【技术实现步骤摘要】
本技术是一种半导体制冷片靶材冷却装置，属于靶材。
技术介绍
1、溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
2、中国专利号cn109825811a公开了一种半导体制冷片靶材冷却装置，通过紧固螺母以及夹紧片对靶材进行固定，并通过安装空间内设置的水冷铜板以及半导体制冷片对靶材进行冷却，冷却效果好，但该设计每次安装拆卸靶材都需要对紧固螺母进行旋动，方可取下夹紧片，安装拆卸不够灵活方便，现在急需一种半导体制冷片靶材冷却装置来解决上述出现的问题。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种半导体制冷片靶材冷却装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术结构合理，通过弹性移动的夹板配合上夹块对靶材进行夹持，并通过把手带动固定板上下滑动，使靶材下端面与半导体制冷器相抵接，对靶材的安装固定简单方便，实用性强。
2、为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种半导体制冷片靶材冷却装置，包括底座、挡板、半导体制冷器、固定板、夹板、滑槽、限位板、锁止卡块以及调节座，所述底座上端面安装有挡板，所述挡板外侧面设置有调节座，所述调节座内部设置有锁止卡块，所述底座
3、进一步地，所述夹板相对内侧粘接有滑板，所述滑板以及夹板呈l形，所述滑板沿滑槽内壁紧密滑动，所述夹板上端面粘接有软垫，所述软垫采用耐磨橡胶制成。
4、进一步地，所述滑板下端面以及滑槽底部均等规格设置有弹簧座，所述弹簧座内部设置有挤压弹簧。
5、进一步地，所述固定板与挡板呈圆弧形，所述固定板外侧面粘接有把手，所述固定板内侧设置有上夹块。
6、进一步地，所述挡板内部开设有限位槽，所述限位板沿限位槽内壁紧密滑动。
7、进一步地，所述限位板相对外侧开设有锁止卡槽，所述锁止卡块贯穿穿过挡板后与锁止卡槽相互卡装。
8、进一步地，所述调节座内部设置有连接杆，所述连接杆与锁止卡块相连接，所述连接杆环形侧面套装有复位弹簧。
9、进一步地，所述半导体制冷器上端面设置有抵接块，所述抵接块上端面与外界靶材下端面相抵接。
10、本技术的有益效果：本技术的一种半导体制冷片靶材冷却装置，因本技术添加了夹板、固定板、锁止卡块以及连接杆，通过夹板以及上夹块对靶材进行初步固定，并通过把手带动固定板移动，使得靶材与抵接块紧密抵接，从而便于与半导体制冷器进行热交换，当需要取出靶材时，可以通过拉动连接杆带动锁止卡块与锁止卡槽脱离，从而解除对固定板的锁定，方便使用人员取出靶材，对靶材的固定效果好，安装拆卸方便，实用性强。
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1.一种半导体制冷片靶材冷却装置，包括底座、挡板、半导体制冷器、固定板、夹板、滑槽、限位板、锁止卡块以及调节座，其特征在于：所述底座上端面安装有挡板，所述挡板外侧面设置有调节座，所述调节座内部设置有锁止卡块，所述底座内部设置有半导体制冷器，所述底座上方设置有固定板，所述固定板相对内侧设置有夹板，所述固定板内部开设有滑槽，所述固定板下端面粘接有限位板。
2.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述夹板相对内侧粘接有滑板，所述滑板以及夹板呈L形，所述滑板沿滑槽内壁紧密滑动，所述夹板上端面粘接有软垫，所述软垫采用耐磨橡胶制成。
3.根据权利要求2所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述滑板下端面以及滑槽底部均等规格设置有弹簧座，所述弹簧座内部设置有挤压弹簧。
4.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述固定板与挡板呈圆弧形，所述固定板外侧面粘接有把手，所述固定板内侧设置有上夹块。
5.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述挡板内部开设有限位槽，所述
6.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述限位板相对外侧开设有锁止卡槽，所述锁止卡块贯穿穿过挡板后与锁止卡槽相互卡装。
7.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述调节座内部设置有连接杆，所述连接杆与锁止卡块相连接，所述连接杆环形侧面套装有复位弹簧。
8.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述半导体制冷器上端面设置有抵接块，所述抵接块上端面与外界靶材下端面相抵接。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体制冷片靶材冷却装置，包括底座、挡板、半导体制冷器、固定板、夹板、滑槽、限位板、锁止卡块以及调节座，其特征在于：所述底座上端面安装有挡板，所述挡板外侧面设置有调节座，所述调节座内部设置有锁止卡块，所述底座内部设置有半导体制冷器，所述底座上方设置有固定板，所述固定板相对内侧设置有夹板，所述固定板内部开设有滑槽，所述固定板下端面粘接有限位板。
2.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述夹板相对内侧粘接有滑板，所述滑板以及夹板呈l形，所述滑板沿滑槽内壁紧密滑动，所述夹板上端面粘接有软垫，所述软垫采用耐磨橡胶制成。
3.根据权利要求2所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述滑板下端面以及滑槽底部均等规格设置有弹簧座，所述弹簧座内部设置有挤压弹簧。
4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：高庆，
申请(专利权)人：塔格特电子材料上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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