一种在线处理设备制造技术

本发明专利技术公开一种在线处理设备，包括冷却腔（２１）和载台（２５），所述冷却腔与所述载台之间设置有第一载板传输装置（２２）和第二载板传输装置（２３），所述载台可选择地与所述第一载板传输装置的第一端或者第二载板传输装置的第一端配合，所述冷却腔内部设置有第三载板传输装置（２０），所述第三载板传输装置可选择地与所述第一载板传输装置的第二端或者所述第二载板传输装置的第二端配合。载板（２４）只需在冷却腔中即可实现返回，并在载台上实现装载和卸载，无需为设备另外安装卸载台，从而减小了该在线处理设备的占地面积，降低设备运行空间的清洁作业成本，进而能够降低设备的使用成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微电子
，特别涉及一种在线处理设备。
技术介绍
随着我国经济建设的发展，在线式等离子体处理设备等在线处理设备越来越广泛 地应用于微电子
请参考图1，图1为一种在线式等离子体处理设备的结构示意图。在线式等离子体处理设备一般具有依次相邻的装载台11、预热腔室12、工艺腔室 13、冷却腔室14，以上各相邻腔室之间、腔室与大气之间分别设置有翻板阀15，载板16在载 板传送机构17的带动下依次经过上述各腔室。在基片的加工过程中，首先将载板16装载 于载板传送机构17，预热腔室12与装载台11之间的翻板阀15打开，载板16进入预热腔室 12后该翻板阀15关闭，并将预热腔室12抽成真空后将被加工基片放置于载板16表面，打 开预热腔室12与工艺腔室13之间的翻板阀15，载板16和载板16上的基片随载板传送机 构17进入工艺腔室13，加工完成后，打开工艺腔室13与冷却卸载腔14之间的翻板阀15， 基片、载板16随载板传送机构17进入冷却卸载腔后，将加工完成的基片自载板16上移除， 载板传送机构17将载板16传输至卸载台18进行卸载，卸载后的载板16通过返回机构19 重新回到装载台11装载，重复上述工作步骤。在上述在线式等离子体处理设备中，当一批基片加工完成后，需要将载板16传送 至卸载台18上卸载，卸载台18需要占有足够大的使用空间，当设备的产出率较大或者基片 的尺寸较大时，卸载台18所需的使用空间需要相应增大，则等离子体处理设备的体积相应 增大。由于等离子体处理设备等微电子设备都需要在超净的环境下工作，需要对设备的运 行环境实施清洁除菌等作业，设备的占地面积越大，设备所需运行空间也就随之增大，对设 备运行空间的清洁作业所需的成本随之增加，从而使得设备的使用成本较高。因此，如何减小在线处理设备的占地面积，降低设备运行空间的清洁作业成本，从 而降低设备的使用成本，就成为本领域技术人员亟须解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种在线处理设备，该在线处理设备的占地面积较小，从而 能够降低设备运行空间的清洁作业成本，进而能够降低设备的使用成本。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种在线处理设备，包括冷却腔和载台，所述冷 却腔与所述载台之间设置有第一载板传输装置和第二载板传输装置，所述载台可选择地与 所述第一载板传输装置的第一端或者第二载板传输装置的第一端配合，所述冷却腔内部设 置有第三载板传输装置，所述第三载板传输装置可选择地与所述第一载板传输装置的第二 端或者所述第二载板传输装置的第二端配合。优选地，还包括作用于所述第三载板传输装置的第一倾斜机构；所述第一载板传 输装置位于所述第二载板传输装置上方，所述第三载板传输装置通过垂直于其传输方向的3第一铰接轴铰接于所述冷却腔的腔体，且能够在所述第一倾斜机构的作用下绕所述第一铰 接轴转动预定角度。优选地，所述第一倾斜机构包括绕驱动轴转动并作用于所述第三载板传输装置底 部的凸轮，所述驱动轴的轴向垂直于所述第三载板传输装置的传输方向。优选地，所述第一铰接轴安装于所述第三载板传输装置上远离所述第二载板传输 装置的一端，所述凸轮作用于所述第三载板传输装置上靠近所述第二载板传输装置的一 端。优选地，所述第二载板传输装置通过第二铰接轴铰接于所述在线处理设备的固定 部，所述第二铰接轴位于远离所述第三载板传输装置的一端，且其轴向垂直于所述第二载 板传输装置的传输方向；所述第二载板传输装置靠近所述第三载板传输装置的一端安装有 第二倾斜机构，所述第二载板传输装置能够在所述第二倾斜机构的作用下绕所述第二铰接 轴转动预定角度。优选地，所述第二倾斜机构包括至少一个气缸。优选地，还包括作用于所述第三载板传输装置的升降机构，所述第三载板传输装 置在所述升降机构的作用下沿所述冷却腔的上下方向运动；所述第一载板传输装置位于所 述第二载板传输装置正上方。优选地，所述第二载板传输装置至少包括前段和后段，且所述前段和所述后段通 过各自的动力机构分别驱动。优选地，具体为等离子体处理设备。优选地，所述等离子体处理设备为等离子体化学气相沉积设备。本专利技术所提供的在线处理设备，包括冷却腔、第一载板传输装置、第二载板传输装 置和第三载板传输装置，第一载板传输装置和第二载板传输装置均设置于所述冷却腔与所 述载台之间，所述载台可选择地与所述第一载板传输装置的第一端或者第二载板传输装置 的第一端配合，所述冷却腔内部设置有第三载板传输装置，所述第三载板传输装置可选择 地与所述第一载板传输装置的第二端或者所述第二载板传输装置的第二端配合。在在线处 理设备的工作过程中，载板在载台上加载后，由第一载板传输装置自载台经过预热腔、工艺 腔等运送至冷却腔，此时，第三载板传输装置与第一载板传输装置配合，载板自第一载板传 输装置传输至第三载板传输装置上，然后，第三载板传输装置与第一载板传输装置断开配 合，被加工件在冷却腔中充分冷却后，第三载板传输装置与第二载板传输装置配合，载板自 第三载板传输装置传输至第二载板传输装置，并通过第二载板传输装置返回载台，从而完 成一个生产周期。这样，载板只需在冷却腔中即可实现返回，并在载台上实现装载和卸载， 无需为设备另外安装卸载台，从而减小了该在线处理设备的占地面积，降低设备运行空间 的清洁作业成本，进而能够降低设备的使用成本。在另一种具体实施方式中，本专利技术所提供的在线处理设备还包括第一倾斜机构， 该第一倾斜机构作用于第三载板传输装置的适当位置，第一载板传输装置位于所述第二载 板传输装置的上方，第三载板传输装置通过在水平面上垂直于其传输方向的第一铰接轴铰 接于冷却腔的腔体，且能够在第一倾斜机构的作用下绕第一铰接轴转动预定角度。当第三 载板传输装置将其上的载板传输至第二载板传输装置时，首先通过第一倾斜机构使第三载 板传输装置向靠近第二载板传输装置的方向转动预定角度，当两者的位置达到预定的关系时，启动驱动第三载板传输装置和第二载板传输装置的动力机构，能够使载板顺利地传输 至第二载板传输装置上，从而随第二载板传输装置返回到装载台，以完成一个加工周期，载 板传输至第二载板传输装置后，通过第一倾斜机构的反向动作，实现第三载板传输装置绕 第一铰接轴反向运动，以便第三载板传输装置回复水平位置；通过该第一倾斜装置能够在 第三载板传输装置和第二载板传输装置具有适当的相对位置关系时，实现载板的传输，避 免了由于两者距离过远而造成的载板损坏，从而提高了在线处理设备的工作安全性。在另一种具体实施方式中，上述第一倾斜机构包括绕驱动轴转动并作用于第三载 板传输装置底部的凸轮，驱动轴垂直于第三载板传输装置的传输方向。在凸轮的转动过程 中，当凸轮以其短轴支撑第三载板传输装置时，第三载板传输装置的位置低于凸轮以其长 轴支撑第三载板传输装置时的水平位置，这样，通过凸轮实现了第三载板传输装置的倾斜， 并且凸轮的结构较为简单，制造工艺简便，生产成本较低。附图说明图1为一种在线处理设备的结构示意图；图2为本专利技术所提供在线处理设备一种具体实施方式的剖视图；图3为图2所示在线处理设备在倾斜时的局部结构示意图；图4为图2所示在线处理设备在俯视方向的结构示意图；图5为本专利技术所提供在线处理设备中第一倾斜机构一种具体实施方式的结构示 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在线处理设备，包括冷却腔（２１）和载台（２５），所述冷却腔（２１）与所述载台（２５）之间设置有第一载板传输装置（２２）和第二载板传输装置（２３），所述载台（２５）可选择地与所述第一载板传输装置（２２）的第一端或者第二载板传输装置（２３）的第一端配合，其特征在于，所述冷却腔（２１）内部设置有第三载板传输装置（２０），所述第三载板传输装置（２０）可选择地与所述第一载板传输装置（２２）的第二端或者所述第二载板传输装置（２３）的第二端配合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：南建辉，宋巧丽，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]