【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材制备领域，尤其是涉及一种铜靶材制坯用空气抽离装置。
技术介绍
1、铜及铜合金靶材在制坯时需要用到冷等静压成型工艺，在该成型工艺中，需要将铜粉放入包套内，并对包套内的空气进行抽离。空气的抽离程度对靶材坯体的冷等静压成型具有较大的影响，包套内存留的空气越多，则压力在坯体内传递的阻力就越大，导致坯体致密度降低。此外，泄压时包套内的空气还会剧烈膨胀，导致包套开裂。因此包套内的空气需要抽离得越多越好。
2、目前存在的问题是，由于铜粉的粒径大多为微米级，抽空气时，少部分铜粉也会被真空泵抽走，并对真空泵的运动部件造成磨损。如果在抽气口处加装过滤网，则过滤网很快就会被铜粉堵塞。
技术实现思路
1、为了克服
技术介绍
中的不足，本技术公开了一种铜靶材制坯用空气抽离装置，采用如下技术方案：
2、一种铜靶材制坯用空气抽离装置，包括真空泵和抽气软管，在抽气软管上安装有静电除尘过滤器；所述静电除尘过滤器包括同轴设置的内环体、外环体和绝缘密封环，在内环体上设有带电的内集尘环板，在外环体上设有带电的外集尘环板，在内集尘环板与外集尘环板之间设有迷宫形的空气流通通道。
3、进一步地改进技术方案，在内环体上设有出气管，在外环体上设有进气管，出气管和进气管分别连通在空气流通通道的两端。
4、进一步地改进技术方案，在内集尘环板上加载有正电荷，在外集尘环板上加载有负电荷。
5、进一步地改进技术方案，所述出气管的进气口设在管壁上。
6、进一步地
7、由于采用上述技术方案，相比
技术介绍
，本技术具有如下有益效果：
8、本空气抽离装置在抽气软管上安装有静电除尘过滤器，静电除尘过滤器具有内集尘环板和外集尘环板，在内集尘环板与外集尘环板之间形成了迷宫形的空气流通通道和电场。抽气时受迷宫形电场的作用，气流多次折向运动，一是降低了气流的流速，并使部分铜粉因惯性碰壁而被内外集尘环板捕获；二是增大了电场的作用面积，使铜粉更容易被内外集尘环板捕获，增强了除尘效果。
9、本空气抽离装置能够清除掉抽气中的铜粉，防止真空泵发生磨损。
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1.一种铜靶材制坯用空气抽离装置，包括真空泵和抽气软管，其特征是：在抽气软管上安装有静电除尘过滤器；所述静电除尘过滤器包括同轴设置的内环体、外环体和绝缘密封环，在内环体上设有带电的内集尘环板，在外环体上设有带电的外集尘环板，在内集尘环板与外集尘环板之间设有迷宫形的空气流通通道。
2.如权利要求1所述的一种铜靶材制坯用空气抽离装置，其特征是：在内环体上设有出气管，在外环体上设有进气管，出气管和进气管分别连通在空气流通通道的两端。
3.如权利要求1所述的一种铜靶材制坯用空气抽离装置，其特征是：在内集尘环板上加载有正电荷，在外集尘环板上加载有负电荷。
4.如权利要求2所述的一种铜靶材制坯用空气抽离装置，其特征是：所述出气管的进气口设在管壁上。
5.如权利要求1所述的一种铜靶材制坯用空气抽离装置，其特征是：所述内集尘环板由锥面板和环状板组成，其中，锥面板位于环状板的下部。
【技术特征摘要】
1.一种铜靶材制坯用空气抽离装置，包括真空泵和抽气软管，其特征是：在抽气软管上安装有静电除尘过滤器；所述静电除尘过滤器包括同轴设置的内环体、外环体和绝缘密封环，在内环体上设有带电的内集尘环板，在外环体上设有带电的外集尘环板，在内集尘环板与外集尘环板之间设有迷宫形的空气流通通道。
2.如权利要求1所述的一种铜靶材制坯用空气抽离装置，其特征是：在内环体上设有出气管，在外环体上设有进气管，出气管和进气管...
【专利技术属性】
技术研发人员：王德建，邓锐，李德华，
申请(专利权)人：洛阳汇晶新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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