【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及能够调整内部流路的流体流通的开闭时机的时机调整阀及具备时机调整阀的回吸阀。
技术介绍
1、在例如半导体制造装置的对半导体晶圆供给药液等液体用的管线等之中，为了于停止液体的供给后防止来自管线的末端部的液体渗漏，而使用将管线内的液体予以回吸的回吸阀。回吸阀一般具有一机构，对收纳有活塞的汽缸室内进行驱动流体的供给及排出，使活塞移动，经由与活塞连动的隔膜的弹性变形，使连通于管线的回吸室的容积增减，而回吸管线内的液体(参考例如专利文献1)。如此的回吸阀配置于进行管线内的流体通路的开闭用的开闭阀的下游侧。再者，如专利文献2及专利文献3的记载，亦有进行流体通路的开闭用的开闭阀部与进行流体通路内的液体的回吸用的回吸机构部为一体的回吸阀。
2、当个别控制开闭阀及回吸阀的动作，则经由开闭阀的液体流通的封闭及经由回吸阀的液体回吸的时机会难以配合，控制变得繁复。因此，经常将从切换驱动流体的供给与排放的共通的单一个切换阀分歧的管线予以连接于开闭阀部及回吸机构部，经由单一个切换阀的动作而控制开闭阀部及回吸机构部的动作。
3、经由单一个切换阀使开闭阀部及回吸机构部动作的场合，例如：回吸阀具有阀本体、开闭阀部及回吸机构部，于阀本体形成有含有入口流路及出口流路的流体通路、入口流路所开口的阀室及位在阀室与出口流路之间的回吸室即可。
4、开闭阀部经由对收纳有活塞的汽缸室内进行驱动流体的供给及排出而使活塞移动，使连动于活塞的阀体与阀室中形成于从入口流路开口的周围的阀座接近或远离。于汽缸室内配置有偏置弹簧，偏置弹簧于将阀
5、回吸机构部经由对收纳有活塞的汽缸室内进行驱动流体的供给及排出而使活塞移动，与活塞连动，使面向回吸室的隔膜变形，使回吸室的容积增减。于汽缸室内，于远离回吸室的方向配置有将活塞予以偏置的偏置弹簧。如此构成的回吸机构部中，经由供给驱动流体至汽缸室，汽缸室内的驱动流体的压力所致的力抵抗偏置弹簧的偏置力，使活塞移动而使隔膜朝向回吸室膨出，而成为待机状态。再者，经由从汽缸室排出驱动流体，使偏置弹簧所致的偏置力高于汽缸室内的驱动流体的压力所致的力，于使隔膜从回吸室后退的方向使活塞移动，而使隔膜返回至原本的形状。经由如此伴随隔膜变形的回吸室的容积的增减，而进行流体通路(详细而言为出口流路)内的液体的回吸。
6、在如上述构成的回吸阀中，当驱动流体从切换阀被供给至开闭阀部及回吸机构部的汽缸室，经由开闭阀部使阀体远离阀座而流体通路内的液体的流通开始，同时经由回吸机构部使隔膜朝回吸室内膨出而成为待机状态。另一方面，当开闭阀部及回吸机构部的汽缸室内的驱动流体通过切换阀而被排出，则经由开闭阀部使阀体压接于阀座而流体通路内的液体的流通被封闭，同时经由回吸机构部使隔膜从回吸室后退，回吸室的容积增加，使流体通路(详细而言为出口流路)内的液体被回吸。
7、[现有技术文献]
8、[专利文献]
9、[专利文献1]日本实公平08-010399号公报
10、[专利文献2]日本实开平3-115267号公报
11、[专利文献3]日本特开平11-37327号公报
技术实现思路
1、[专利技术所欲解决的问题]
2、为了进行经由开闭阀部的封闭，如同上述，必须以从开闭阀部排出驱动流体的方式将切换阀予以切换。经由共通的切换阀对开闭阀部及回吸机构部的驱动流体的供给及排出予以切换的场合，当以从开闭阀部排出驱动流体的方式将切换阀予以切换，则同时从回吸机构部的驱动流体的排出也会开始。然而，即使从开闭阀部的驱动流体的排出开始，开闭阀部也不会立即变成闭阀状态，为了让开闭阀部成为闭阀状态，有使开闭阀部的汽缸室内的驱动流体的压力降低至规定的值为止，经由偏置弹簧的偏置力使阀体抵靠于阀座的必要。然而，会有于以开闭阀部使流体的流通封闭之前，经由回吸机构部的回吸动作就开始的情况。此场合，会对朝向回吸阀的下游侧的液体的供给量造成影响，因而对于半导体制造等的必须有液体供给量的精密控制的场合是不合适的。
3、作为于经由开闭阀部的液体的流通的封闭之后使经由回吸机构部的回吸动作开始的变更时机的方法，一般而言是在切换阀与回吸机构部之间配置可变节流阀而将从回吸机构部的驱动流体的排出流量予以调整。然而，进行可变节流阀的调整而使得于经由开闭阀部的液体的流通的封闭之后使经由回吸机构部的回吸动作开始，并非一件容易的事。因此，期望能够无关乎开闭阀部的压力而对回吸机构部供给驱动流体，并同时能够使得在开闭阀部的汽缸室的驱动流体的压力降低至规定值之后使从回吸机构部的驱动流体的排出开始。作为将从回吸机构部的驱动流体的排出的时机予以控制的方法，能够经由引导流体的压力而进行阀的开闭的引导阀的使用也被纳入考虑。然而，一般的引导阀会是在引导流体的压力降低时进行关闭的机构，因而与开闭阀部的驱动流体的压力同步的场合，驱动流体的压力降低时无法使流体的流通开始，引导阀的开闭用的引导流体的控制必须另外进行，控制变得繁琐。
4、因此，本专利技术的目的在于提供一种时机调整阀，能够于引导流体的压力降低至预定值以下时允许液体的流通，以解决存在于习知技术的问题。
5、[解决问题的技术手段]
6、鉴于上述目的，作为第一样貌，本专利技术提供一种时机调整阀，包含：一引导本体，设置有一第一埠、一第二端口及一驱动端口，该引导本体形成有一内部流路，该内部流路于该第一埠及该第二埠之间延伸；一止回阀机构部，允许自该第一埠向该第二埠的该内部流路内的流体的流通，且防止自该第二埠向该第一埠的该内部流路内的流体的流通；一时机调整机构部，经由对该驱动端口的驱动流体的供给及排出，而进行该内部流路的开闭；其中，该时机调整机构部配置为于该内部流路中与该止回阀机构部并列，且构成为于通过该驱动端口对该时机调整机构部供给及排出的驱动流体的压力成为预定值以下时，允许该第一埠与该第二埠之间的流体的流通。
7、上述时机调整阀中，允许自第一埠向第二埠的内部流路内的流体的流通且防止自第二埠向第一埠的内部流路内的流体的流通的止回阀机构部及经由对驱动端口的驱动流体的供给及排出而进行内部流路的开闭的时机调整机构部，在第一埠与第二埠之间延伸的内部流路中并列配置。因此，无关乎时机调整机构部的驱动流体的压力，而经由止回阀机构部使自第一埠向第二埠的流体的流通变成可能。另一方面，通过驱动端口对时机调整机构部供给及排出的驱动流体变成预定值以下时，自第二埠向第一埠的流体的流通开始，而能够控制自第二埠向第一埠的流体的流通的开始的时机。
8、作为上述时机调整阀的一个实施样貌，其中于该引导本体内更形成有一引导本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种时机调整阀，包含：
2.如权利要求1所述的时机调整阀，其中于该引导本体内更形成有引导汽缸室、引导阀室、连接孔、第一流路及第二流路，该引导汽缸室与该驱动端口连通，该引导阀室与该第二埠连通，该连接孔将该引导汽缸室及该引导阀室予以连接，该第一流路从该引导阀室延伸至该第一埠，该第二流路与该第一流路并排而延伸且连通于该第一埠及该第二埠，于到该引导阀室的该第一流路的开口的周缘部设有引导阀座，
3.如权利要求2所述的时机调整阀，其中该引导偏置构件配置为被夹持于该引导阀体部与该栓构件之间。
4.如权利要求3所述的时机调整阀，其中该栓构件螺接于该第一流路的端部，经由旋转该栓构件而调整该第一流路内的该栓构件的位置。
5.如权利要求2所述的时机调整阀，其中该引导本体包括第一引导框体及第二引导框体，于该第一引导框体设置该驱动端口、该引导汽缸室、该连接孔、该引导阀室及该第一流路，于该第二引导框体设置贯穿而延伸的插入孔、与该插入孔并排而延伸的第二流路、该第一埠及该第二埠，该第一引导框体插入该第二引导框体的该插入孔，而使该第二流路连通于该插入孔的内周面与
6.如权利要求5所述的时机调整阀，其中该止回阀机构部配置于该插入孔的内周面与该第一引导框体的外周面之间，且该止回阀机构部为具有得以挠曲的唇形构造部的唇形密封件，该唇形密封件配置为使该唇形构造部位于靠近该连通路的位置。
7.如权利要求6所述的时机调整阀，其中该唇形密封件选自U型密封件、V型密封件及Y型密封件中的一种。
8.一种回吸阀，包含：开闭阀部、回吸机构部及如权利要求1至7中任一项所述的时机调整阀，该开闭阀部进行流体通路的开闭，该回吸机构部配置于该开闭阀部的下游侧且于经由该开闭阀部的流体通路的封闭后进行该流体通路内的流体的回吸，
9.如权利要求8所述的回吸阀，更包含阀本体，该阀本体设有内部流路及回吸室，该内部流路包括入口流路及出口流路且用于让流体流通，该回吸室与该出口流路连通，于经由该开闭阀部的该内部流路的流体的流通的封闭后，使用该回吸机构部使该回吸室的容积增加，由此从该出口流路回吸流体，
10.如权利要求9所述的回吸阀，其中该回吸机构部于外周缘部更包含隔膜，该隔膜夹持于该回吸用驱动部框体与该阀本体之间，而将该回吸用驱动部框体与该阀本体之间予以分隔，该隔膜从该回吸活塞延伸而与一回吸杆的前端部连接，该回吸杆插通于设在该回吸汽缸室的底部的贯穿孔，经由随着该回吸活塞的移动的该隔膜的变形，使该回吸室的容积增加或减少。
11.如权利要求9所述的回吸阀，其中该阀本体设有阀室，该阀室与该入口流路连通且通过连通路而与该回吸室连通，与阀体接近或远离的阀座形成于从该入口流路到该阀室的开口的周缘部，
12.如权利要求10所述的回吸阀，其中该阀本体设有阀室，该阀室与该入口流路连通且通过连通路而与该回吸室连通，与阀体接近或远离的阀座形成于从该入口流路到该阀室的开口的周缘部，
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种时机调整阀，包含：
2.如权利要求1所述的时机调整阀，其中于该引导本体内更形成有引导汽缸室、引导阀室、连接孔、第一流路及第二流路，该引导汽缸室与该驱动端口连通，该引导阀室与该第二埠连通，该连接孔将该引导汽缸室及该引导阀室予以连接，该第一流路从该引导阀室延伸至该第一埠，该第二流路与该第一流路并排而延伸且连通于该第一埠及该第二埠，于到该引导阀室的该第一流路的开口的周缘部设有引导阀座，
3.如权利要求2所述的时机调整阀，其中该引导偏置构件配置为被夹持于该引导阀体部与该栓构件之间。
4.如权利要求3所述的时机调整阀，其中该栓构件螺接于该第一流路的端部，经由旋转该栓构件而调整该第一流路内的该栓构件的位置。
5.如权利要求2所述的时机调整阀，其中该引导本体包括第一引导框体及第二引导框体，于该第一引导框体设置该驱动端口、该引导汽缸室、该连接孔、该引导阀室及该第一流路，于该第二引导框体设置贯穿而延伸的插入孔、与该插入孔并排而延伸的第二流路、该第一埠及该第二埠，该第一引导框体插入该第二引导框体的该插入孔，而使该第二流路连通于该插入孔的内周面与该第一引导框体的外周面之间形成的间隙通路，并且经由跨越该第一引导框体及该第二引导框体而延伸的连通路使该第二埠与该引导阀室连通，该间隙通路与该连通路连接，该止回阀机构部配置于该间隙通路。
6.如权利要求5所述的时机调整阀，其中该止回阀机构部配置于该插入孔的内周面与该第一引导框体的外周面之间，且该止回阀机构部为具有得以挠曲的唇形构造部的唇形密封件，该唇形密封件配置为...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。