【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及陶瓷球加工领域，具体涉及一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚。
技术介绍
1、氮化硅陶瓷球热等静压是把装入石墨坩埚内的氮化硅球坯放入热等静压机的高压容器中。然后，以高压n2气体为压力介质均匀作用于球坯上，借助于高温和高压的共同作用使陶瓷材料达到致密化的过程称为热等静压烧结(hip)。在高温和外力作用下材料发生塑性变形和扩散蠕变等。在烧结后的球坯检测中，发现了目前的石墨坩埚中的球坯内部存在雪花斑存在过烧现象，通过降低烧结温度的方式没有解决过烧现象，确定是在烧结过程中炉内均温性较差，气体流通不通畅。现有的石墨坩锅无法满足陶瓷球加工使用要求，原坩埚底部没有开孔，氮化硅球坯处于相对密封的环境中，实际热等静压烧结过程中在n2打入炉内加温过程中，气体膨胀，石墨坩埚底部没有可以提供气体流通，造成高温气体无法均匀包裹每个球体，使得坩埚内的球体受热不均，内侧氮化硅球坯温度远低于外部氮化硅球体，热电偶测温检测到整体温度没有达到设定要求，则增加功率，使内侧球坯的温度到达了设定要求，从而造成了外侧球体出现了过烧雪花斑现象。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本专利技术提出了一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，设计巧妙，结构合理紧凑，满足生产需要。
2、本专利技术的技术方案：
3、一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，它包括主体、压盖和门板，主体设计呈圆柱体，上端中间开有圆槽，主体一侧开有侧门，圆槽通过侧门联通主体外侧，侧门位置插装有一门板，主体上端盖有一
4、所述的压盖以及主体的圆槽底部上的若干腰形孔以扇形45°均布。
5、所述的空心立柱设计为圆柱体，直径为30mm，空心立柱的中心孔内径为12mm，空心立柱上端设计有螺纹孔。
6、所述的空心立柱设计为锥形柱体，锥形柱体的上端直径为30mm，锥形柱体的根部直径为55.58mm，空心立柱的中心孔内径为12mm，空心立柱上端设计有螺纹孔。
7、所述的门板两边靠近内侧设置有三角状竖边，竖边的外侧面与圆槽的内壁相贴合。 所述的石墨坩锅还包括吊装用的吊环，吊环下端穿过压盖的上圆孔后旋转安装在空心立柱的螺纹孔内。
8、所述的主体的一周设计若干竖向腰形孔，竖向腰形孔内侧联通圆槽，竖向腰形孔的外侧联通主体的外周面。
9、所述的圆槽的底部上面设置有四道加强筋，四道加强筋交叉设计在圆槽底部上面。
10、所述的石墨坩埚用于氮化硅陶瓷球热等静压烧结时，将φ20mm以下规格的氮化硅球坯均匀的放入7个石墨坩埚内，通过堆叠的方式将7个坩埚放好，顶部盖上相对应的压盖，通过吊环将堆叠好的石墨坩埚依次吊入热等静压炉腔内，输入程序段后开始烧结。
11、本专利技术的优点是设计巧妙，结构合理紧凑，通过本石墨坩埚辅助陶瓷球烧结，提高其在热等静压炉内的均温性和气体流通，让炉内所有球坯能够得到相同的烧结温度。
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1.一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，它包括主体、压盖和门板，主体设计呈圆柱体，上端中间开有圆槽，主体一侧开有侧门，圆槽通过侧门联通主体外侧，侧门位置插装有一门板，主体上端盖有一压盖；所述主体的圆槽底部设置有若干腰形通孔，所述主体中间设置有一空心立柱，所述压盖上面也设有若干腰形通孔，压盖中间开有一个上圆孔，空心立柱安装在圆槽中间底部，圆槽的底部中间还开有一下圆孔，下圆孔与空心立柱的中心孔下端相联通，压盖的上圆孔与空心立柱的上圆孔相联通；所述主体的半径是125mm，主体的高度是150mm；所述腰形孔是直径为6mm且长度为20mm，所述侧门宽度161mm；所述主体和空心立柱采用石墨一体加工成型；压盖和门板也分别采用石墨制作成型；所述压盖一侧对应侧门位置设置有一缺口，且压盖下端一周设计有上环形台阶，上环形台阶卡在主体的圆槽口部上面；所述主体的下端一周也设计有用来堆叠使用的下环形台阶，下环形台阶卡在下方的主体的圆槽口部上面。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，所述的压盖以及主体的圆槽底部上的若干腰形孔以扇形45°均布
3.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，所述的空心立柱设计为圆柱体，直径为30mm，空心立柱的中心孔内径为12mm，空心立柱上端设计有螺纹孔。
4.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，所述的空心立柱设计为锥形柱体，锥形柱体的上端直径为30mm，锥形柱体的根部直径为55.58mm，空心立柱的中心孔内径为12mm，空心立柱上端设计有螺纹孔。
5.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，所述的门板两边靠近内侧设置有三角状竖边，竖边的外侧面与圆槽的内壁相贴合。
6.根据权利要求3或4所述的一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，所述的石墨坩锅还包括吊装用的吊环，吊环下端穿过压盖的上圆孔后旋转安装在空心立柱的螺纹孔内。
7.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，所述的主体的一周设计若干竖向腰形孔，竖向腰形孔内侧联通圆槽，竖向腰形孔的外侧联通主体的外周面。
8.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，所述的圆槽的底部上面设置有四道加强筋，四道加强筋交叉设计在圆槽底部上面。
9.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，所述的石墨坩埚用于氮化硅陶瓷球热等静压烧结时，将φ20mm以下规格的氮化硅球坯均匀的放入7个石墨坩埚内，通过堆叠的方式将7个坩埚放好，顶部盖上相对应的压盖，通过吊环将堆叠好的石墨坩埚依次吊入热等静压炉腔内，输入程序段后开始烧结。
...【技术特征摘要】
1.一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，它包括主体、压盖和门板，主体设计呈圆柱体，上端中间开有圆槽，主体一侧开有侧门，圆槽通过侧门联通主体外侧，侧门位置插装有一门板，主体上端盖有一压盖；所述主体的圆槽底部设置有若干腰形通孔，所述主体中间设置有一空心立柱，所述压盖上面也设有若干腰形通孔，压盖中间开有一个上圆孔，空心立柱安装在圆槽中间底部，圆槽的底部中间还开有一下圆孔，下圆孔与空心立柱的中心孔下端相联通，压盖的上圆孔与空心立柱的上圆孔相联通；所述主体的半径是125mm，主体的高度是150mm；所述腰形孔是直径为6mm且长度为20mm，所述侧门宽度161mm；所述主体和空心立柱采用石墨一体加工成型；压盖和门板也分别采用石墨制作成型；所述压盖一侧对应侧门位置设置有一缺口，且压盖下端一周设计有上环形台阶，上环形台阶卡在主体的圆槽口部上面；所述主体的下端一周也设计有用来堆叠使用的下环形台阶，下环形台阶卡在下方的主体的圆槽口部上面。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，所述的压盖以及主体的圆槽底部上的若干腰形孔以扇形45°均布。
3.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷球热等静压工序的石墨坩埚，其特征在于，所述的空心立柱设计为圆柱体，直径为30mm，空心立柱的中心孔内径为12mm，空心立柱上端设计有螺纹孔。
4.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：沙小建，施波，王嵘，吴汉凯，王琪，徐智成，
申请(专利权)人：江苏星业精密滚子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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