【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硬脆材料加工,具体提供一种卧式磨床。
技术介绍
1、对硬脆材料进行加工的设备通常包括截断机、开方机、磨床和切片机,以属于硬脆材料的工件为硅棒为例,其中,截断机主要用于通过如线切割等方式将较长的硅棒切为长度较短的硅棒(如通常为横截面为圆形的硅棒,简称圆棒),开方机主要用于通过如线切割等方式将圆棒切为横截面为矩形(如正方形)的硅棒(简称方棒,如该阶段的方棒未经过磨削加工,通常可以称作毛棒),磨床主要用于通过磨削作业使得毛棒的表面精度达标(如该阶段的方棒经磨削加工之后,表面精度达标,通常可以称作成品棒),切片机主要用于将成品棒通过如多线切割(线网切割)的方式获得待用的薄硅片。
2、其中,磨床主要包括卧式磨床和立式磨床,对于其中的卧式磨床而言,其结构通常包括上/下料装置、进给滑台装置以及磨削装置。对硅棒进行磨削作业的过程通常为:首先将开方后的硅棒(前述的毛棒)固定至上下料装置,对硅棒的姿态进行初步调节后,将硅棒送达进给滑台装置的两个夹头之间,如两个夹头可以均为动夹头,或者两个夹头中的一个为动夹头而另一个为定夹头。通过进给滑台装置沿硅棒轴向(进给方向)的运动,将硅棒送达对应于磨削装置的位置。基于此,通过使磨削装置靠近硅棒并使硅棒沿进给方向往复运动,便可对硅棒的其中一组待磨削面或者一对棱边进行相应的磨削作业。之后,通过使硅棒旋转,从而转动至第二组待磨削面或者另一对棱边,以此类推,便可如前所述,通过磨床将毛棒加工为成品棒。
3、可以看出,目前的卧式磨床主要是以依赖于硅棒沿进给方向的往复运动来完成其磨削作业的。
4、需要说明的是,上述
技术介绍
的叙述方式只是结合专利技术人在构思以及涉及产品的思路引出来本技术,即:给出了可将本技术应用的一种具体的应用场景,而不应当理解为本技术的技术方案仅能够应用于该场景。如在本技术的场景中,磨床为卧式磨床,硅棒在卧式磨床的磨削区无需往复运动而采用磨削组件沿硅棒的轴线方向往复运动。相应地,需要给出一种硅棒的清洗方案以更好地适配该场景中的磨床。
技术实现思路
1、本技术旨在提供一种能够实现在通过磨削组件对工件进行加工件期间采用硅棒不动而磨削组件往复运动的形式的卧式磨床。
2、如通常的夹爪组件在将硅棒夹紧之后,无法再调整硅棒的状态,因此通常无法满足硅棒的轴线与磨床的磨削区域的夹头组件的轴线的同轴度,这将可能造成磨削余量大、磨削精度低的问题。在采用了本技术的磨床的情形下,有望通过被夹头组件夹持的硅棒处于静止状态而对硅棒进行磨削的磨削组件处于往复运动状态的方式实现针对硅棒的磨削作业。并且,本技术采用多方位(包含侧面和端面)布点的方式实现了对磨削完成后的硅棒(成品棒)的清洗/吹干作业,进一步优化了磨床的使用性能。
3、有鉴于此,本技术提供了一种卧式磨床,该卧式磨床包括:夹头组件,其包括第一夹头和第二夹头,工件能够被夹持于所述第一夹头和所述第二夹头之间;磨削组件,其能够对工件进行磨削作业;以及滑台机构,所述磨削组件可滑动地设置于所述滑台机构,以便:在工件处于被所述夹头组件夹持的状态下,通过所述磨削组件在所述滑台机构上沿工件的轴向运动的方式对工件进行磨削;所述卧式磨床还包括:清洗部,其用于对工件进行表面清洗作业;其中,所述清洗部包括多个清洗单元,每个所述清洗单元能够对对应于其的工件的一个或者多个局部区域进行表面清洗。
4、通过这样的构成,能够谋求通过工件(如硅棒)不动、磨削组件动的方式完成磨削作业。由于工件的运动往往需要预留较大的空间,因此这样的作业方式能够明显地节省对应于磨削区的空间。此外,由于磨削作业进行期间工件处于相对静止的状态,因此能够更好地保证夹持状态下的工件的位姿精度,在此基础上便能够有效地保证工件的磨削精度。
5、可以理解的是,本领域技术人员可以根据实际需求确定第一/第二夹头的结构形式。如通过第一/第二夹头的同步转动可以实现工件的不同磨削位置的切换,通过第一/第二夹头相对彼此的运动从而对工件夹紧,如第一/第二夹头中的一个为动夹头另一个为定夹头,或者第一/第二夹头均为动夹头。
6、可以理解的是,本领域技术人员可以根据实际需求确定滑台机构的结构形式、个数及其与磨削组件实现滑动连接的具体形式等,如可以包括但不限于:滑台机构上具有与磨削组件配合连接的导轨,驱动电机通过丝杠螺母机构、齿轮齿条机构等与磨削组件驱动连接。
7、通过多个清洗单元的设置,有望更充分地对工件的表面进行清洗。可以理解的是,本领域技术人员可以根据实际需求确定清洗单元的个数、结构形式、设置方式、各个清洗单元的分布形式以及与工件的不同局部的对应关系。示例性地,清洗单元沿硅棒的轴向均匀分布,清洗单元可以固定在卧式磨床的固定部件或者活动部件上,以清洗组件固定在活动部件上为例,如清洗组件可以固定在磨削组件或者随磨削组件运行的活动部件上等。
8、对于上述卧式磨床,在一种可能的实施方式中,所述清洗部包括:第一清洗单元,其能够至少对工件沿其轴线的侧面进行清洗;以及第二清洗单元,其能够至少对工件的端面进行清洗。
9、通过这样的构成,给出了清洗部的一种可能的结构形式。
10、可以理解的是,本领域技术人员可以根据实际需求确定第一/第二清洗单元的结构形式、个数及其与侧面/端面的对准关系等。示例性地,第一清洗单元包括两个,其中的一个仅对侧面进行清洗,另一个可对靠近端面的侧面部分以及端面的外缘部分(靠近侧面的部分)进行清洗。
11、对于上述卧式磨床,在一种可能的实施方式中,所述第一清洗单元和/或第二清洗单元以可活动的方式设置于所述卧式磨床。
12、通过这样的构成,能够谋求通过动态清洗的方式对工件的表面全域进行尽可能充分地清洗。
13、可以理解的是,本领域技术人员可以根据实际需求确定第一/第二清洗单元的活动方式、实现其可活动设置的具体方式以及相应的活动范围等。如可以借助于单独配置的驱动传动机构进行如升降、水平移动、转动等方式的活动。
14、对于上述卧式磨床,在一种可能的实施方式中,所述第一清洗单元设置于所述滑台机构。
15、通过这样的设置,给出了第一清洗单元实现其活动设置的具体方式。
16、如第一清洗单元可以固定设置于滑台机构并因此伴随着磨削组件的往复运动同步运动,也可以以可活动的方式设置于滑台机构并因此通过运动组合的方式实现其相对工件的活动。
17、对于上述卧式磨床,在一种可能的实施方式中,所述第一清洗单元包括多个清洗单体,所述多个清洗单体中的至少一部分沿工件的轴向分布。
18、通过这样的构成,给出了第一清洗本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种卧式磨床,其特征在于,所述卧式磨床包括:
2.根据权利要求1所述的卧式磨床,其特征在于,所述清洗部包括:
3.根据权利要求2所述的卧式磨床,其特征在于,所述第一清洗单元和/或第二清洗单元以可活动的方式设置于所述卧式磨床。
4.根据权利要求3所述的卧式磨床,其特征在于,所述第一清洗单元设置于所述滑台机构。
5.根据权利要求4所述的卧式磨床,其特征在于,所述第一清洗单元包括多个清洗单体,所述多个清洗单体中的至少一部分沿工件的轴向分布。
6.根据权利要求5所述的卧式磨床,其特征在于,所述滑台机构包括沿工件的轴向分布的两个端部区域以及二者之间的中部区域,所述中部区域以及至少一个所述端部区域上设置有所述清洗单体。
7.根据权利要求3至6中任一项所述的卧式磨床,其特征在于,所述第二清洗单元设置于所述第一夹头和/或所述第二夹头。
8.根据权利要求7所述的卧式磨床,其特征在于,所述第一夹头和/或所述第二夹头包括夹头架以及设置于所述夹头架上的夹头,所述第二清洗单元固定设置于所述夹头架。
9.根据
10.根据权利要求9所述的卧式磨床,其特征在于,至少所述滑台机构上设置有所述吹干部。
...【技术特征摘要】
1.一种卧式磨床,其特征在于,所述卧式磨床包括:
2.根据权利要求1所述的卧式磨床,其特征在于,所述清洗部包括:
3.根据权利要求2所述的卧式磨床,其特征在于,所述第一清洗单元和/或第二清洗单元以可活动的方式设置于所述卧式磨床。
4.根据权利要求3所述的卧式磨床,其特征在于,所述第一清洗单元设置于所述滑台机构。
5.根据权利要求4所述的卧式磨床,其特征在于,所述第一清洗单元包括多个清洗单体,所述多个清洗单体中的至少一部分沿工件的轴向分布。
6.根据权利要求5所述的卧式磨床,其特征在于,所述滑台机构包括沿工件的轴...
【专利技术属性】
技术研发人员:王硕,刘明杰,徐公志,吕清乐,
申请(专利权)人:青岛高测科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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