System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种TOPCon电池制备过程中的PL表征结构制造技术_技高网

一种TOPCon电池制备过程中的PL表征结构制造技术

技术编号:40161719 阅读:9 留言:0更新日期:2024-01-26 23:35
本发明专利技术公开了一种TOPCon电池制备过程中的PL表征结构,包括检测箱,所述检测箱上连接有自动化基座,且自动化基座上设置有硅片;所述检测箱上固定安装有控制器,且控制器电性连接有位置感应器、相机控制器、中波长光源控制器和长波长光源控制器,所述中波长光源控制器连接有中波长激光器,长波长光源控制器连接有长波长激光器;所述相机控制器连接有相机,且相机控制器和相机之间连接有信号转换器。该发明专利技术光源模式解决了TOPCon结构电池中,因隧穿层、多晶硅层等影响,制程中的PL与电池EL成像不一致的现状,可直观的表现出TOPCon电池表面/整体的情况,可一次性生成两张或两张以上的图片,硅片正面/背面和整体的情况,对硅片/电池片进行全方位检测,方便技术人员更好的分析。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶硅电池,具体为一种topcon电池制备过程中的pl表征结构。


技术介绍

1、市面上所采用的常规的光致发光(pl)设备只能表征整体pl情况,无法直接表征表面实际状况的现象。

2、随着topcon的快速量产和技术升级,topcon制程中隧穿性能、多晶硅钝化性能在后续高温制程中可进行大面积钝化修复,受此影响,很多时候现有的pl表征出来的图像与实际电池el图像存在较大的偏差,甚至是无法表征晶硅电池的实际情况。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种topcon电池制备过程中的pl表征结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种topcon电池制备过程中的pl表征结构,包括检测箱,所述检测箱上连接有自动化基座,且自动化基座上设置有硅片;

3、所述检测箱上固定安装有控制器,且控制器电性连接有位置感应器、相机控制器、中波长光源控制器和长波长光源控制器,所述中波长光源控制器连接有中波长激光器,长波长光源控制器连接有长波长激光器;

4、所述相机控制器连接有相机,且相机控制器和相机之间连接有信号转换器。

5、优选的,所述检测箱为金属材质,检测箱内外涂有0.5-1mm的吸波涂层。

6、优选的,所述控制器电性连接有控制电脑。

7、优选的,所述自动化基座包括两个步进电机和传动套接在两个步进电机输出端上的皮带,且硅片放置在皮带上。

8、优选的,所述相机为铟镓砷或硅ccd相机。

9、优选的,所述位置感应器为光电传感器。

10、优选的,所述位置感应器、相机控制器、中波长光源控制器、中波长激光器、信号转换器、相机、长波长光源控制器和长波长激光器均安装在检测箱上。

11、与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:

12、1、本专利技术与传统的pl相机相比,其光源模式解决了topcon结构电池中,因隧穿层、多晶硅层等影响,pl与el成像不一致的现状,可直观的表现出topcon电池表面/整体的情况;

13、2、本专利技术与传统的pl相机相比,可一次性生成两张或两张以上的图片,硅片正面/背面和整体的情况,对硅片/电池片进行全方位检测,方便技术人员更好的分析。

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【技术保护点】

1.一种TOPCon电池制备过程中的PL表征结构,包括检测箱(1),其特征在于:所述检测箱(1)上连接有自动化基座(4),且自动化基座(4)上设置有硅片(5);

2.根据权利要求1所述的一种TOPCon电池制备过程中的PL表征结构,其特征在于:所述检测箱(1)为金属材质,检测箱(1)内外涂有0.5-1mm的吸波涂层。

3.根据权利要求1所述的一种TOPCon电池制备过程中的PL表征结构,其特征在于:所述控制器(2)电性连接有控制电脑(13)。

4.根据权利要求1所述的一种TOPCon电池制备过程中的PL表征结构,其特征在于:所述自动化基座(4)包括两个步进电机和传动套接在两个步进电机输出端上的皮带,且硅片(5)放置在皮带上。

5.根据权利要求1所述的一种TOPCon电池制备过程中的PL表征结构,其特征在于:所述相机(10)为铟镓砷或硅CCD相机。

6.根据权利要求1所述的一种TOPCon电池制备过程中的PL表征结构,其特征在于:所述位置感应器(3)为光电传感器。

7.根据权利要求1所述的一种TOPCon电池制备过程中的PL表征结构,其特征在于:所述位置感应器(3)、相机控制器(6)、中波长光源控制器(7)、中波长激光器(8)、信号转换器(9)、相机(10)、长波长光源控制器(11)和长波长激光器(12)均安装在检测箱(1)上。

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【技术特征摘要】

1.一种topcon电池制备过程中的pl表征结构,包括检测箱(1),其特征在于:所述检测箱(1)上连接有自动化基座(4),且自动化基座(4)上设置有硅片(5);

2.根据权利要求1所述的一种topcon电池制备过程中的pl表征结构,其特征在于:所述检测箱(1)为金属材质,检测箱(1)内外涂有0.5-1mm的吸波涂层。

3.根据权利要求1所述的一种topcon电池制备过程中的pl表征结构,其特征在于:所述控制器(2)电性连接有控制电脑(13)。

4.根据权利要求1所述的一种topcon电池制备过程中的pl表征结构,其特征在于:所述自动化基座(4)包括两个步进电机和传动...

【专利技术属性】
技术研发人员:周鹏宇
申请(专利权)人:赛勒斯新能源科技苏州有限公司
类型:发明
国别省市:

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