【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工，尤其涉及一种转动清洗设备用集液装置及转动清洗设备。
技术介绍
1、晶圆是指制作半导体电路所用的硅晶片，外形为规则圆柱体，其原始材料为硅。晶圆是半导体集成电路制作中最关键的原材料之一，晶圆在制造过程中，需要进行清洗以冲刷到表面的粉尘或颗粒，从而避免对其内部的电路造成破坏。传统的清洗设备在对晶圆进行清洗时，晶圆放置在转动轴顶部的承托盘上，由承托盘带动晶圆转动，同时晶圆上方和下方的喷头喷洒清洗液对晶圆进行清洗，清洗后的废液很容易进入清洗设备内部的零件中，对设备内部的环境造成污染，从而影响清洗设备的使用寿命。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种转动清洗设备用集液装置及转动清洗设备，能够收集清洗废液，并具有良好的防水密封效果。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、本技术提供一种转动清洗设备用集液装置，包括：
4、环形盛液槽，所述环形盛液槽沿轴向套设在转动轴上且位于待清洗的工件下方，所述转动轴能够相对于所述环形盛液槽转动，所述环形盛液槽用于收集清洗废液，所述环形盛液槽的底面上开设有排液口；
5、环形顶板，所述环形顶板套设在所述转动轴上，所述环形顶板的外缘与所述环形盛液槽的内圈挡板连接，所述环形顶板的内缘与所述转动轴转动配合；
6、迷宫密封结构，所述迷宫密封结构设置在所述环形顶板和所述转动轴之间。
7、作为优选地，所述环形顶板的上端面为从内缘向外缘倾斜的斜面。
8、作为优选
9、作为优选地，所述迷宫密封结构包括第一环形竖板和第二环形竖板，所述第一环形竖板设置在所述环形顶板的上端面上，所述第二环形竖板设置在所述转动轴顶端的承托盘上，所述第一环形竖板和所述承托盘之间形成第一间隙，所述第二环形竖板和所述环形顶板的上端面之间形成第二间隙，所述第一环形竖板和所述第二环形竖板之间形成第三间隙，所述第一间隙、所述第二间隙以及所述第三间隙组成密封通道。
10、作为优选地，所述转动清洗设备用集液装置还包括环形挡水板，所述环形挡水板轴向位置可调地设置在所述环形盛液槽的外圈挡板上。
11、作为优选地，所述环形顶板的外缘和所述环形盛液槽的内圈挡板之间设置有密封圈。
12、作为优选地，所述环形顶板与所述环形盛液槽的内圈挡板可拆卸连接。
13、作为优选地，所述环形盛液槽的内圈挡板与转动轴之间存在隔液空腔。
14、作为优选地，所述环形盛液槽的底面上的排液口均匀开设有多个。
15、转动清洗设备，包括上述转动清洗设备用集液装置，还包括转动轴。
16、本技术的有益效果在于：
17、本技术提供的转动清洗设备用集液装置，通过转动轴带动工件旋转并进行清洗作业，由于环形盛液槽沿轴向套设在转动轴上且位于待清洗的工件下方，因此环形盛液槽能够收集清洗过程中飞溅出来的清洗废液；由于环形盛液槽的底面上开设有排液口，因此环形盛液槽能够将收集到的清洗废液排出槽外，便于工作人员清洁；由于环形顶板套设在转动轴上且环形顶板的外缘连接在环形盛液槽的内圈挡板上，并且环形顶板和转动轴之间还设置有迷宫密封结构，因此环形顶板能够有效防止清洗废液流入内圈挡板和转动轴之间的空隙中，从而避免影响转动轴下方轴承的润滑，具有良好的防水密封效果，降低了转动清洗设备的故障率、提高了其使用寿命。
18、本技术提供的转动清洗设备，采用上述转动清洗设备用集液装置，能够在清洗工件的同时对清洗废液进行集中收集和排放，并且该转动清洗设备能够有效保护转动轴下方的轴承，具有良好的防水密封效果。
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1.转动清洗设备用集液装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的转动清洗设备用集液装置，其特征在于，所述环形顶板(2)的上端面为从内缘向外缘倾斜的斜面。
3.根据权利要求1所述的转动清洗设备用集液装置，其特征在于，所述转动清洗设备用集液装置还包括液位检测器(4)，所述液位检测器(4)设置在所述环形盛液槽(1)中，所述液位检测器(4)能够发出警报。
4.根据权利要求1所述的转动清洗设备用集液装置，其特征在于，所述迷宫密封结构(3)包括第一环形竖板(31)和第二环形竖板(32)，所述第一环形竖板(31)设置在所述环形顶板(2)的上端面上，所述第二环形竖板(32)设置在所述转动轴(100)顶端的承托盘上，所述第一环形竖板(31)和所述承托盘之间形成第一间隙(33)，所述第二环形竖板(32)和所述环形顶板(2)的上端面之间形成第二间隙(34)，所述第一环形竖板(31)和所述第二环形竖板(32)之间形成第三间隙(35)，所述第一间隙(33)、所述第二间隙(34)以及所述第三间隙(35)组成密封通道。
5.根据权利要求1所述的转动清洗设
6.根据权利要求1所述的转动清洗设备用集液装置，其特征在于，所述环形顶板(2)的外缘和所述环形盛液槽(1)的内圈挡板(12)之间设置有密封圈。
7.根据权利要求6所述的转动清洗设备用集液装置，其特征在于，所述环形顶板(2)与所述环形盛液槽(1)的所述内圈挡板(12)可拆卸连接。
8.根据权利要求1所述的转动清洗设备用集液装置，其特征在于，所述环形盛液槽(1)的内圈挡板(12)与转动轴(100)之间存在隔液空腔(6)。
9.根据权利要求1所述的转动清洗设备用集液装置，其特征在于，所述环形盛液槽(1)的底面上的排液口(11)均匀开设有多个。
10.转动清洗设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的转动清洗设备用集液装置，还包括所述转动轴(100)。
...【技术特征摘要】
1.转动清洗设备用集液装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的转动清洗设备用集液装置，其特征在于，所述环形顶板(2)的上端面为从内缘向外缘倾斜的斜面。
3.根据权利要求1所述的转动清洗设备用集液装置，其特征在于，所述转动清洗设备用集液装置还包括液位检测器(4)，所述液位检测器(4)设置在所述环形盛液槽(1)中，所述液位检测器(4)能够发出警报。
4.根据权利要求1所述的转动清洗设备用集液装置，其特征在于，所述迷宫密封结构(3)包括第一环形竖板(31)和第二环形竖板(32)，所述第一环形竖板(31)设置在所述环形顶板(2)的上端面上，所述第二环形竖板(32)设置在所述转动轴(100)顶端的承托盘上，所述第一环形竖板(31)和所述承托盘之间形成第一间隙(33)，所述第二环形竖板(32)和所述环形顶板(2)的上端面之间形成第二间隙(34)，所述第一环形竖板(31)和所述第二环形竖板(32)之间形成第三间隙(35)，所述第一间隙(33)、所述第二间隙(34)以及所述第三间隙(35)组成...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱松，万先进，王冬冬，张怀东，边逸军，
申请(专利权)人：宁波芯丰精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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