【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电感器制造领域，特别涉及薄膜电感制造方法。
技术介绍
1、
2、随着半导体技术的进步，轻量化和薄的电子器件已经成为开发的重点，为了满足产品的薄及轻量化，需要制造各种小型化无源元器件，例如电阻器、电容器或电感器。微型模制扼流圈是一种整体形成的电感器，通常通过卷绕导线以形成导电线圈，然后封装导电线圈以获得最终产品，然后，这种方法具有生产效率低下的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种薄膜电感制造方法。
2、本专利技术要解决的是现有线圈电感器生产效率低下的问题。
3、为了解决上述问题，本专利技术通过以下技术方案实现：
4、一种薄膜电感制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
5、平铺第一磁性材料以形成磁体底层；
6、准备导电线圈组，导电线圈组包含若干阵列排布的导电线圈；
7、导电线圈组放置在所述第一磁性材料上，竖直放置与导电线圈一一对应的第二磁性材料；
8、引入磁性浆料以覆盖第一磁性材料、第二磁性材料及导线线圈组，形成电感组；
9、切割电感组以形成多个线圈电感器，每一线圈电感器包括一个电感本体以及包覆该电感本体的磁体；电感本体包括第一磁性材料、导电线圈及第二磁性材料；
10、对单个线圈电感器进行封端。
11、进一步地，第一磁性材料为磁性浆料，第二磁性材料为软磁合金或软磁复合材料或软磁铁氧体。
12、进一步地，第一磁性与第二
13、进一步地，第一磁性与第二磁性材料为一体成型。
14、一种薄膜电感制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
15、阵列平铺磁性材料；
16、准备导电线圈组放置于磁性材料上，导电线圈组包含若干阵列排布的导电线圈；
17、将导电线圈与磁性材料一一对齐；
18、引入磁性浆料以覆盖磁性材料及导线线圈；
19、二次阵列平铺磁性材料，与导电线圈组的导电线圈一一对齐；
20、再次引入磁性材料以覆盖二次平铺的磁性材料，形成电感组；
21、切割电感组以形成多个线圈电感器，每一线圈电感器包括一个电感本体以及包覆该电感本体的磁体；电感本体包括一次平铺的磁性材料、导电线圈及二次平铺的磁性材料；
22、对单个线圈电感器进行封端。
23、进一步地，所述磁性材料为软磁合金或软磁复合材料或软磁铁氧体形成的磁性片。
24、进一步地，对电感组进行切割前，还包括：
25、形成电感组之后，对电感组进行整版的电极标记；
26、对电极标记后的电感组进行固化。
27、进一步地，所述电极标记包括喷码或镭射标刻
28、进一步地，所述导电线圈组的形成方法包括：导电层与绝缘层沿第一方向交替铺设，且每铺设一层均通过光刻和/或蚀刻形成所需图案，从而形成包含若干阵列排布的导电线圈；其中，相邻导电层通过贯穿绝缘层的触点实现电接触。
29、与现有技术相比，本专利技术技术方案及其有益效果如下：
30、（1）本专利技术的薄膜电感，通过阵列平铺第一磁性材料、放置导电线圈组、批量放置第二磁性材料、导入磁体包裹形成电感组，切割电感组形成若干线圈电感器，从而实现线圈电感器的批量生产，进而提高了生产效率。同时，通过更换不同的第一磁性材料及第二磁性材料的形态、材质，可以生产多种薄膜电感。
31、（2）本专利技术在形成电感组之后，对电感组进行整版的电极标记，通过喷码或镭射标刻一次性将每一线圈电感器的极性进行标记，避免后续对单个线圈电感器进行测试后再标记，以提升生产制造的效率。
32、（3）本专利技术的薄膜电感，通过阵列平铺磁性片、放置导电线圈组、导入磁体、平铺磁性片、再次导入磁体包裹形成电感组，切割电感组形成若干线圈电感器，从而实现线圈电感器的批量生产，进而提高了生产效率。
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1.一种薄膜电感制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种薄膜电感制造方法，其特征在于，所述第一磁性材料为磁性浆料，第二磁性材料为软磁合金或软磁复合材料或软磁铁氧体。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜电感制造方法，其特征在于，所述第一磁性材料与第二磁性材料软磁合金或软磁复合材料或软磁铁氧体等软磁材料。
4.根据权利要求3所述的一种薄膜电感制造方法，其特征在于，所述第一磁性与第二磁性材料为一体成型。
5.一种薄膜电感制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
6.根据权利要求5所述的一种薄膜电感制造方法，其特征在于，所述磁性材料为软磁合金或软磁复合材料或软磁铁氧体形成的磁性片。
7.根据权利要求1至6任意一项所述的一种薄膜电感制造方法，其特征在于，对电感组进行切割前，还包括：
8.根据权利要求7所述的一种薄膜电感制造方法，其特征在于，所述电极标记包括喷码或镭射标刻。
9.根据权利要求1至6任意一项所述的一种薄膜电感制造方法，其特征在于，所述导电线圈组的形成方法包括：导电
...【技术特征摘要】
1.一种薄膜电感制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种薄膜电感制造方法，其特征在于，所述第一磁性材料为磁性浆料，第二磁性材料为软磁合金或软磁复合材料或软磁铁氧体。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜电感制造方法，其特征在于，所述第一磁性材料与第二磁性材料软磁合金或软磁复合材料或软磁铁氧体等软磁材料。
4.根据权利要求3所述的一种薄膜电感制造方法，其特征在于，所述第一磁性与第二磁性材料为一体成型。
5.一种薄膜电感制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
6.根据权利要求5所述的一种薄膜电感制...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘雪松，林阳义，严文华，杨新伟，江海天，
申请(专利权)人：英麦科厦门微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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