用于半导体晶片的转序装置制造方法及图纸

本技术公开了一种用于半导体晶片的转序装置，它属于转序装置，其通过曲柄摇杆机构和曲柄滑块机构实现吸盘水平与竖直间的转换，结构简单，成本低；采用吸盘避免了晶片的损伤。它主要包括机架，机架上设有减速机组，还包括导向块、从动连杆和驱动连杆，驱动连杆一端与减速机组输出端固定连接，驱动连杆另一端与中间连杆组铰接，导向块转动设于机架上，导向块内滑动设有滑杆，滑杆底端固定设有吸盘支架，吸盘支架上设有吸盘，吸盘与气源连接，从动连杆一端转动连接于机架上，从动连杆另一端与吸盘支架铰接，中间连杆组另一端还与从动连杆铰接。本技术主要用于半导体晶片转序。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种转序装置，具体地说，尤其涉及一种用于半导体晶片的转序装置。

技术介绍

1、半导体晶片在生产过程中需要经过切割、研磨、抛光、清洗、检验等复杂的工艺程序，而很多情况下这些工艺并非连续的，上一步工序需要将晶片水平放置，而下一步工序可能需要将晶片竖直放置，因此需要用到转序设备。现有半导体晶片的转序设备有机械手式、传送带式等，但用于实际生产中均出现各类问题，如公布号为cn116313991a的一种晶圆翻转装置，机械手式结构复杂、成本较高，精度受环境以及其他设备影响较大；传送带式出现晶片滑移、定位不准确、损坏问题等。

技术实现思路

1、本技术的目的，在于提供一种用于半导体晶片的转序装置，其通过曲柄摇杆机构和曲柄滑块机构实现吸盘水平与竖直间的转换，结构简单，成本低；采用吸盘避免了晶片的损伤。

2、本技术是通过以下技术方案实现的：

3、一种用于半导体晶片的转序装置，包括机架，机架上设有减速机组，还包括导向块、从动连杆和驱动连杆，驱动连杆一端与减速机组输出端固定连接，驱动连杆另一端与中间连杆组铰接，导向块转动设于机架上，导向块内滑动设有滑杆，滑杆底端固定设有吸盘支架，吸盘支架上设有吸盘，吸盘与气源连接，从动连杆一端转动连接于机架上，从动连杆另一端与吸盘支架铰接，中间连杆组另一端还与从动连杆铰接。

4、进一步地，所述的减速机组包括电机和直角减速箱，电机的输出轴通过联轴器与直角减速箱的输入端连接。

5、进一步地，所述的机架上设有轴承座ⅰ，轴承座ⅰ通过轴承安装有转轴，转轴端部固定连接导向块。

6、进一步地，所述的机架上设有轴承座ⅱ，轴承座ⅱ通过轴承安装有转轴，转轴端部固定连接从动连杆。

7、进一步地，所述的中间连杆组包括连杆ⅰ和连杆ⅱ，连杆ⅰ和连杆ⅱ通过两个矩形锁紧环紧固，连杆ⅰ和连杆ⅱ的侧端分别设有铰接孔，连杆ⅰ与从动连杆铰接，连杆ⅱ与驱动连杆铰接。

8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

9、1、通过驱动连杆、中间连杆组和从动连杆组成曲柄摇杆机构，从动连杆、导向块、滑杆构成曲柄滑块机构，实现吸盘水平与竖直间的转换，结构简单，成本低。

10、2、采用吸盘吸取晶片，这样有效避免了晶片的损伤。

11、3、从动连杆组由连杆ⅰ、连杆ⅱ和锁紧环组成，从动连杆组的长度可以调节，吸盘可调节多种角度，以适应不同的设备。

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【技术保护点】

1.一种用于半导体晶片的转序装置，包括机架(1)，机架(1)上设有减速机组，其特征在于：还包括导向块(4)、从动连杆(8)和驱动连杆(10)，驱动连杆(10)一端与减速机组输出端连接，驱动连杆(10)另一端与中间连杆组(13)铰接，导向块(4)转动设于机架(1)上，导向块(4)内滑动设有滑杆(5)，滑杆(5)底端设有吸盘支架(6)，吸盘支架(6)上设有吸盘(7)，从动连杆(8)一端转动连接于机架(1)上，从动连杆(8)另一端与吸盘支架(6)铰接，中间连杆组(13)与从动连杆(8)铰接。

2.根据权利要求1所述的用于半导体晶片的转序装置，其特征在于：所述的减速机组包括电机(14)和直角减速箱(11)，电机(14)的输出轴通过联轴器(12)与直角减速箱(11)的输入端连接。

3.根据权利要求1所述的用于半导体晶片的转序装置，其特征在于：所述的机架(1)上设有轴承座Ⅰ(2)，轴承座Ⅰ(2)通过轴承安装有转轴(3)，转轴(3)连接导向块(4)。

4.根据权利要求1所述的用于半导体晶片的转序装置，其特征在于：所述的机架(1)上设有轴承座Ⅱ(9)，轴承座Ⅱ(9)通过轴承安装有转轴(3)，转轴(3)连接从动连杆(8)。

5.根据权利要求1所述的用于半导体晶片的转序装置，其特征在于：所述的中间连杆组(13)包括连杆Ⅰ(15)和连杆Ⅱ(16)，连杆Ⅰ(15)和连杆Ⅱ(16)通过两个矩形锁紧环(17)紧固，连杆Ⅰ(15)和连杆Ⅱ(16)的侧端分别设有铰接孔，连杆Ⅰ(15)与从动连杆(8)铰接，连杆Ⅱ(16)与驱动连杆(10)铰接。

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【技术特征摘要】

1.一种用于半导体晶片的转序装置，包括机架(1)，机架(1)上设有减速机组，其特征在于：还包括导向块(4)、从动连杆(8)和驱动连杆(10)，驱动连杆(10)一端与减速机组输出端连接，驱动连杆(10)另一端与中间连杆组(13)铰接，导向块(4)转动设于机架(1)上，导向块(4)内滑动设有滑杆(5)，滑杆(5)底端设有吸盘支架(6)，吸盘支架(6)上设有吸盘(7)，从动连杆(8)一端转动连接于机架(1)上，从动连杆(8)另一端与吸盘支架(6)铰接，中间连杆组(13)与从动连杆(8)铰接。

2.根据权利要求1所述的用于半导体晶片的转序装置，其特征在于：所述的减速机组包括电机(14)和直角减速箱(11)，电机(14)的输出轴通过联轴器(12)与直角减速箱(11)的输入端连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏继良，崔秀君，王清玉，王杨，
申请(专利权)人：青岛融合装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：