4081)的两端对称安装有第二带轮(4084)，第一带轮(4083)与第二带轮(4084)的外侧安装有同步带(4085)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：两个所述同步带(4085)之间均匀设有安装横板(4086)，安装横板(4086)的两端对称安装有端部连杆(4087)，两个端部连杆(4087)分别与两个同步带(4085)固定连接，安装横板(4086)在同步带(4085)朝向其外壁的方向上等距安装有勾板抛液单元(409)。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述转动杆(405)的一端安装有第四齿轮(4089)，其中一个第一转杆(4081)的一端安装有第三齿轮(4088)，第三齿轮(4088)与第四齿轮(4089)相啮合，两个第一转杆(4081)的另一端均安装有第五齿轮(40810)，两个第五齿轮(40810)相啮合，当转动杆(405)转动时，能够带动两个第一转杆(4081)顶端相向转动。
7.根据权利要求5所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述勾板抛液单元(409)包括等距安装于安装横板(4086)上的固定板(4091)，固定板(4091)的内部开设有活动槽(4092)，活动槽(4092)远离安装横板(4086)的一侧开设有端部槽(4093)，活动槽(4092)的内部活动安装有活动板(4094)，活动板(4094)远离安装横板(4086)的一侧安装有连接板(4095)，连接板(4095)位于端部槽(4093)内侧，活动板(4094)的内部对称开设有底槽(4098)，底槽(4098)贯穿至活动板(4094)靠近安装横板(4086)的一侧，底槽(4098)的内部安装有第一弹簧(4099)，第一弹簧(4099)的一端与底槽(4098)的端部内壁固定连接，第一弹簧(4099)的另一端与活动槽(4092)靠近安装横板(4086)的一端内壁固定连接。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述连接板(4095)远离活动板(4094)的一端安装有转座(4096)，转座(4096)上转动安装有勾板(4097)，位于上方的安装横板(4086)上的勾板(4097)朝着转动杆(405)一侧倾斜设置，勾板(4097)靠近转动杆(405)的一侧与铰接连杆(40914)一端铰接。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述固定板(4091)的一侧开设有第一侧槽(40910)，活动板(4094)的一侧开设有第二侧槽(40911)，第二侧槽(40911)的内部滑动安装有第一滑动块(40912)，第一滑动块(40912)的一侧安装有第二滑动块(40913)，第二滑动块(40913)与第一侧槽(40910)滑动连接，第二滑动块(40913)的一端与铰接连杆(40914)的另一端铰接，第一滑动块(40912)靠近连接板(4095...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶端等角度安装有三个夹持转动组件(2)，底座(1)的顶端安装有刷洗清洁组件(3)；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述夹持转动组件(2)包括等角度安装于底座(1)顶端的固定座(201)，各个固定座(201)均朝向底座(1)的垂直轴线方向设置，固定座(201)的上方设有移动座(202)，移动座(202)的底端安装有滑块(203)，滑块(203)滑动安装于滑槽(204)内部，滑槽(204)开设于固定座(201)上，滑块(203)远离底座(1)的垂直轴线一侧与第一气缸(205)的输出端固定连接，第一气缸(205)固定安装于固定座(201)上，移动座(202)的内部开设有电机安装槽，电机安装槽的内部安装有第一电机(206)，第一电机(206)的输出轴上安装有夹持转辊(207)，夹持转辊(207)位于移动座(202)的上方。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述底部水箱(402)的两侧对称设有排液总管(403)，排液总管(403)靠近底部水箱(402)的一侧均等距安装有排液支管(404)，排液支管(404)与底部水箱(402)的内部侧壁底部连通。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述辅助清洁单元(408)包括对称设于转动杆(405)两侧下方的第一转杆(4081)，两个第一转杆(4081)相互远离的一侧均设有第二转杆(4082)，第一转杆(4081)和第二转杆(4082)均与转动杆(405)相平行，第一转杆(4081)和第二转杆(4082)均与底部水箱(402)的内壁转动连接，第一转杆(4081)的两端对称安装有第一带轮(4083)，第一转杆(4081)的两端对称安装有第二带轮(4084)，第一带轮(4083)与第二带轮(4084)的外侧安装有同步带(4085)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：两个所述同步带(4085)之间均匀设有安装横板(4086)，安装横板(4086)的两端对称安装有端部连杆(4087)，两个端部连杆(4087)分别与两个同步带(4085)固定连接，安装横板(4086)在同步带(4085)朝向其外壁的方向上等距安装有勾板抛液单元(409)。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述转动杆(405)的一端安装有第四齿轮(4089)，其中一个第一转杆(4081)的一端安装有第三齿轮(4088)，第三齿轮(4088)与第四齿轮...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆金发，
申请(专利权)人：江西安芯美科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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