燃烧室水汽隔离装置及其废气处理装置制造方法及图纸

本技术是燃烧室水汽隔离装置，包括：内套筒；外套筒，其内设置有所述内套筒，其顶部与所述内套筒顶部设置有溢流间隙；底板，其连接内套筒、外套筒底部；连接板，其设置在所述外套筒顶部；多个进气孔，其贯通开设在所述连接板周向；通过所述经气孔向所述内套筒通入压缩气体，在所述内套筒顶部形成气帘；连接板周向上开设有多个进气孔，压缩空气筒进气孔通入至外套筒内，这样形成气帘，这样水汽收到了气帘的阻碍无法上升，因此水汽无法与二氧化硅结成固体的块状，堵塞燃烧室的进气孔。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及废气处理装置，特别是燃烧室水汽隔离装置。

技术介绍

1、在半导体行业中，如太阳能面板、晶圆、液晶平板等厂家生产过程中会产生有毒有害的废气，主要以单硅烷(sih4)、氯气(cl2)、pfc(全氟化合物(perfluoro compounds))等为主；为了防止有害物质对于环境的污染，对废气排放前，需要在先对工程废气进行净化处理；在处理含有上述气体的废气时，通常使用吸附法、加热分解法、水洗法和燃烧法等一种或者数种相结合的方式进行处理。

2、现有的废气处理装置是将废气通过反应腔，通过等离子枪对反应腔中的气体进行燃烧分解，分解过后的气体进入冷却室进行冷却，排入至水箱，最后从排气管将气体排出；

3、现有方案中存在如下问题：废气在燃烧室燃烧，然后进入冷却腔，冷却腔有不断循环流动的水，吸收大量的热量，气体得到冷却，同时产生水汽，水汽上升进入燃烧室后会和燃烧后产生的二氧化硅结成固体的块状，吸附在燃烧室的内壁表面，堵塞燃烧室进气口和内壁；

4、综上，如何避免冷却室的水汽上升成为了本领域研究人员急需解决的问题。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是：何避免冷却室的水汽上升；

2、为解决上述技术问题，本技术采取的技术方案为：

3、本技术是燃烧室水汽隔离装置，包括：内套筒；外套筒，其内设置有所述内套筒，其顶部与所述内套筒顶部设置有溢流间隙；底板，其连接内套筒、外套筒底部；连接板，其设置在所述外套筒顶部；多个进气孔，其贯通开设在所述连接板周向；通过所述经气孔向所述内套筒通入压缩气体，在所述内套筒顶部形成气帘；

4、在本方案中，内套筒、外套筒两者底部之间设置有连接板，外套筒顶部设置有连接板，连接板用于连接外套筒、燃烧室；连接板周向上开设有多个进气孔，压缩空气筒进气孔通入至外套筒内，这样形成气帘，这样水汽收到了气帘的阻碍无法上升，因此水汽无法与二氧化硅结成固体的块状，堵塞燃烧室的进气孔。

5、为了具体说明进气孔的结构，本技术采用所述连接板的内圈为倾斜向下设置；所述进气孔的出口倾斜倾斜向下进行出气；

6、在本方案中，进气孔斜向下进行出气，形成的气帘同样也斜向下设置，对水汽的阻碍效果更好。

7、本方案中的燃烧室水汽隔离装置可以应用在废气处理装置上，燃烧室水汽隔离装置位于水箱、燃烧箱之间。

8、本技术的有益效果：本技术是燃烧室水汽隔离装置，连接板周向上开设有多个进气孔，压缩空气筒进气孔通入至外套筒内，这样形成气帘，这样水汽收到了气帘的阻碍无法上升，因此水汽无法与二氧化硅结成固体的块状，堵塞燃烧室的进气孔。

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【技术保护点】

1.燃烧室水汽隔离装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的燃烧室水汽隔离装置，其特征在于，所述连接板的内圈为倾斜向下设置；

3.废气处理装置，其包括权利要求1-2任意一项所述的燃烧室水汽隔离装置，其特征在于，所述燃烧室水汽隔离装置设置在水箱、燃烧室之间。

【技术特征摘要】

1.燃烧室水汽隔离装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的燃烧室水汽隔离装置，其特征在于，所述连接板的内圈为倾斜向下设置；...

【专利技术属性】
技术研发人员：林湛，
申请(专利权)人：江苏瓦良格环保设备有限公司，
类型：新型
国别省市：