【技术实现步骤摘要】
1.本公开涉及一种运输设备，并且更具体地，涉及一种包括运输载具的运输设备，运输载具用于运输其上安装有用于制造半导体器件的材料的载体。2.相关领域在半导体制造工厂中，可以经由运输设备(诸如，高架起吊运输(oht)设备)来运输其上安装有用于制造半导体器件的材料(例如，晶片和掩模)的载体。oht设备可以是用于经由运输载具运输载体的运输设备，运输载具配置成可沿着安装在洁净室天花板上的行进轨道移动。设置在行进轨道上的运输载具可以沿着行进轨道移动，并且将载体从行进轨道上的一些位置运输到其他位置。
技术介绍
技术实现思路
1、提供了一种包括能够运输大量载体的运输载具的运输设备。
2、附加方面将部分地在之后的描述中陈述，并且部分地将从描述中明白，或者可以通过本公开的所呈现实施例的实践来学习。
3、根据本公开的方面，一种运输设备包括：运输载具，其配置成沿着行进轨道移动并且包括运输载具主体；以及起吊设备，其联接到运输载具。
4、起吊设备包括：第一起吊设备，其联接至运输载具主体，并能够抓持第一载体且沿上下方向提升和降低第一载体；以及第二起吊设备，其联接至运输载具主体且远离第一起吊设备，并且能够抓持第二载体且沿上下方向提升和降低第二载体。
5、根据本专利技术的另一个方面，一种运输设备包括：运输载具，其配置成沿着行进轨道移动；以及起吊设备，其联接到运输载具。运输载具包括运输载具主体，其连接到行进轨道，并且运输载具主体具有内部空间和在其下侧的开口，并且包括滑盖，滑盖连接到运
6、起吊设备包括：第一起吊设备，其联接至运输载具主体，并能够抓持第一载体以及沿上下方向提升和降低第一载体；以及第二起吊设备，其联接至运输载具主体且远离第一起吊设备，并且能够抓持第二载体且沿上下方向提升和降低第二载体。
7、根据本专利技术的又一个方面，一种运输设备包括：运输载具，其配置成沿着行进轨道移动；以及起吊设备，其联接到运输载具。运输载具包括运输载具主体，其连接到行进轨道，并且运输载具主体具有内部空间和在其下侧的开口，并且包括滑盖，所述滑盖连接到运输载具主体并且能够在上下方向上移动。
8、起吊设备包括：第一起吊设备，其联接至运输载具主体的上部部分，能够抓持第一载体且通过开口沿上下方向提升和降低第一载体，并能够通过内部空间沿前后方向移动第一载体；以及第二起吊设备，其联接到运输载具主体的下部部分且在向下方向上远离第一起吊设备，并且能够抓持第二载体且沿上下方向提升和降低第二载体。
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1.一种运输设备，包括：
2.根据权利要求1所述的运输设备，其中所述第一起吊设备联接到所述运输载具主体的上部部分，并且所述第二起吊设备在向下方向上远离所述第一起吊设备，并联接到所述运输载具主体的下部部分。
3.根据权利要求2所述的运输设备，其中所述第一起吊设备配置成在前后方向上移动所述第一载体。
4.根据权利要求2所述的运输设备，其中所述运输载具主体还包括安装在其上的第一防坠装置，所述第一防坠装置能够支撑所述第一载体的底部部分。
5.根据权利要求2所述的运输设备，其中所述运输载具主体还包括安装在其上的滑盖，所述滑盖能够沿上下方向移动，并且所述滑盖包括安装在其上的第二防坠装置，所述第二防坠装置能够支撑所述第二载体的底部部分。
6.根据权利要求2所述的运输设备，其中所述第一起吊设备包括：第一抓手部分，其联接到所述运输载具主体的上部部分并且能够在上下方向上移动；第一抓持部分，其联接到所述第一抓手部分以抓持所述第一载体；以及第一升降驱动线，其能够沿上下方向提升和降低所述第一抓手部分和所述第一抓持部分，并且所述第二起吊设备包括：第
7.根据权利要求1所述的运输设备，其中所述第一起吊设备联接到所述运输载具主体的上部部分，并且所述第二起吊设备联接到所述运输载具主体的上部部分并在向左方向或向右方向上远离所述第一起吊设备。
8.根据权利要求7所述的运输设备，其中所述第一起吊设备包括：第一抓手部分，其联接到所述运输载具主体的上部部分；以及第一抓持部分，其联接到所述第一抓手部分以抓持所述第一载体，并且所述第二起吊设备包括：第二抓手部分，其联接到所述运输载具主体的所述上部部分，以及第二抓持部分，其联接到所述第二抓手部分以抓持所述第二载体。
9.根据权利要求7所述的运输设备，其中所述运输载具主体还包括安装在其上的：
10.一种运输设备，包括：
11.根据权利要求10所述的运输设备，其中所述第一起吊设备联接到所述运输载具主体的上部部分，并且所述第二起吊设备在向下方向上远离所述第一起吊设备并联接到所述运输载具主体的下部部分。
12.根据权利要求11所述的运输设备，其中所述第一起吊设备配置成在前后方向以及上下方向上移动所述第一载体，所述第一起吊设备和所述第一载体配置成沿前后方向移动通过所述内部空间，并且所述第一起吊设备和所述第一载体配置成沿上下方向移动通过所述开口。
13.根据权利要求11所述的运输设备，其中所述第一起吊设备包括：第一抓手部分，其联接到所述运输载具主体的上部部分并且能够在前后方向以及上下方向上移动；第一抓持部分，其联接到所述第一抓手部分以抓持所述第一载体；以及第一升降驱动线，其能够沿上下方向提升和降低所述第一抓手部分和所述第一抓持部分，并且所述第二起吊设备包括：第二抓手部分，其联接到所述运输载具主体的下部部分并且能够在前后方向以及上下方向上移动；第二抓持部分，其联接到所述第二抓手部分以抓持所述第二载体；以及第二升降驱动线，其能够在上下方向上提升和降低所述第二抓手部分和所述第二抓持部分。
14.根据权利要求11所述的运输设备，其中所述运输载具主体还包括安装在其上的第一防坠装置，所述第一防坠装置能够支撑所述第一载体的底部部分，并且所述滑盖还包括安装在其上的第二防坠装置，所述第二防坠装置能够支撑所述第二载体的底部部分。
15.根据权利要求10所述的运输设备，其中所述第一起吊设备联接到所述运输载具主体的上部部分，并且所述第二起吊设备联接到所述运输载具主体的上部部分，并且在向左方向或向右方向上远离所述第一起吊设备。
16.根据权利要求15所述的运输设备，其中所述运输载具主体还包括附加运输载具主体，所述附加运输载具主体配置成将所述第一起吊设备和所述第二起吊设备彼此分开，并且所述附加运输载具主体包括附加滑盖，所述附加滑盖能够沿上下方向移动。
17.根据权利要求15所述的运输设备，还包括：
18.根据权利要求17所述的运输设备，其中所述第一起吊设备配置成在前后方向上移动所述第一载体，并且所述第二起吊设备配置成在前后方向上移动所述第二载体。
19.一种运输设备，包括：
20.根据权利要求19所述的运输设备，其中所述运输载具主体还包括安装在其上的第一防坠装置，所述第一防坠装置能够支撑所述第一载体的底部部分，并且所述滑盖还包...
【技术特征摘要】
1.一种运输设备，包括：
2.根据权利要求1所述的运输设备，其中所述第一起吊设备联接到所述运输载具主体的上部部分，并且所述第二起吊设备在向下方向上远离所述第一起吊设备，并联接到所述运输载具主体的下部部分。
3.根据权利要求2所述的运输设备，其中所述第一起吊设备配置成在前后方向上移动所述第一载体。
4.根据权利要求2所述的运输设备，其中所述运输载具主体还包括安装在其上的第一防坠装置，所述第一防坠装置能够支撑所述第一载体的底部部分。
5.根据权利要求2所述的运输设备，其中所述运输载具主体还包括安装在其上的滑盖，所述滑盖能够沿上下方向移动，并且所述滑盖包括安装在其上的第二防坠装置，所述第二防坠装置能够支撑所述第二载体的底部部分。
6.根据权利要求2所述的运输设备，其中所述第一起吊设备包括：第一抓手部分，其联接到所述运输载具主体的上部部分并且能够在上下方向上移动；第一抓持部分，其联接到所述第一抓手部分以抓持所述第一载体；以及第一升降驱动线，其能够沿上下方向提升和降低所述第一抓手部分和所述第一抓持部分，并且所述第二起吊设备包括：第二抓手部分，其联接到所述运输载具主体的下部部分并且能够在上下方向上移动；第二抓持部分，其联接到所述第二抓手部分以抓持所述第二载体；以及第二升降驱动线，其能够在上下方向上提升和降低所述第二抓手部分和所述第二抓持部分。
7.根据权利要求1所述的运输设备，其中所述第一起吊设备联接到所述运输载具主体的上部部分，并且所述第二起吊设备联接到所述运输载具主体的上部部分并在向左方向或向右方向上远离所述第一起吊设备。
8.根据权利要求7所述的运输设备，其中所述第一起吊设备包括：第一抓手部分，其联接到所述运输载具主体的上部部分；以及第一抓持部分，其联接到所述第一抓手部分以抓持所述第一载体，并且所述第二起吊设备包括：第二抓手部分，其联接到所述运输载具主体的所述上部部分，以及第二抓持部分，其联接到所述第二抓手部分以抓持所述第二载体。
9.根据权利要求7所述的运输设备，其中所述运输载具主体还包括安装在其上的：
10.一种运输设备，包括：
11.根据权利要求10所述的运输设备，其中所述第一起吊设备联接到所述运输载具主体的上部部分，并且所述第二起吊设备在向下方向上远离所述第一起吊设备并联接到所述运...
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