【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及制造业系统，具体涉及一种针对实验批次的制程参数动态管理方法。
技术介绍
1、制造业工厂从生产模式的角度大概可以分为两类，一类属于“代工工厂”这类工厂以生产加工为主，其没有研发环节只是根据外部订单要求进行生产；还有一类属于“自研工厂”这类工厂本身就会有研发环节，在研发过程中就会带来对应“实验批次”，而“实验批次”如何合理的穿插在量产批次中一起生产，既不影响正常出货要求同时又能满足实验要求这就带来了一系列的生产管理问题。
2、实验批次的生产管理最突出的问题就是在实验的不同阶段需要根据当前设备状况、良率信息以及实验目的频繁变更制程参数，这会带来工程师维护工作量变大、生产批次混乱、设备idle情况严重等问题。
3、目前制造业在正常生产过程中，针对试验批次的加工存在以下四大痛点：
4、1、参数频繁变更
5、高端的生产制造往往体现在其复杂的工艺过程中，而工艺制程的实质就是种类繁多的制程参数，它们决定了当前制程的良率和信赖性。针对实验批次在实验过程一定会存在需要“调试”的工作，这种调试体现有两个方面：a.频繁更改工艺站点的参数，b.针对当前制程同一批次需要分批用不同参数来运行后续制程。这类制程参数种类繁多，例如在半导体工厂最具代表性的有：capability（设备加工能力）/recipe（生产配方）/ppid（processparameter id/加工参数）/edc plan（execution data collection plan/执行数据收集计划）等。
6、在
7、制程参数的维护本身也是专业度非常高的工作内容，频繁大量的维护工作必然带来维护上的偏差，由此带来了一些生产事故（报废、破片）从而在经济层面带来损失。
8、2、flow（工艺流程）维护繁琐
9、flow作为工厂生产的工艺脉络，本质上就是生产制造的“灵魂”。flow的制定和维护在大多数工厂都有非常严格的流程管控。更有甚至在一些高端半导体工厂，flow的导入和维护都是由独立部门去负责，整个flow变更流程多达20-30个节点。
10、制程参数是flow/step运行的配方，它们与flow紧密相连。当需要对制程参数进行调整的时候很多场景都避无可避的需要调整flow信息，这就带来“牵一发而动全身”的负面效果，严重影响实验的效率以及增加相关工程师的工作量。
11、3、分合批工作量大
12、实验批次或者量产批次在生产过程中会出现某些批次中少量wafer需要加量或者加测的业务场景；这需要工程师by站点去冻结批次，by批次去设定分批规则以及可能出现设定future action，这极大增加工作量。
13、4、设备稼动无法保障
14、现代制造业工厂用于生产执行的设备越来越高端，一台设备从来都不是只能一个时间点只能加工一个批次。设备复杂度的提高带来的就是设备稼动率的管控颗粒度更加精细，除了管控设备还要管控到设备的子单元。
15、当出现实验批次与量产批次混合加工的时候，如何更加合理精细的划分设备加工能力就成为一个困难的课题。如果只是“一刀切”的方式将整个设备用于实验批次其实是极度不合理的，设备本身已经具备多批次同时加工的能力那么就应该将设备加工能力细分给实验批次和量产批次，在满足实验目的的同时将对量产生产推进的影响降低到最低，始终保持最佳的设备稼动率。为了达到这个目的需要工程师mes功能（ui）来设定，这样的人工设定也会带来工作量的增加（多部门配合成本，设备/生产/制程）。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种针对实验批次的制程参数动态管理方法，解决现有技术中，半导体加工系统在正常加工过程中穿插试验批次的时候需要进行大量参数调整，影响正常加工效率的问题。
2、为解决上述的技术问题，本专利技术采用以下技术方案：
3、一种针对实验批次的制程参数动态管理方法，包括制造执行系统，制程参数动态管理方法包括以下步骤，步骤s1，在制造执行系统内建立用于新增和变更工艺流程的工艺流程管理模块以及用于新增和变更制程参数的制程参数管理模块；步骤s2，在制程参数管理模块新增制程参数时，将若干个制程参数成套形成加工参数包，并且在加工参数包上标记业务标签；步骤s3，加工参数包通过关联的方式与工艺流程上的站点进行关联，每个工艺流程上的站点至少关联有一个加工参数包；步骤s4，制造执行系统在加工时，根据待加工批次的业务标记从工艺流程管理模块内选择一个工艺流程来对批次进行加工；步骤s5,被选中的工艺流程上的站点根据批次的业务标记与加工参数包的业务标签进行匹配；步骤s6，工艺流程按照匹配好的加工参数包对批次进行加工。
4、进一步的技术方案是，工艺流程管理模块内设置有常规工艺流程单元和特殊工艺流程单元，常规工艺流程单元用于新增和变更常规工艺流程，特殊工艺流程单元用于建立特殊工艺流程，并且将特殊工艺流程匹配组装到常规工艺流程上，具体匹配组装步骤为，步骤k1，建立特殊工艺流程，选择需要使用的加工站点，并且按顺序排列出起始站点和结束站点；步骤k2，选择需要匹配组装的常规工艺流程；步骤k3,将步骤k1中的起始站点关联到步骤k2中常规工艺流程的某一个站点后面，以及将步骤k1中的结束站点关联到步骤k2中常规工艺流程的某一个站点后面。
5、更进一步的技术方案是，制造执行系统内设置有用于建立加工订单的订单建立单元，制造执行系统根据建立的加工订单来调用工艺流程管理模块中的常规工艺流程或者由常规工艺流程和特殊工艺流程匹配组装的工艺流程进行加工。
6、更进一步的技术方案是，加工参数包与工艺流程信息绑定之后，就要维护批次身上业务标记。批次身上业务标记信息包含：品质信息以及生产目的信息。业务标记方法包括初始化和维护，初始化是批次投产的时候结合业务规则初始化，维护是在加工过程中结合每个加工站点的实际业务场景更为业务标记。
7、更进一步的技术方案是，加工参数包的业务标签包括实验、工程、量产。
8、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、更加动态和灵活，参数“长在”flow上会出现如果要变更一定会涉及到flow的改动，这样的变动非常繁琐和复杂，独立建立关联关系就意味着这样的关联关系可以随时建立或者删减；2、flow上设定参数意味这flow与每套参数只能是一对一的方式，但是单独管理关联关系就可以支持flow可以配对多套参数，也就是说flow实际用哪套参数是通过加工过程中实际业务场景决定。
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1.一种针对实验批次的制程参数动态管理方法，包括制造执行系统，其特征在于，所述制程参数动态管理方法包括以下步骤，
2.根据权利要求1所述的一种针对实验批次的制程参数动态管理方法，其特征在于：所述工艺流程管理模块内设置有常规工艺流程单元和特殊工艺流程单元，所述常规工艺流程单元用于新增和变更常规工艺流程，所述特殊工艺流程单元用于建立特殊工艺流程，并且将特殊工艺流程匹配组装到常规工艺流程上，具体匹配组装步骤为，
3.根据权利要求2所述的一种针对实验批次的制程参数动态管理方法，其特征在于：所述制造执行系统内设置有用于建立加工订单的订单建立单元，制造执行系统根据建立的加工订单来调用工艺流程管理模块中的常规工艺流程或者由常规工艺流程和特殊工艺流程匹配组装的工艺流程进行加工。
4.根据权利要求1所述的一种针对实验批次的制程参数动态管理方法，其特征在于：加工参数包与工艺流程信息绑定之后，就要维护批次身上业务标记。
5.根据权利要求1所述的一种针对实验批次的制程参数动态管理方法，其特征在于：所述加工参数包的业务标签包括实验、工程、量产。
【技术特征摘要】
1.一种针对实验批次的制程参数动态管理方法，包括制造执行系统，其特征在于，所述制程参数动态管理方法包括以下步骤，
2.根据权利要求1所述的一种针对实验批次的制程参数动态管理方法，其特征在于：所述工艺流程管理模块内设置有常规工艺流程单元和特殊工艺流程单元，所述常规工艺流程单元用于新增和变更常规工艺流程，所述特殊工艺流程单元用于建立特殊工艺流程，并且将特殊工艺流程匹配组装到常规工艺流程上，具体匹配组装步骤为，
3.根据权利要求2所述的一种针对实验批次的制程参数动态管...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊，黄海，曹少威，廖广安，
申请(专利权)人：成都芯极客科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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