一种光纤到户用单纤三向复用器芯片制造技术

光纤到户用单纤三向复用器芯片，由非对称Ｙ分支波导和多模干涉型耦合器（ＭＭＩ）级联形成，所述的非对称Ｙ分支波导的左分支的表面刻蚀有空气槽，所述的空气槽位于左分支的芯层与衬底之间；所述的非对称Ｙ分支波导的右分支为对称结构波导。本发明专利技术具有器件结构紧凑，可以实现多种光电集成，适合大批量生产，成本低的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光纤到户(FTTH)
，公开了一种光纤到户用单纤三向复用器 芯片(Triplexer)。
技术介绍
随着近几年来宽带接入网的迅速发展，宽带化成为接入网发展的最显著特征。视 频点播、IPTV(网络电视)和网络游戏等高带宽业务逐渐被电信运营商和广电运营商视 为新的业务增长点，用户对接入宽带的需求不断增长，现有的以ADSL(非对称数字用户环 路)为主的宽带接入方式已经很难满足用户对高带宽、双向传输能力以及安全性等方面的 要求。面对这一困境，各国电信运营商把关注的目光投向了光纤到户——FTTH (Fiber To The Home)。FTTH的技术特点是能提供更大的带宽(100Mbit/S以上的带宽，远优于目前的 ADSL)，增强了网络对数据格式、速率、波长和协议的透明性，放宽了对环境条件和供电等要 求，从而简化了安装和使用维护。FTTH实际应用涉及一个非常重要的核心器件，即单纤三向 复用器芯片，单纤三向复用器芯片的主要功能是对光信号的耦合和波分复用。EP0N和GP0N的技术规范中，采用1310nm、1490nm、1550nm三波长分配方案。其中 1310nm专门用于数据和IP视频信号的上传；1490nm用于语音、数据和IP视频信号的下传； 1550nm用于模拟视频信号下传。通过类似CWDM的方式将此三方向传输复用到一根光纤中， 该技术采用了点对多点传输方式，节省设备投资，局端设备和光纤用量大大减少，系统可靠 性较高。单纤三向传输方案的成本最终决定接入成本的高低。有很多方法和结构可以实现单纤三向复用器，其中基于薄膜滤波片(thin film filter, TFF)的单纤三向复用器已经实现商用，但是薄膜滤波片具有一些固有缺点，如工艺 复杂、不易于封装、耦合损耗大和成本高等缺点。而利用集成光学技术的单纤三向复用器芯 片，目前多集中于基于多模干涉型耦合器(MMI)和基于阵列波导光栅(AWG)两大类，具有 耦合损耗低，结构紧凑以及易于大规模集成的优点。其中MMI又具有偏振损耗低、加工容差 大等优点，但是由于利用传统的自映像现象和波分复用原理设计，器件的长度很大，不够紧 凑。与本专利技术最接近的现有技术是采用两个级联的Y分支分束器构成的单纤三 向复用器芯片(Mohamed H. Al-Gafy and Diaa Khalil, FTTHTriplexer Design Using Asymmetric Y-Junction With Etched Branch, IEEEPhotonics Technology Letters, vol. 19，No. 15，ppll57-1159，2007)，然而这种结构中，器件尺寸大，加工成本高，并且器件隔离度较小。
技术实现思路
针对已有技术器件尺寸大，加工成本高，并且器件隔离度较小的不足，本专利技术提供 一种新型单纤三向复用器芯片，具有结构紧凑、成本低、插入损耗低、器件隔离度大等优点。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的光纤到户用单纤三向复用器芯片，由非对称Y分支波导和多模干涉型耦合器 (MMI)级联形成，其特征在于所述的非对称Y分支波导的左分支的表面刻蚀有空气槽，所 述的空气槽位于左分支的芯层与衬底之间；所述的非对称Y分支波导的右分支为对称结构 波导。进一步，所述的非对称Y分支波导的左分支的芯层与第一输出波导连接，所述的 第一输出波导为S型弯曲波导。第一输出波导的输出端为P0RT1。进一步，所述的非对称Y分支波导的右分支级联所述的匪I的输入波导，所述的 输入波导与所述的MMI的多模区波导通过锥形结构波导连接；所述的多模区波导的两个输 出端口分别与第二、第三输出波导连接，所述的输出端口与所述的输出波导通过锥形结构 波导连接；所述的输出波导为S形弯曲波导；多模干涉型耦合器的宽度为8. 4i!m，长度为 4462. liim。第二输出波导的输出端口为P0RT2，第三输出波导的输出端口为P0RT3。进一步，所述的非对称Y分支波导的总长度为12000 ym，左分支与右分支之间的 夹角为1.3mrad。进一步，所述的非对称Y分支波导、输入波导和输出波导均采用掩埋型玻璃基波 导，所述的玻璃基波导的芯层折射率为n。= 1.51，包层折射率ns= 1.46。进一步，所述的非对称Y分支波导、输入波导和输出波导的高度均为l.Sym;所述 的非对称Y分支波导的左分支的宽度为2 u m,右分支的宽度为1. 36 u m,空气槽的宽度等于 2 li m。进一步，所述的光纤到户用单纤三向复用器芯片的宽度是39.88 ym，总长度是 17562. liim。本专利技术通过在Y分支波导的左分支表面刻蚀空气槽来实现非对称Y分支结构，使 得两分支的色散曲线斜率不同，以实现不同波长的光相互分离。并且制作这种非对称Y分 支波导时，只需要一块掩模板即可，制作过程简单，成本低廉。非对称Y分支波导的左分支加S型波导输出，可以加大P0RT1与P0RT2之间的距 离，有利于封装。在MMI的两个输出端采用S型弯曲波导输出，不但可以快速地将两束光分 开，有效克服第二、第三输出波导之间的耦合作用，也加大了 P0RT2和P0RT3之间的距离。本专利技术与已有技术相比，解决了传统分立式单纤三向复用器体积大、损耗大、隔离 度小等问题，具有器件结构紧凑，可以实现多种光电集成，适合大批量生产，成本低的优点， 是未来实现System-On-Chip (片上系统)的技术方案之一。附图说明图1是本专利技术的结构图。图2a是非对称Y分支波导的左分支的截面示意图。图2b是非对称Y分支波导的右分支的截面示意图。图3是本专利技术单纤三向复用器芯片非对称Y分支结构左右分支波导的色散曲线 图。图4a是束传播法(BPM)分析1310nm光通过本专利技术的非对称Y分支波导的光场传 输图。图4b是束传播法(BPM)分析1490nm光通过本专利技术的非对称Y分支波导的光场传图4c是束传播法(BPM)分析1550nm光通过本专利技术的非对称Y分支波导的光场传图5a是束传播法(BPM)分析1490nm光通过本专利技术的MMI的光场传输图。 图5b是束传播法(BPM)分析1550nm光通过本专利技术的MMI的光场传输图。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术做进一步说明光纤到户用单纤三向复用器芯片，由非对称Y分支波导1和多模干涉型耦合器 2(MMI)级联形成，所述的非对称Y分支波导1的左分11支的表面刻蚀有空气槽111，所述 的空气槽111位于左分支11的芯层112与衬底113之间；所述的非对称Y分支波导1的右 分支12为对称结构波导。所述的非对称Y分支波导1的左分支11的芯层112与第一输出波导3连接，所述 的第一输出波导3为S型弯曲波导。第一输出波导的输出端为P0RT1。所述的非对称Y分支波导1的右分支12级联所述的MMI的输入波导4，所述的输 入波导4与所述的MMI的多模区波导通过锥形结构波导5连接；所述的多模区波导的两个 输出端口分别与第二、第三输出波导6、7连接，所述的输出端口与所述的输出波导6、7通过 锥形结构波导61、71连接；所述的输出波导6、7为S形弯曲波导；多模干涉型耦合器2的宽 度为8. 4 y m,长度为4462. 1 u m。第二输出波导6的输出端口为P0RT2，本文档来自技高网...

【技术保护点】
光纤到户用单纤三向复用器芯片，由非对称Ｙ分支波导和多模干涉型耦合器（ＭＭＩ）级联形成，其特征在于：所述的非对称Ｙ分支波导的左分支的表面刻蚀有空气槽，所述的空气槽位于左分支的芯层与衬底之间；所述的非对称Ｙ分支波导的右分支为对称结构波导。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：乐孜纯，李斌，张明，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]