用于基板滑动的轨道制造技术

技术编号:40132059 阅读:9 留言:0更新日期:2024-01-23 22:17
本技术涉及基板制备输送设备领域,公开一种用于基板滑动的轨道,包括位于基板两侧的轨道本体,轨道本体固定在机架上,轨道本体上设有凹槽,凹槽上设有用于基板滑动的承接边,承接边上设有滑轮,滑轮依次间隔位于承接边上,滑轮位于承接边上的槽体内,基板位于滑轮上滑动。本技术通过在承接边内设滑轮,在基板进行滑动的时候,滑轮可以进一步减少基板和凹槽上承接边之间的摩擦,减少基板摩擦的同时还能减少基板的散热,通过在凹槽上设承接边,可以减少基板在滑动的时候和凹槽之间的摩擦,并且承接边设有向上的弧形,可以增大基板和承接边之间的散热空间。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及基板制备输送设备,具体是一种用于基板滑动的轨道


技术介绍

1、传统的基板在运输的时候,直接将基板在轨道内进行滑动,这样简单的滑动,不仅会使得轨道对基板造成摩擦,而且长时间的摩擦会增加基板的热量,热量存在于基板和轨道之间,导致热量无法正常的散发出去,造成基板的损坏,从而影响基板后期的制作完工,延误工程进度。

2、为此,需要一种新的技术方案来解决上述技术问题。


技术实现思路

1、为了解决上述问题,本技术公开了一种用于基板滑动的轨道,能够减少基板和轨道之间的摩擦,增加基板的散热程度,减少基板的磨损。

2、本技术的技术方案为:用于基板滑动的轨道,包括位于基板两侧的轨道本体,轨道本体固定在机架上,轨道本体上设有凹槽,凹槽上设有用于基板滑动的承接边,承接边上设有滑轮,滑轮依次间隔位于承接边上,滑轮位于承接边上的槽体内,基板位于滑轮上滑动。

3、通过采用上述技术方案,通过将基板从上一道工序通过夹爪将基板拉直轨道本体上,然后基板在轨道本体的承接边上被夹爪拉动至下一道工序。

4、优选地,凹槽位于轨道本体的侧边的上部,轨道本体上的凹槽相对设置。

5、通过采用上述技术方案,凹槽内用于基板的滑动,凹槽设置在轨道本体的侧面,基板的两侧正好在凹槽内进行滑动。

6、优选地,承接边位于凹槽的底部外侧,承接边侧边和轨道本体的外侧壁在同一平面上,承接边和凹槽的侧壁之间设有间距。

7、通过采用上述技术方案,承接边的存在可以减少基板和凹槽底部之间的摩擦面积,减少基板的磨损,承接边和轨道本体在同一平面上,可以在基板滑动的时候第一时间就接触到承接边,避免基板和凹槽底部接触。

8、优选地,槽体间隔位于承接边的内部,槽体的深度大于滑轮的直径,槽体之间的间距小于基板的长度。

9、通过采用上述技术方案,槽体内正好用于滑轮的放置,滑轮可以在槽体进行转动,从而对基板起到滚动向前的作用,槽体之间的距离正好可以承接基板的滑动。

10、优选地,承接边之间的距离小于基板的宽度,凹槽内侧壁之间的距离大于基板的宽度。

11、通过采用上述技术方案,基板正好在承接边上进行滑动,凹槽内壁之间的距离比基板的宽度大,基板可以在凹槽自由滑动,不触碰到凹槽的内侧壁。

12、优选地,滑轮通过转动轴和承接边侧边转动连接,滑轮的顶部略高于承接边的上表面。

13、通过采用上述技术方案,滑轮正好可以在基板在凹槽内移动的时候,起到减少基板和承接边摩擦的效果,使得基板和承接板之间的滑动摩擦变成静摩擦,进一步减少基板和承接边之间的摩擦。

14、优选地,承接边的上表面为光滑的向上的弧型,承接边的正上方设有和承接边相对称的限位边。

15、通过采用上述技术方案,可以有效增加基板和承接边之间的散热空间,承接边上方的限位边用于搬运基板的夹爪在其上进行滑动。

16、本技术的有益之处:1、本技术通过在凹槽上设承接边,可以减少基板在滑动的时候和凹槽之间的摩擦,并且承接边设有向上的弧形,可以增大基板和承接边之间的散热空间。

17、2、本技术通过在承接边内设滑轮,在基板进行滑动的时候,滑轮可以进一步减少基板和凹槽上承接边之间的摩擦,减少基板摩擦的同时还能减少基板的散热。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.用于基板滑动的轨道,包括位于基板两侧的轨道本体,所述轨道本体固定在机架上,其特征在于:轨道本体上设有凹槽,所述凹槽上设有用于基板滑动的承接边,所述承接边上设有滑轮,所述滑轮依次间隔位于承接边上,所述滑轮位于承接边上的槽体内,所述基板位于滑轮上滑动。

2.根据权利要求1所述的用于基板滑动的轨道,其特征在于:所述凹槽位于轨道本体的侧边的上部,所述轨道本体上的凹槽相对设置。

3.根据权利要求1所述的用于基板滑动的轨道,其特征在于:所述承接边位于凹槽的底部外侧,所述承接边侧边和轨道本体的外侧壁在同一平面上,所述承接边和凹槽的侧壁之间设有间距。

4.根据权利要求1所述的用于基板滑动的轨道,其特征在于:所述槽体间隔位于承接边的内部,所述槽体的深度大于滑轮的直径,所述槽体之间的间距小于基板的长度。

5.根据权利要求1所述的用于基板滑动的轨道,其特征在于:所述承接边之间的距离小于基板的宽度,所述凹槽内侧壁之间的距离大于基板的宽度。

6.根据权利要求1所述的用于基板滑动的轨道,其特征在于:所述滑轮通过转动轴和承接边侧边转动连接,所述滑轮的顶部略高于承接边的上表面。

7.根据权利要求1所述的用于基板滑动的轨道,其特征在于:所述承接边的上表面为光滑的向上的弧型,所述承接边的正上方设有和承接边相对称的限位边。

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【技术特征摘要】

1.用于基板滑动的轨道,包括位于基板两侧的轨道本体,所述轨道本体固定在机架上,其特征在于:轨道本体上设有凹槽,所述凹槽上设有用于基板滑动的承接边,所述承接边上设有滑轮,所述滑轮依次间隔位于承接边上,所述滑轮位于承接边上的槽体内,所述基板位于滑轮上滑动。

2.根据权利要求1所述的用于基板滑动的轨道,其特征在于:所述凹槽位于轨道本体的侧边的上部,所述轨道本体上的凹槽相对设置。

3.根据权利要求1所述的用于基板滑动的轨道,其特征在于:所述承接边位于凹槽的底部外侧,所述承接边侧边和轨道本体的外侧壁在同一平面上,所述承接边和凹槽的侧壁之间设有间距。

4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘祥坤李跟玉周豆
申请(专利权)人:芯朋半导体科技如东有限公司
类型:新型
国别省市:

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