【技术实现步骤摘要】
本申请涉及一种喷嘴，尤其涉及一种应用在晶圆盒或光罩盒的喷嘴。
技术介绍
1、晶圆盒或光罩盒能够通过设置在一机台的多个喷嘴上，以进行其内部的气体交换，进而晶圆盒或光罩盒内充满相对稳定的气体。其中，当机台对晶圆盒或光罩盒进行气体交换时，如何避免气体由喷嘴向外泄漏，此已成为现有喷嘴最终要的结构改良课题之一。
2、于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本专利技术。
技术实现思路
1、本申请实施例在于提供一种喷嘴，其能有效地改善现有喷嘴所可能产生的缺陷。
2、本申请实施例公开一种喷嘴，其包括：一承载段，具有分别位于相反侧的一顶侧与一底侧；一安装段，自承载段的底侧延伸所形成；以及一圆台段，自承载段的顶侧朝远离安装段的方向渐缩地延伸所形成；其中，圆台段定义有一中心轴线，并且圆台段的环侧面与垂直中心轴线的一平面相夹有介于35度～70度的一夹角；其中，圆台段、承载段、及安装段共同形成有沿中心轴线呈贯穿状的一气流通道。
3、可选地，喷嘴进一步包含有形成于顶侧且围绕圆台段的一环形凸肋，并且环形凸肋的外缘切齐承载段的外缘；其中，在平行中心轴线的方向上，圆台段的高度为环形凸肋的高度的2～6倍。
4、可选地，环形凸肋的宽度为承载段的外缘与中心轴线之间的一半径的5％～18％。
5、可选地，喷嘴进一步包含有形成于顶侧且围绕圆台段的多个环形凸肋，并且多个环形凸肋彼此间隔设置且其中心皆
6、可选地，圆台段与相邻的环形凸肋之间的距离小于相邻的任两个环形凸肋之间的距离。
7、可选地，喷嘴进一步包含有形成于顶侧且围绕圆台段的一环形突起，并且环形突起的顶缘凹设形成有一环形沟槽；其中，在平行中心轴线的方向上，圆台段的高度为环形突起的高度的2～6倍。
8、可选地，环形沟槽的槽宽朝远离环形突起的顶缘的方向呈渐缩状，并且环形沟槽的深度未达承载段的顶侧。
9、可选地，环形沟槽的槽宽朝远离环形突起的顶缘的方向呈等宽状，并且环形沟槽的深度未达承载段的顶侧。
10、可选地，环形突起的中心与环形沟槽的中心皆落在中心轴线；其中，在环形突起的顶缘上，环形沟槽的最大半径与最小半径的比值是介于1.1～1.5之间。
11、可选地，安装段自其外表面凹设形成有一外环嵌槽，用以安装于一机台。
12、可选地，安装段自其内表面凹设形成有连通于气流通道的一内环嵌槽，用以安装于一机台。
13、可选地，内环嵌槽包含有自远离圆台段的安装段底缘依序凹设形成的一第一槽体与一第二槽体，第一槽体的一第一半径小于第二槽体的一第二半径，并且圆台段的环侧面的一最大半径介于第一半径与第二半径之间。
14、可选地，喷嘴是由一高分子材料所制成的单件式构造，并且喷嘴的箫氏硬度是介于18～22。
15、可选地，高分子材料为硅胶，并且夹角进一步限定为介于45度～60度。
16、可选地，喷嘴的表面形成有一涂层，并且涂层的材质是聚对二甲苯。
17、可选地，喷嘴的圆台段能用来嵌入一晶圆盒或一光罩盒的一气孔之内，使圆台段的环侧面紧密地抵顶于围绕气孔的一内壁。
18、综上所述，本专利技术实施例所公开的喷嘴，其能以具有特定结构条件(如：所述夹角介于35度～70度)的圆台段嵌入一晶圆盒或光罩盒的气孔之内，以使圆台段的环侧面能够紧密地抵顶于围绕气孔的内壁，进而更为有效地避免气体由喷嘴向外泄漏，从而提升喷嘴与晶圆盒或光罩盒之间的气密效果。
19、为能更进一步了解本申请的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本申请的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本申请，而非对本申请的保护范围作任何的限制。
【技术保护点】
1.一种喷嘴，其特征在于，所述喷嘴包括：
2.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴进一步包含有形成于所述顶侧且围绕所述圆台段的一环形凸肋，并且所述环形凸肋的外缘切齐所述承载段的外缘；其中，在平行所述中心轴线的方向上，所述圆台段的高度为所述环形凸肋的高度的2～6倍。
3.依据权利要求2所述的喷嘴，其特征在于，所述环形凸肋的宽度为所述承载段的所述外缘与所述中心轴线之间的一半径的5％～18％。
4.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴进一步包含有形成于所述顶侧且围绕所述圆台段的多个环形凸肋，并且多个所述环形凸肋彼此间隔设置且其中心皆落在所述中心轴线；其中，在平行所述中心轴线的方向上，所述圆台段的高度为任一个所述环形凸肋的高度的2～6倍。
5.依据权利要求4所述的喷嘴，其特征在于，所述圆台段与相邻的所述环形凸肋之间的距离小于相邻的任两个所述环形凸肋之间的距离。
6.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴进一步包含有形成于所述顶侧且围绕所述圆台段的一环形突起，并且所述环形突起的顶缘凹设形成有一环形沟槽；
7.依据权利要求6所述的喷嘴，其特征在于，所述环形沟槽的槽宽朝远离所述环形突起的所述顶缘的方向呈渐缩状，并且所述环形沟槽的深度未达所述承载段的所述顶侧。
8.依据权利要求6所述的喷嘴，其特征在于，所述环形沟槽的槽宽朝远离所述环形突起的所述顶缘的方向呈等宽状，并且所述环形沟槽的深度未达所述承载段的所述顶侧。
9.依据权利要求6所述的喷嘴，其特征在于，所述环形突起的中心与所述环形沟槽的中心皆落在所述中心轴线；其中，在所述环形突起的所述顶缘上，所述环形沟槽的最大半径与最小半径的比值是介于1.1～1.5之间。
10.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述安装段自其外表面凹设形成有一外环嵌槽，用以安装于一机台。
11.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述安装段自其内表面凹设形成有连通于所述气流通道的一内环嵌槽，用以安装于一机台。
12.依据权利要求11所述的喷嘴，其特征在于，所述内环嵌槽包含有自远离所述圆台段的所述安装段底缘依序凹设形成的一第一槽体与一第二槽体，所述第一槽体的一第一半径小于所述第二槽体的一第二半径，并且所述圆台段的所述环侧面的一最大半径介于所述第一半径与所述第二半径之间。
13.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴是由一高分子材料所制成的单件式构造，并且所述喷嘴的箫氏硬度是介于18～22。
14.依据权利要求13所述的喷嘴，其特征在于，所述高分子材料为硅胶，并且所述夹角进一步限定为介于45度～60度。
15.依据权利要求13所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴的表面形成有一涂层，并且所述涂层的材质是聚对二甲苯。
16.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴的所述圆台段能用来嵌入一晶圆盒或一光罩盒的一气孔之内，使所述圆台段的所述环侧面紧密地抵顶于围绕所述气孔的一内壁。
...【技术特征摘要】
1.一种喷嘴，其特征在于，所述喷嘴包括：
2.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴进一步包含有形成于所述顶侧且围绕所述圆台段的一环形凸肋，并且所述环形凸肋的外缘切齐所述承载段的外缘；其中，在平行所述中心轴线的方向上，所述圆台段的高度为所述环形凸肋的高度的2～6倍。
3.依据权利要求2所述的喷嘴，其特征在于，所述环形凸肋的宽度为所述承载段的所述外缘与所述中心轴线之间的一半径的5％～18％。
4.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴进一步包含有形成于所述顶侧且围绕所述圆台段的多个环形凸肋，并且多个所述环形凸肋彼此间隔设置且其中心皆落在所述中心轴线；其中，在平行所述中心轴线的方向上，所述圆台段的高度为任一个所述环形凸肋的高度的2～6倍。
5.依据权利要求4所述的喷嘴，其特征在于，所述圆台段与相邻的所述环形凸肋之间的距离小于相邻的任两个所述环形凸肋之间的距离。
6.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴进一步包含有形成于所述顶侧且围绕所述圆台段的一环形突起，并且所述环形突起的顶缘凹设形成有一环形沟槽；其中，在平行所述中心轴线的方向上，所述圆台段的高度为所述环形突起的高度的2～6倍。
7.依据权利要求6所述的喷嘴，其特征在于，所述环形沟槽的槽宽朝远离所述环形突起的所述顶缘的方向呈渐缩状，并且所述环形沟槽的深度未达所述承载段的所述顶侧。
8.依据权利要求6所述的喷嘴，其特征在于，所述环形沟槽的槽宽朝远离所述环形突起的所述顶缘的方向呈等宽状，...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈勇州，许圣奇，古伊钧，林祺浩，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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