【技术实现步骤摘要】
本技术涉及旋涂，具体为一种旋涂用托盘及旋涂装置。
技术介绍
1、旋涂(或称旋转涂覆)是依靠工件旋转时产生的离心力及重力作用，将落在工件上的涂料液滴全面流布于工件表面的涂覆过程，旋涂工艺的应用范围十分广泛，在实验室用的旋涂装置中，需要将诸如玻片等旋涂基板放置在托盘上，通过托盘的转动带动旋涂基板转动，进而实现旋涂，然而在实际使用中，旋涂基板的放置需要通过手持的方式，且拿取不便。而且，在托盘转动的过程中会产生气流涡旋，气流涡旋对旋涂的均匀性影响十分大，难以保证旋涂成膜质量。
2、因此，本领域需要一种的新的旋涂用托盘及相应的旋涂装置来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本技术旨在解决上述技术问题，即，解决现有的旋涂用托盘不易于旋涂基板的取放以及托盘转动时产生的气流涡旋影响旋涂的均匀性进而旋涂成膜质量不佳的问题。
2、在一方面，本技术提供一种旋涂用托盘，所述旋涂用托盘包括主体，所述主体的顶部向下凹陷形成基板容纳部和用于围设所述基板容纳部的周边结构，所述周边结构具有抓取避让缺口，所述周边结构的外周侧呈圆弧设置。
3、在某些实施方式中，所述基板容纳部的形状为矩形，所述抓取避让缺口包括对应于所述基板容纳部的至少一组对角的角部避让缺口。
4、在某些实施方式中，所述角部避让缺口的数量为四个，所述角部避让缺口一一对应地设置在所述基板容纳部的角点处，四个所述角部避让缺口将所述周边结构分割成四个周边部分，所述周边部分的外周侧呈圆弧设置。
5、在某
6、在某些实施方式中，所述基板容纳部的内底部向上凸起形成有基板支起部，所述基板支起部的顶部位置低于所述周边结构的顶部位置，在旋涂基板被放置在所述基板支起部上的情形下，旋涂基板的底面与所述基板容纳部的内底部具有间隙。
7、在某些实施方式中，所述基板支起部与所述周边结构的内侧壁呈间隔设置。
8、在另一方面，本技术还提供一种旋涂装置，所述旋涂装置包括驱动电机和上述中任一项所述的旋涂用托盘，所述驱动电机的输出轴与所述主体连接并能够驱动所述主体转动。
9、在某些实施方式中，所述旋涂装置还包括角度锁定机构，所述驱动电机的输出轴上设置有第一限位部，所述角度锁定机构的输出端设置有第二限位部，所述角度锁定机构设置为能够使所述第二限位部与所述第一限位部彼此限位配合以将所述驱动电机的输出轴锁定在设定角度并因此使所述主体保持在旋涂基板的初始放置位置。
10、在某些实施方式中，所述第一限位部为形成在所述驱动电机的输出轴上的限位孔，所述第二限位部为限位销，所述角度锁定机构包括缸体和活塞件，所述活塞件滑动地设置在所述缸体中，所述活塞件的一部分露出所述缸体并与所述限位销连接。
11、在某些实施方式中，所述驱动电机的输出轴的一端与所述主体连接，所述驱动电机的输出轴的另一端设置所述第一限位部。
12、本技术的旋涂用托盘可以通过基板容纳部对旋涂基板进行容纳和承载，周边结构具有的抓取避让缺口能够便于采用手持或者自动夹持的方式将旋涂基板抬起/放下，提高操作的便捷性，周边结构的外周侧呈圆弧设置使得在托盘旋转的过程中能够尽可能降低气流涡旋，降低不均匀气流对旋涂的影响，使得旋涂更加均匀，提高旋涂成膜质量。
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1.一种旋涂用托盘，其特征在于，所述旋涂用托盘包括主体，所述主体的顶部向下凹陷形成基板容纳部和用于围设所述基板容纳部的周边结构，所述周边结构具有抓取避让缺口，所述周边结构的外周侧呈圆弧设置。
2.根据权利要求1所述的旋涂用托盘，其特征在于，所述基板容纳部的形状为矩形，所述抓取避让缺口包括对应于所述基板容纳部的至少一组对角的角部避让缺口。
3.根据权利要求2所述的旋涂用托盘，其特征在于，所述角部避让缺口的数量为四个，所述角部避让缺口一一对应地设置在所述基板容纳部的角点处，四个所述角部避让缺口将所述周边结构分割成四个周边部分，所述周边部分的外周侧呈圆弧设置。
4.根据权利要求3所述的旋涂用托盘，其特征在于，所有所述周边部分靠近所述基板容纳部的一侧的上边沿均呈斜角或圆角设置。
5.根据权利要求1所述的旋涂用托盘，其特征在于，所述基板容纳部的内底部向上凸起形成有基板支起部，所述基板支起部的顶部位置低于所述周边结构的顶部位置，在旋涂基板被放置在所述基板支起部上的情形下，旋涂基板的底面与所述基板容纳部的内底部具有间隙。
6.根据权利
7.一种旋涂装置，其特征在于，所述旋涂装置包括驱动电机和权利要求1至6中任一项所述的旋涂用托盘，所述驱动电机的输出轴与所述主体连接并能够驱动所述主体转动。
8.根据权利要求7所述的旋涂装置，其特征在于，所述旋涂装置还包括角度锁定机构，所述驱动电机的输出轴上设置有第一限位部，所述角度锁定机构的输出端设置有第二限位部，所述角度锁定机构设置为能够使所述第二限位部与所述第一限位部彼此限位配合以将所述驱动电机的输出轴锁定在设定角度并因此使所述主体保持在旋涂基板的初始放置位置。
9.根据权利要求8所述的旋涂装置，其特征在于，所述第一限位部为形成在所述驱动电机的输出轴上的限位孔，所述第二限位部为限位销，所述角度锁定机构包括缸体和活塞件，所述活塞件滑动地设置在所述缸体中，所述活塞件的一部分露出所述缸体并与所述限位销连接。
10.根据权利要求8所述的旋涂装置，其特征在于，所述驱动电机的输出轴的一端与所述主体连接，所述驱动电机的输出轴的另一端设置所述第一限位部。
...【技术特征摘要】
1.一种旋涂用托盘，其特征在于，所述旋涂用托盘包括主体，所述主体的顶部向下凹陷形成基板容纳部和用于围设所述基板容纳部的周边结构，所述周边结构具有抓取避让缺口，所述周边结构的外周侧呈圆弧设置。
2.根据权利要求1所述的旋涂用托盘，其特征在于，所述基板容纳部的形状为矩形，所述抓取避让缺口包括对应于所述基板容纳部的至少一组对角的角部避让缺口。
3.根据权利要求2所述的旋涂用托盘，其特征在于，所述角部避让缺口的数量为四个，所述角部避让缺口一一对应地设置在所述基板容纳部的角点处，四个所述角部避让缺口将所述周边结构分割成四个周边部分，所述周边部分的外周侧呈圆弧设置。
4.根据权利要求3所述的旋涂用托盘，其特征在于，所有所述周边部分靠近所述基板容纳部的一侧的上边沿均呈斜角或圆角设置。
5.根据权利要求1所述的旋涂用托盘，其特征在于，所述基板容纳部的内底部向上凸起形成有基板支起部，所述基板支起部的顶部位置低于所述周边结构的顶部位置，在旋涂基板被放置在所述基板支起部上的情形下，旋涂基板的底面与所述基板容纳部的内底部具有间隙。
6.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘博文，闫坤，刘子宜，熊杰，赵怡程，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：新型
国别省市：
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