【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制备技术及使用设备，具体的，是一种片篮中挑选任意slot位置硅片的方法。
技术介绍
1、在硅片制备过程中，需要从片篮中取出特定位置硅片进行测试，现阶段的取出方式为人工使用吸笔从片篮中取，在取片过程中，容易产生当前取出的硅片对其余硅片造成蹭伤，单次只能进行一个硅片取出，效率低，同时存在取错的风险。
2、因此，有必要提供一种片篮中挑选任意slot位置硅片的方法来解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种片篮中挑选任意slot位置硅片的方法。
2、技术方案如下：
3、一种片篮中挑选任意slot位置硅片的方法，步骤为：
4、1)设置挑片机，挑片机包括推杆，推杆连接于转轴，转轴可滑动设置；
5、2)将片篮装载至挑片机上；
6、3)转轴滑动，至推杆对应需挑出的硅片处；
7、4)转轴受驱动转动，推杆随之将硅片推出。
8、进一步的，推杆数量为若干。
9、进一步的，推杆数量至少为三个。
10、进一步的，推杆数量为五个。
11、进一步的，转动轴连接于连轴。
12、进一步的，挑片机上还对应连轴设置有slot档。
13、与现有技术相比，本专利技术能够快速进行所需硅片的取出，同时避免硅片取出时对其余硅片蹭伤，保证生产高效有序的进行。
【技术保护点】
1.一种片篮中挑选任意SLOT位置硅片的方法，其特征在于：步骤为：
2.根据权利要求1所述的一种片篮中挑选任意SLOT位置硅片的方法，其特征在于：推杆数量为若干。
3.根据权利要求1所述的一种片篮中挑选任意SLOT位置硅片的方法，其特征在于：推杆数量至少为三个。
4.根据权利要求1所述的一种片篮中挑选任意SLOT位置硅片的方法，其特征在于：推杆数量为五个。
5.根据权利要求1所述的一种片篮中挑选任意SLOT位置硅片的方法，其特征在于：转动轴连接于连轴。
6.根据权利要求5所述的一种片篮中挑选任意SLOT位置硅片的方法，其特征在于：挑片机上还对应连轴设置有SLOT档。
【技术特征摘要】
1.一种片篮中挑选任意slot位置硅片的方法，其特征在于：步骤为：
2.根据权利要求1所述的一种片篮中挑选任意slot位置硅片的方法，其特征在于：推杆数量为若干。
3.根据权利要求1所述的一种片篮中挑选任意slot位置硅片的方法，其特征在于：推杆数量至少为三个。
4.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘德令，涂颂昊，刘潇林，徐志祥，曹锦伟，谭永麟，王彦君，孙晨光，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。