本发明专利技术提供一种光学元件的偏心调整组装方法以及偏心调整组装装置，其仅安装位于最靠测量光入射侧的第１透镜（Ｓ１）。其次，测量第１透镜的偏心量（Ｓ２），基于此测量值计算第１透镜的位置调整量（Ｓ３）。接着，调整第１透镜的偏心以使该偏心量接近０（Ｓ４），再次测量第１透镜的偏心量（Ｓ５），判断是否成为临界值以下（Ｓ６）。大于临界值时返回步骤３，临界值以下时将第１透镜粘合保持于透镜镜筒（６１）的内部（Ｓ７）。之后，判断是否存在应进行安装的下一个透镜（Ｓ８），若存在下一个透镜则对该透镜重复上述步骤（１～７）的处理。从而在被检光学元件组体为将多片光学元件配置于同轴的组体时，作为系统整体，能使光学元件的偏心量测量、偏心调整以及光学元件的组装高精度且有效地进行。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光学元件的偏心调整组装方法以及偏心调整组装装置，其基于对 组透镜等光学元件的被测面照射测量光而形成的指标像(指摘像)的坐标数据测量被检光 学元件的偏心量，并调整该偏心的同时组装被检光学元件组体。
技术介绍
以往以来公知有，在制造使用透镜的装置的工序中，测量各透镜的偏心量，基于该 测量值而使偏心减轻以使透镜保持在透镜框(透镜镜筒)内的方法。其中，作为测量透镜的 偏心量的方法公知有，应用称为自准直法的测量方法的方法(参考下述专利文献1 3)。在这些偏心量测量方法中，使被检光学元件以规定(所定)轴为中心旋转的同时 在被测面照射投影规定形状的指标图案的测量光，并使由来自被测面的反射光或透射光形 成的指标像成像于摄像面上。该指标像在每个被测面的旋转位置拍摄，并在每个旋转位置 求出该像中心点的坐标。若被测面偏心，则在该每个旋转位置拍摄的指标像的各像中心点， 在相对于摄像面设定的坐标系中分布成沿着1个圆，所以可以从其分部状况求出被测面的 偏心量。具体而言，求出适合于各像中心点的圆(以下称为“近似圆”)并将该中心作为测 量基准点设定，可以将从该测量基准点至任意的像中心点为止的距离或近似圆的半径作为 被测面的偏心量求出。并且，被检透镜的偏心量基于针对该表里各面求出的上述圆的中心点彼此的距离 来计算。利用这种方法测量被检透镜的偏心量，并基于该测量值进行调整被检透镜的位置 的处理，以使偏心量成为0。专利文献1 日本专利公开2005-55202号公报专利文献2 日本专利公开2007-17431号公报专利文献3 日本专利公开2007-327771号公报然而，在上述方法中，对被检透镜成为单透镜的情况进行了说明，但在各种透镜系 统中，也公知有将多片透镜配置在同轴的、组透镜类型的方法。但在这些组透镜中，在每个 各透镜如何进行透镜偏差量的测量、偏心的调整以及透镜的组装才能高精度且有效的这一 点，没有确立明确的方法。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这种情况而完成的，其目的在于，提供一种在被检光学元件为将多 片光学元件配置于同轴的元件时，作为系统整体可高精度且有效地进行光学元件的偏心量 的测量、偏心的调整以及光学元件的组装的光学元件的偏心调整组装方法以及偏心调整组农农且。本专利技术所涉及的光学元件的偏心调整组装方法，在多个光学元件在镜筒内同轴上排列而成的被检光学元件组体中，测量该光学元件各自的偏心量，且调整该偏心量的同时 进行该被检光学元件组体的组装，其特征在于，首先，在应构成上述被检光学元件组体的各光学元件中，仅将应配置于排列方向 中任意一方端部的第1光学元件配置在上述同轴上，并测量该第1光学元件的偏心量，基于 该测量值调整该第1光学元件的设定位置，以使该第1光学元件的偏心量变小，在该调整的 位置使该第1光学元件保持在镜筒，接着，将应该相对于该第1光学元件而邻接配置于与上述测量光的入射侧相反侧 的第2光学元件配置在上述同轴上，并测量该第2光学元件的偏心量，基于该测量值调整该 第2光学元件的设定位置以使得该第2光学元件的偏心量变小，在该调整后的位置使该第 2光学元件保持于镜筒。以后，同样地，以后，同样地，对于应邻接配置于与上述测量光的入射侧相反侧的 光学元件，依次一边测量上述偏心量一边调整上述设定位置，并使其保持在镜筒。并且，优选上述偏心量的测量通过以下进行，即在被测面照射投影规定指标图案 的测量光，使上述被测面以规定轴为中心旋转的同时，在每个不同的至少3个旋转位置或 每个相隔180度的2个旋转位置拍摄由来自该被测面的反射光或透射光形成于摄像面的指 标像，在相对于上述摄像面设定的坐标系中分别特定在每个该旋转位置拍摄的各指标像的 像中心点的坐标，基于该特定的各像中心点的坐标数据测量上述被测面的偏心量。并且，优选上述光学元件的偏心量的测量如下进行，即对上述光学元件的表里面 各自，特定通过上述规定每个各旋转角度的上述指标像的圆，并求出特定的该圆的中心点 的坐标，之后，计算求出的、对上述光学元件的表里面各自的上述圆的中心点的坐标差，将 该计算出的值设为上述光学元件的偏心量。另一方面，本专利技术所涉及的光学元件的偏心调整组装装置，多个光学元件在镜筒 内同轴上排列而成的被检光学元件组体中，测量该光学元件各自的偏心量，且调整该偏心 量的同时进行该被检光学元件组体的组装，其特征在于，具备光学元件配置机构，在上述同轴上从上述测量光的入射侧依次配置应构成上述被 检光学元件组体的各光学元件；偏心量测量机构，当每次在上述同轴上配置上述光学元件时，使用上述测量光测 量该配置的上述光学元件的偏心量；设定位置调整机构，根据该测量结果调整该光学元件的设定位置，以使该光学元 件的偏心量变小；光学元件保持机构，在该调整的位置使该光学元件保持在镜筒。并且，优选上述光学元件配置机构具备有输送上述光学元件各自的光学元件吸附 机构。并且，优选上述光学元件配置机构具备多个配置于上述光学元件的周围且为调整 该光学元件的偏心量、仅按压该光学元件的侧面微小量的压电元件。另外，优选上述多个压电元件构成相对同一光学元件进行协同调整的组，具备使 上述压电元件移动至与该光学元件各自对应的位置，以便可依次对上述多个光学元件各自 调整偏心量的PZT移动机构，该PZT移动机构具备使上述压电元件向上述光学元件的排列方向移动的PZT上下方移动机构以及进行向上述光学元件的径向出入上述压电元件的操 作的PZT水平方向移动机构。本专利技术所涉及的光学元件的偏心调整组装方法中，设成如下，即在应构成被检光 学元件组体的各光学元件中，仅将应配置于光学元件排列方向中任意一方端部的第1光学 元件配置在上述同轴上，并测量该第1光学元件的偏心量，基于该测量值调整该第1光学元 件的设定位置，以使该第1光学元件的偏心量变小，在该调整的位置使该第1光学元件保持 在镜筒，接着，将应相对于该第1光学元件而邻接配置于与上述测量光的入射侧相反侧的 第2光学元件配置在上述同轴上，并测量该第2光学元件的偏心量，基于该测量值调整该第 2光学元件的设定位置，以使该第2光学元件的偏心量变小，在该调整的位置使该第2光学 元件保持在镜筒，以后，同样地，对于应邻接与上述测量光的入射侧相反侧而配置的光学元 件，依次测量上述偏心量的同时调整上述设定位置而使其保持在镜筒。从而，由于各光学元件成为从测量光的入射侧依次调整偏心量的同时保持于镜 筒，所以例如，在测量第2光学元件的偏心量时，也可以不考虑已经保持的第1光学元件的 偏心量，此时测量的偏心量可作为起因于第2光学元件的偏心量来使用。相同地，之后，被 测量偏心量的光学元件不需考虑目前为止已调整、保持的光学元件的偏心量的影响，而可 以仅作为该光学元件的偏心量。从而，组装对象是在同轴配置多片光学元件的被检光学元件组体时，作为系统整 体可高精度且有效地进行光学元件的偏心量的测量、偏心的调整以及光学元件的组装。并且，本专利技术所涉及的光学元件的偏心调整组装装置中，具备光学元件配置机 构，从测量光的入射侧依次在同轴上配置应构成被检光学元件组体的各光学元件；偏心量 测量机构，当将上述光学元件配置于上述同轴上时，使用上述测量光测量该配置的上述光 学元件的偏心量；设定位置调整机构，根据该测量结果调整该光学元件的设定位置，以本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光学元件的偏心调整组装方法，在多个光学元件在镜筒内同轴上排列而成的被检光学元件组体中，测量该光学元件各自的偏心量，且一边调整该偏心量一边进行该被检光学元件组体的组装，其特征在于， 首先，在应该构成上述被检光学元件组体的各光学元件中，仅将应配置于排列方向中任意一方端部的第１光学元件配置在上述同轴上，并测量该第１光学元件的偏心量，基于该测量值以该第１光学元件的偏心量变小的方式调整该第１光学元件的设定位置，并在该调整后的位置使该第１光学元件保持于镜筒， 接着，将应该相对于该第１光学元件而邻接配置于与上述测量光的入射侧相反侧的第２光学元件配置在上述同轴上，并测量该第２光学元件的偏心量，基于该测量值调整该第２光学元件的设定位置以使得该第２光学元件的偏心量变小，在该调整后的位置使该第２光学元件保持于镜筒， 以后，同样地，对于应邻接配置于与上述测量光的入射侧相反侧的光学元件，依次一边测量上述偏心量一边调整上述设定位置，并使其保持在镜筒。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：孙萍，
申请(专利权)人：富士能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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