【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及扫描电镜，尤其涉及一种扫描电镜的样品防碰撞检测系统及扫描电镜。
技术介绍
1、在扫描电子显微镜(以下简称扫描电镜)的工作流程中，会存在携带样品的位移台逐步移动的过程。由于样品的不规则，在位移台流程中容易出现样品触壁的情形，这可能导致样品或扫描电镜出现损坏，因此需要尽量避免。对此，相关技术中通常通过样品的形貌大小粗略估算最小安全距离，将此数据存储于控制系统内，再通过逻辑判断确定位移台是否达到安全距离，以确定扫描电镜是否出现样品触壁情况。然而，这类方法存在人员预估失误的可能性，因此准确性不高，导致扫描电镜的安全性也不高。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的第一个目的在于提出一种扫描电镜样品防碰撞检测系统，通过在系统中设置信号发生器，信号发生器与扫描电镜中样品舱、导电样品和位移台构成的触发开关相连，当导电样品触碰样品舱时，触发开关导通，使信号发生器输出触碰信号，系统可根据触碰信号确定扫描电镜出现碰撞问题，从而使系统能够快速、准确地判断导电样品是否与扫描电镜发生碰撞，提高了扫描电镜的安全性。
2、本专利技术的第二个目的在于提出一种扫描电镜。
3、为达到上述目的，本专利技术第一方面实施例提出了一种扫描电镜样品防碰撞检测系统，扫描电镜包括导电的样品舱和导电的位移台，位移台与样品舱绝缘，导电样品放置于位移台上且随位移台移动，样品舱、导电样品和位移台构成触发开关，系统包括：信号发生器，信号发生器与触
4、根据本专利技术实施例的系统，通过在系统中设置信号发生器，信号发生器与扫描电镜中样品舱、导电样品和位移台构成的触发开关相连，当导电样品触碰样品舱时，触发开关导通，使信号发生器输出触碰信号，系统可根据触碰信号确定扫描电镜出现碰撞问题，从而使系统能够快速、准确地判断导电样品是否与扫描电镜发生碰撞，提高了扫描电镜的安全性。
5、根据本专利技术的一个实施例，系统还包括控制器，控制器与信号发生器相连，用于根据触碰信号发出触碰提示信息。
6、根据本专利技术的一个实施例，系统还包括开关电路，开关电路分别与信号发生器和扫描电镜相连，开关电路用于：在对导电样品防碰撞检测时，处于第一状态，以使信号发生器输出触碰信号至扫描电镜，以使扫描电镜控制位移台停止移动；在对导电样品碰撞测试时，处于第二状态，以使信号发生器停止输出触碰信号至扫描电镜，以使扫描电镜继续控制位移台移动。
7、根据本专利技术的一个实施例，系统还包括控制器，开关电路的第一输入端与信号发生器相连，开关电路的第二输入端与控制器相连，开关电路的输出端与扫描电镜相连，控制器用于：在对导电样品防碰撞检测时，输出第一使能信号以使开关电路处于第一状态；在对导电样品碰撞测试时，输出第二使能信号以使开关电路处于第二状态。
8、根据本专利技术的一个实施例，开关电路为逻辑门电路。
9、根据本专利技术的一个实施例，逻辑门电路为与门电路。
10、根据本专利技术的一个实施例，信号发生器包括触发器，触发器的触发端与触发开关相连，用于在触发开关导通时，输出触碰信号。
11、根据本专利技术的一个实施例，系统还包括控制器，控制器与触发器的复位端相连，用于在位移台移动前发送第一信号至触发器的复位端，以对触发器的输出端进行复位，并在位移台移动的过程中，发送第二信号至触发器的复位端，以使触发器处于工作状态，以在触发开关导通时，使触发器的输出端输出触碰信号。
12、根据本专利技术的一个实施例，控制器还用于在触碰信号解除后，发送第一信号至触发器的复位端，以对触发器的输出端进行复位，其中，在扫描电镜控制位移台反向移动预设距离后，触碰信号解除。
13、根据本专利技术的一个实施例，在触发器的触发端和复位端的电平信号分别为0和1时，触发器的输出端的电平信号跳变为0；在触发器的触发端和复位端的电平信号分别为1和0时，触发器的输出端的电平信号跳变为1；其中，当触发器的输出端的电平信号为1时，表示触发器的输出端输出触碰信号；当触发开关导通时，触发器的触发端的电平信号为1，否则为0。
14、根据本专利技术的一个实施例，触发器为d触发器。
15、根据本专利技术的一个实施例，信号发生器还包括：信号处理电路，信号处理电路分别与触发器的触发端和触发开关相连，用于生成与触发开关的开关状态相对应的电平信号，并输入触发器的触发端。
16、根据本专利技术的一个实施例，信号处理电路包括：第一电阻，第一电阻的一端与第一电源相连，第一电阻的另一端分别与触发开关的一端和触发器的触发端相连，触发开关的另一端接地。
17、根据本专利技术的一个实施例，信号处理电路包括：第一开关管，第一开关管的第一端接地，第一开关管的第二端与触发器的触发端相连，第一开关管的第二端还通过第二电阻与第一电源相连；第二开关管，第二开关管的第一端接地，第二开关管的第二端与第一开关管的第三端相连，第二开关管的第二端还通过第三电阻与第一电源相连；稳压管，稳压管的阴极接地，稳压管的阳极与第二开关管的第三端相连；二极管，二极管的阴极与稳压管的阳极相连，二极管的阳极与触发开关的一端相连，触发开关的另一端接地，二极管的阳极还通过第四电阻与第二电源相连。
18、为达到上述目的，本专利技术第二方面实施例提出了一种扫描电镜，包括：导电的样品舱和导电的位移台，位移台与样品舱绝缘，导电样品放置于位移台上且随位移台移动，样品舱、导电样品和位移台构成触发开关；前述的扫描电镜样品防碰撞检测系统，用于在扫描电镜控制位移台移动的过程中，对导电样品防碰撞检测或碰撞测试。
19、根据本专利技术实施例的扫描电镜，通过前述的扫描电镜样品防碰撞检测系统，使系统能够快速、准确地判断导电样品是否与扫描电镜发生碰撞，以便扫描电镜进行防碰撞检测或碰撞测试，有效提高了扫描电镜的安全性。
20、本专利技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种扫描电镜样品防碰撞检测系统，其特征在于，所述扫描电镜包括导电的样品舱和导电的位移台，所述位移台与所述样品舱绝缘，导电样品放置于所述位移台上且随所述位移台移动，所述样品舱、所述导电样品和所述位移台构成触发开关，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括控制器，所述控制器与所述信号发生器相连，用于根据所述触碰信号发出触碰提示信息。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括开关电路，所述开关电路分别与所述信号发生器和所述扫描电镜相连，所述开关电路用于：
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统还包括控制器，所述开关电路的第一输入端与所述信号发生器相连，所述开关电路的第二输入端与所述控制器相连，所述开关电路的输出端与所述扫描电镜相连，所述控制器用于：
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述开关电路为逻辑门电路。
6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述逻辑门电路为与门电路。
7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述信号发生器包括触发器
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述系统还包括控制器，所述控制器与所述触发器的复位端相连，用于在所述位移台移动前发送第一信号至所述触发器的复位端，以对所述触发器的输出端进行复位，并在所述位移台移动的过程中，发送第二信号至所述触发器的复位端，以使所述触发器处于工作状态，以在所述触发开关导通时，使所述触发器的输出端输出所述触碰信号。
9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在所述触碰信号解除后，发送所述第一信号至所述触发器的复位端，以对所述触发器的输出端进行复位，其中，在所述扫描电镜控制所述位移台反向移动预设距离后，所述触碰信号解除。
10.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，
11.根据权利要求7-10任一项所述的系统，其特征在于，所述触发器为D触发器。
12.根据权利要求10所述的系统，其特征在于，所述信号发生器还包括：信号处理电路，所述信号处理电路分别与所述触发器的触发端和所述触发开关相连，用于生成与所述触发开关的开关状态相对应的电平信号，并输入所述触发器的触发端。
13.根据权利要求12所述的系统，其特征在于，所述信号处理电路包括：
14.根据权利要求12所述的系统，其特征在于，所述信号处理电路包括：
15.一种扫描电镜，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜样品防碰撞检测系统，其特征在于，所述扫描电镜包括导电的样品舱和导电的位移台，所述位移台与所述样品舱绝缘，导电样品放置于所述位移台上且随所述位移台移动，所述样品舱、所述导电样品和所述位移台构成触发开关，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括控制器，所述控制器与所述信号发生器相连，用于根据所述触碰信号发出触碰提示信息。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括开关电路，所述开关电路分别与所述信号发生器和所述扫描电镜相连，所述开关电路用于：
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统还包括控制器，所述开关电路的第一输入端与所述信号发生器相连，所述开关电路的第二输入端与所述控制器相连，所述开关电路的输出端与所述扫描电镜相连，所述控制器用于：
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述开关电路为逻辑门电路。
6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述逻辑门电路为与门电路。
7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述信号发生器包括触发器，所述触发器的触发端与所述触发开关相连，用于在所述触发开关导通时，输出所述触碰信号。
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：尤家顺，谢沛余，张伟，曹峰，
申请(专利权)人：国仪量子技术合肥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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