【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片生产设备，尤其涉及一种硅片厚度检测机构。
技术介绍
1、目前，硅片在生产时，会使用检测机构测量硅片的厚度，以此保障硅片生产的质量。
2、经检索，授权公开号为cn217585651u的专利，公开了一种硅片厚度测量装置。上述专利的测量装置在使用过程中，由于位移传感器距离硅片较远，导致硅片的厚度检测需要计算，使得测量装置的使用效果不佳，不能满足于硅片的厚度检测应用。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片厚度检测机构。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种硅片厚度检测机构，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑座，支撑座的两侧均转动连接有多个转轮，多个转轮之间传动连接有传送带，所述底座的顶部固定连接有防护壳，防护壳的两侧内壁均固定连接有多个支撑架，支撑架的底部滑动插接有滑动架，滑动架的底部转动连接有万向球，滑动架外壁的底部套接有弹簧，滑动架的顶端固定连接有连接板，连接板的底部固定连接有激光测距仪。
4、进一步的，所述防护壳的两侧内壁均转动连接有多个上橡胶辊，上橡胶辊设置在传送带的上方。
5、进一步的，所述支撑座的顶部卡接有固定座。
6、进一步的，所述固定座顶部的中间部分转动连接有多个下橡胶辊。
7、进一步的，所述固定座顶部的两侧均转动连接有多个支撑轮。
8、进一步的，所述防护壳的一侧转动连接有防护罩。
9、
10、本技术的有益效果为：
11、1.通过在硅片的挤压下使得滑动架在支撑架上滑动，从而带动激光测距仪向上移动，进而通过激光测距仪对支撑架与激光测距仪之间的距离进行测量，于是对硅片的厚度进行检测，提升硅片的检测效果。
12、2.通过下橡胶辊和支撑轮的设置能够对硅片进行支撑，提升硅片传送的稳定性。
13、3.通过限位板的设置能够对硅片的传送进行限位，从而防止硅片从传送带上掉落。
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1.一种硅片厚度检测机构，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶部固定连接有支撑座(2)，支撑座(2)的两侧均转动连接有多个转轮(3)，多个转轮(3)之间传动连接有传送带(4)，所述底座(1)的顶部固定连接有防护壳(5)，防护壳(5)的两侧内壁均固定连接有多个支撑架(6)，支撑架(6)的底部滑动插接有滑动架(7)，滑动架(7)的底部转动连接有万向球(8)，滑动架(7)外壁的底部套接有弹簧(9)，滑动架(7)的顶端固定连接有连接板(10)，连接板(10)的底部固定连接有激光测距仪(11)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片厚度检测机构，其特征在于，所述防护壳(5)的两侧内壁均转动连接有多个上橡胶辊(12)，上橡胶辊(12)设置在传送带(4)的上方。
3.根据权利要求1所述的一种硅片厚度检测机构，其特征在于，所述支撑座(2)的顶部卡接有固定座(13)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片厚度检测机构，其特征在于，所述固定座(13)顶部的中间部分转动连接有多个下橡胶辊(14)。
5.根据权利要求4所述的一种硅片厚度检测机构，其特征在
6.根据权利要求1所述的一种硅片厚度检测机构，其特征在于，所述防护壳(5)的一侧转动连接有防护罩(16)。
7.根据权利要求6所述的一种硅片厚度检测机构，其特征在于，所述防护罩(16)底部的两侧均固定连接有限位板(15)。
...【技术特征摘要】
1.一种硅片厚度检测机构，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶部固定连接有支撑座(2)，支撑座(2)的两侧均转动连接有多个转轮(3)，多个转轮(3)之间传动连接有传送带(4)，所述底座(1)的顶部固定连接有防护壳(5)，防护壳(5)的两侧内壁均固定连接有多个支撑架(6)，支撑架(6)的底部滑动插接有滑动架(7)，滑动架(7)的底部转动连接有万向球(8)，滑动架(7)外壁的底部套接有弹簧(9)，滑动架(7)的顶端固定连接有连接板(10)，连接板(10)的底部固定连接有激光测距仪(11)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片厚度检测机构，其特征在于，所述防护壳(5)的两侧内壁均转动连接有多个上橡胶辊(12)，上橡胶辊(12)设置在...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈川南，周裕吉，
申请(专利权)人：无锡京运通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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