【技术实现步骤摘要】
本技术涉及集成电路，具体讲是一种光刻胶供给管路清洗装置。
技术介绍
1、光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用；在现有半导体的光刻工艺中，在安装使用新的光刻胶之前，需要使用清洗液对光刻胶供给管路进行清洗。
2、引用申请号为cn202022439348.4的技术公开了一种光刻胶供给管路清洗装置，涉及集成电路
，解决了目前对光刻胶供给管路清洗后，管路的内壁会附着残留的清洗液，从而影响供给管路清洗后首次使用的问题，其技术方案要点是：包括清洗仓，所述清洗仓中设置有出水泵，出水泵的输出端设置有延伸至清洗仓外部的清洗管；还包括干燥仓，所述干燥仓内设置有热风机和抽风机，所述热风机和抽风机的输出端分别设置有热风管和抽风管；所述热风管和抽风管的端部均设置有连接结构；达到提高整体装置实用性的效果。
3、上述现有技术还存在以下不足之处：
4、现有技术不能均匀全方位加热进水管，使得清洗效果差，不便将清洗设备稳定移动，使用范围局限。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种光刻胶供给管路清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、本技术的技术方案是：包括有清洗组件以及排水组件，所述清洗组件以及所述排水组件均包括有底板，所述底板的底部四周分别安装有移动轮，所述底板的底部开设有安装槽，所述安装槽的内部安装有液压杆，所述液压杆的伸缩端固定连接有支撑块，所述清洗组件的
3、进一步的，所述清洗组件的所述底板上设置有抽水泵，所述抽水泵的抽水端和所述水箱的一侧相连通，所述抽水泵的出水端连通有出水管，所述出水管上安装有第一加热组件。
4、进一步的，所述出水管的延长端设置有第一密封连接件，所述排水箱靠近所述水箱的一侧设置有连接管，所述连接管上螺纹连接有管路本体。
5、进一步的，所述第一加热组件包括有和所述出水管表面固定套接的固定罩，所述固定罩的内部安装有电加热丝，所述电加热丝的另一侧安装有导热板，所述导热板和所述出水管表面接触。
6、进一步的，所述第一密封连接件包括有和所述出水管延长端连通的密封罩，所述密封罩的内部靠近所述出水管的一侧安装有第一密封圈，所述密封罩和所述出水管相远离的一侧开设有开口，且所述开口处安装有第二密封圈，所述管路本体的一侧穿过所述第二密封圈和所述出水管出水端接触。
7、进一步的，所述出气管上设置有第二加热组件，所述出气管的延长端设置有第二密封连接件，所述第二加热组件和所述第一加热组件结构一致，所述第二密封连接件和所述第一密封连接件结构一致。
8、本技术通过改进在此提供一种光刻胶供给管路清洗装置，与现有技术相比，具有如下改进及优点：
9、本技术通过设置第一加热组件以及第二加热组件，便于对进入管路本体内部的清洗液以及气体进行加热，提高清洗效果。
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1.一种光刻胶供给管路清洗装置，其特征在于：包括有清洗组件(1)以及排水组件(2)，所述清洗组件(1)以及所述排水组件(2)均包括有底板(3)，所述底板(3)的底部四周分别安装有移动轮(4)，所述底板(3)的底部开设有安装槽(5)，所述安装槽(5)的内部安装有液压杆(6)，所述液压杆(6)的伸缩端固定连接有支撑块(7)，所述清洗组件(1)的所述底板(3)上设置有水箱(8)以及气泵(19)，所述排水组件(2)的所述底板(3)上设置有排水箱(9)，所述气泵(19)的出气端连通有出气管(21)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶供给管路清洗装置，其特征在于：所述清洗组件(1)的所述底板(3)上设置有抽水泵(10)，所述抽水泵(10)的抽水端和所述水箱(8)的一侧相连通，所述抽水泵(10)的出水端连通有出水管(11)，所述出水管(11)上安装有第一加热组件(12)。
3.根据权利要求2所述的一种光刻胶供给管路清洗装置，其特征在于：所述出水管(11)的延长端设置有第一密封连接件(13)，所述排水箱(9)靠近所述水箱(8)的一侧设置有连接管(18)，所述连接管(18
4.根据权利要求3所述的一种光刻胶供给管路清洗装置，其特征在于：所述第一加热组件(12)包括有和所述出水管(11)表面固定套接的固定罩(23)，所述固定罩(23)的内部安装有电加热丝(24)，所述电加热丝(24)的另一侧安装有导热板(25)，所述导热板(25)和所述出水管(11)表面接触。
5.根据权利要求4所述的一种光刻胶供给管路清洗装置，其特征在于：所述第一密封连接件(13)包括有和所述出水管(11)延长端连通的密封罩(14)，所述密封罩(14)的内部靠近所述出水管(11)的一侧安装有第一密封圈(16)，所述密封罩(14)和所述出水管(11)相远离的一侧开设有开口，且所述开口处安装有第二密封圈(15)，所述管路本体(17)的一侧穿过所述第二密封圈(15)和所述出水管(11)出水端接触。
6.根据权利要求3所述的一种光刻胶供给管路清洗装置，其特征在于：所述出气管(21)上设置有第二加热组件(20)，所述出气管(21)的延长端设置有第二密封连接件(22)，所述第二加热组件(20)和所述第一加热组件(12)结构一致，所述第二密封连接件(22)和所述第一密封连接件(13)结构一致。
...【技术特征摘要】
1.一种光刻胶供给管路清洗装置，其特征在于：包括有清洗组件(1)以及排水组件(2)，所述清洗组件(1)以及所述排水组件(2)均包括有底板(3)，所述底板(3)的底部四周分别安装有移动轮(4)，所述底板(3)的底部开设有安装槽(5)，所述安装槽(5)的内部安装有液压杆(6)，所述液压杆(6)的伸缩端固定连接有支撑块(7)，所述清洗组件(1)的所述底板(3)上设置有水箱(8)以及气泵(19)，所述排水组件(2)的所述底板(3)上设置有排水箱(9)，所述气泵(19)的出气端连通有出气管(21)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶供给管路清洗装置，其特征在于：所述清洗组件(1)的所述底板(3)上设置有抽水泵(10)，所述抽水泵(10)的抽水端和所述水箱(8)的一侧相连通，所述抽水泵(10)的出水端连通有出水管(11)，所述出水管(11)上安装有第一加热组件(12)。
3.根据权利要求2所述的一种光刻胶供给管路清洗装置，其特征在于：所述出水管(11)的延长端设置有第一密封连接件(13)，所述排水箱(9)靠近所述水箱(8)的一侧设置有连接管(18)，所述连接管(18)上螺纹连接有管路本体(17)。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：彭孝军，罗恺，罗良，
申请(专利权)人：成都至诚大公光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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