【技术实现步骤摘要】
本申请涉及气密性测试，特别是涉及一种泄漏测试设备及方法。
技术介绍
1、随着对各类产品气密性要求的提高，氦检被广泛应用于制造业、汽车业、航空航天、电子与半导体等领域。如接触器广泛应用于高压电路中，不仅可以接通和切断电路，而且还可以起释放保护作用，接触器内部密封一定压力的保护气体，可有效保证接触器的可靠性。因此，在接触器出厂之前，对接触器进行气密性检测尤为重要。
2、目前，通常将接触器连接于测试设备上，通过测试设备中的真空泵将接触器抽至一定的真空度，在接触器周围进行氦气喷吹，若是测试设备的氦检仪显示氦含量超过氦漏设定值，则表示接触器存在气密性问题。但是上述测试设备单次仅能对一个接触器进行氦检检测，导致接触器的泄漏测试效率过低。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对现有接触器的泄漏测试效率过低的问题，提供一种泄漏测试设备及方法。
2、一种泄漏测试设备，所述泄漏测试设备包括：
3、主管路，所述主管路上设置有抽真空装置与供氮装置；
4、多条支管路，多条所述支管路并行设置，且均连接于所述主管路的其中一个端部，所述支管路远离所述主管路的端部能够连接待测产品，且各所述支管路均设置有控制所述支管路与所述主管路连通或关闭的控制阀；
5、供氦装置，所述供氦装置设置于所述主管路外侧，用于朝向所述待测产品表面喷射氦气；
6、氦检仪，所述氦检仪设置于所述主管路和/或所述支管路，用于检测所述待测产品内部的氦气量是否大于氦漏设定值。
...【技术保护点】
1.一种泄漏测试设备，其特征在于，所述泄漏测试设备包括：
2.根据权利要求1所述的泄漏测试设备，其特征在于，所述主管路包括第一主路与第二主路，所述第一主路与所述第二主路并行设置，且所述第一主路与所述第二主路的端部均连接于多条所述支管路上，所述抽真空装置设置于所述第一主路，且在所述第一主路上设置有真空计，所述供氮装置设置于所述第二主路。
3.根据权利要求2所述的泄漏测试设备，其特征在于，所述第一主路包括第三主路与第四主路，所述第三主路与所述第四主路并行设置，且所述第三主路与所述第四主路的端部汇聚并连接于多条所述支管路上；
4.根据权利要求2所述的泄漏测试设备，其特征在于，所述氦检仪设置于所述第一主路或所述第二主路。
5.根据权利要求1所述的泄漏测试设备，其特征在于，所述控制阀包括多个阀门，且多个所述阀门在所述支管路的延伸方向上间隔设置。
6.根据权利要求1所述的泄漏测试设备，其特征在于，所述泄漏测试设备还包括氦气供给管路，所述氦气供给管路包括汇流管路及连接于所述汇流管路的多条供气管路，所述供氦装置连接于所述汇流管路远离所述
7.根据权利要求1所述的泄漏测试设备，其特征在于，所述泄漏测试设备还包括供气装置与供气气路，所述供气气路包括主气路及连接于所述主气路的多条支气路，所述供气装置连接于所述主气路远离所述支气路的端部，多条所述支气路并行设置，且与多条所述支管路相对应，所述支气路远离所述主气路的端部能够连接所述待测产品，以在所述待测产品测试完成后，用于朝向所述待测产品内部充盈填充保护气体。
8.一种如权利要求1-7任一项所述的泄漏测试设备的泄漏测试方法，其特征在于，所述泄漏测试方法包括以下步骤：
9.根据权利要求8所述的泄漏测试方法，其特征在于，若在所述步骤S105中，所述氦检仪显示数值大于氦漏设定值，则依次对任一所述支管路上的所述待测产品重复所述步骤S101、所述步骤S102、所述步骤S103、所述步骤S104与所述步骤S105。
10.根据权利要求8所述的泄漏测试方法，其特征在于，所述步骤S102结束后的所述真空度设定值为50Pa-100Pa，所述气压设定值为30Psi，所述第一设定时间为2s，所述第二设定时间为10s，所述氦漏设定值为3e-8 atm·cc/sec。
...【技术特征摘要】
1.一种泄漏测试设备，其特征在于，所述泄漏测试设备包括：
2.根据权利要求1所述的泄漏测试设备，其特征在于，所述主管路包括第一主路与第二主路，所述第一主路与所述第二主路并行设置，且所述第一主路与所述第二主路的端部均连接于多条所述支管路上，所述抽真空装置设置于所述第一主路，且在所述第一主路上设置有真空计，所述供氮装置设置于所述第二主路。
3.根据权利要求2所述的泄漏测试设备，其特征在于，所述第一主路包括第三主路与第四主路，所述第三主路与所述第四主路并行设置，且所述第三主路与所述第四主路的端部汇聚并连接于多条所述支管路上；
4.根据权利要求2所述的泄漏测试设备，其特征在于，所述氦检仪设置于所述第一主路或所述第二主路。
5.根据权利要求1所述的泄漏测试设备，其特征在于，所述控制阀包括多个阀门，且多个所述阀门在所述支管路的延伸方向上间隔设置。
6.根据权利要求1所述的泄漏测试设备，其特征在于，所述泄漏测试设备还包括氦气供给管路，所述氦气供给管路包括汇流管路及连接于所述汇流管路的多条供气管路，所述供氦装置连接于所述汇流管路远离所述供气管路的端部，多条所述供气管路并行设置，且与多条所述支管路相对应，所述供气管路远...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆贺，田宁，
申请(专利权)人：苏州华兴源创科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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