【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及外延炉设备，特别是涉及一种外延炉喷淋装置。
技术介绍
1、外延炉是一种用于生产半导体材料的设备，其通过在基底表面沉积薄膜来形成半导体结构。外延炉中的气体喷淋装置起到均匀混合和喷射工艺气体的作用，以确保外延过程中的气氛控制和材料质量。
2、目前，现有的外延炉喷淋装置存在一些问题和限制，首先，由于混合气体的比例直接影响到外延过程中材料的质量和性能，因此需要能够精确控制混合气体的比例。但是，现有的喷淋装置在控制混合气体比例方面存在一定的局限性，需要大量的流量控制器和压力调节器来进行流量控制，使得整个流量控制体系存在复杂性和制造成本高的问题。
3、因此，需要提供一种新型的外延炉喷淋装置，能够解决现有技术中存在的问题和限制，提供更好的混合气体控制，同时使整个流量控制体系具有简单的结构和低制造成本。
技术实现思路
1、本专利技术实施例所要解决的技术问题在于，提供一种外延炉喷淋装置，通过调整导气管和阻气塞的数量来控制对应的气体流动腔中的气体的流量，以及控制混合气体的比例，结构简单，制造成本较低。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种外延炉喷淋装置，包括：
3、壳体，包括相连的底板和侧板，所述底板上设有多个第一出气孔，所述侧板上设有至少两个进气孔；
4、上盖，盖设在所述壳体上；
5、至少一个喷淋隔板，设在所述上盖和所述底板之间，任意相邻的所述上盖、所述喷淋隔板和所述底板之间形成气体流动腔，所述进气孔和所
6、其中，所述导气管或所述阻气塞的数量可根据对应的气体流动腔的所需的气体流量调整。
7、在一个可行的实现方式中，所述至少一个喷淋隔板包括第一喷淋隔板和第二喷淋隔板；所述侧板为台阶式，所述侧板包括自所述上盖朝向所述底板的方向上依次相连的第一侧板部、第二侧板部和第三侧板部，所述第一侧板部的壁厚小于所述第二侧板部的壁厚，所述第二侧板部的壁厚小于所述第三侧板部的壁厚；所述第一侧板部与所述第二侧板部之间形成第一台阶面，所述第二侧板部与所述第三侧板部之间形成第二台阶面；
8、所述第一喷淋隔板放置于所述第一台阶面上，所述第二喷淋隔板放置于所述第二台阶面上。
9、在一个可行的实现方式中，所述至少两个进气孔包括设在所述第一侧板部上的第一进气孔、设在所述第二侧板部上的第二进气孔和设在所述第三侧板部上的第三进气孔；
10、所述上盖和所述第一喷淋隔板之间形成第一气体流动腔，所述第一气体流动腔与所述第一进气孔连通；所述第一喷淋隔板和所述第二喷淋隔板之间形成第二气体流动腔，所述第二气体流动腔与所述第二进气孔连通；所述第二喷淋隔板和所述底板之间形成第三气体流动腔；所述第三气体流动腔与所述第三进气孔连通。
11、在一个可行的实现方式中，所述第一喷淋隔板包括第一圆板和与所述第一圆板的边沿相连的第一翼缘板；所述第一翼缘板与所述第一侧板部的内壁之间具有第一径向空隙，所述第一翼缘板与所述上盖之间具有第一轴向空隙。
12、在一个可行的实现方式中，所述第二喷淋隔板包括第二圆板和与所述第二圆板的边沿相连的第二翼缘板；所述第二翼缘板与所述第二侧板部的内壁之间具有第二径向空隙，所述第二翼缘板与所述上盖之间具有第二轴向空隙。
13、在一个可行的实现方式中，所述喷淋装置还包括喷淋底板，所述喷淋底板放置在所述底板上；所述喷淋底板包括第三圆板和与所述第三圆板的边沿相连的第三翼缘板；所述第三翼缘板与所述第三侧板部的内壁之间具有第三径向空隙，所述第三翼缘板与所述上盖之间具有第三轴向空隙。
14、在一个可行的实现方式中，所述第一圆板上开设有第一导气孔，所述第二圆板上开设有第二导气孔，所述第三圆板上开设有第三导气孔，所述底板上开设有第四导气孔；
15、所述第一导气孔、所述第二导气孔、所述第三导气孔和所述第四导气孔的数量和位置均相同。
16、在一个可行的实现方式中，所述第一导气孔内穿设有第一导气管或第一阻气塞，所述第一导气管的一端与所述第一气体流动腔连通、另一端穿过对应位置的所述第二导气孔、所述第三导气孔和所述第四导气孔与所述外延炉连通；所述第一阻气塞用于封闭对应的所述第一导气孔。
17、在一个可行的实现方式中，所述第二导气孔内穿设有第二导气管或第二阻气塞，所述第二导气管的一端与所述第二气体流动腔连通、另一端穿过对应位置的所述第三导气孔和所述第四导气孔与所述外延炉连通；所述第二阻气塞用于封闭对应的所述第二导气孔。
18、在一个可行的实现方式中，所述第一导气管为中空管状结构，所述第一导气管上朝向所述第一气体流动腔的一端设有第一端盖，所述第一端盖上设有多个第一通气孔。
19、在一个可行的实现方式中，所述第二导气管的结构与所述第一导气管的结构相同，所述第二导气管的长度小于所述第一导气管的长度。
20、在一个可行的实现方式中，所述第三圆板上设有第二出气孔，所述第二出气孔与第一出气孔的数量和位置均相同。
21、在一个可行的实现方式中，所述上盖、所述第一圆板、所述第二圆板、所述第三圆板和所述底板上穿设有探温管。
22、在一个可行的实现方式中，所述第一侧板部、所述第二侧板部、所述第三侧板部和所述底板一体成型。
23、在一个可行的实现方式中，所述上盖与所述壳体可拆卸的连接。
24、实施本专利技术，具有如下有益效果：
25、本申请提供的一种外延炉喷淋装置，包括：壳体，包括相连的底板和侧板，底板上设有多个第一出气孔，侧板上设有至少两个进气孔；上盖，盖设在壳体上；至少一个喷淋隔板，设在上盖和底板之间，任意相邻的上盖、喷淋隔板和底板之间形成气体流动腔，进气孔和气体流动腔一一对应地流体连通；喷淋隔板上设有多个导气孔，导气孔内穿设有导气管或阻气塞；气体流动腔通过导气管或第一出气孔与外延炉流体连通；其中，导气管或阻气塞的数量可根据对应的气体流动腔的所需的气体流量调整，通过调整导气管和阻气塞的数量来控制对应的气体流动腔中的气体的流量，以及控制混合气体的比例，结构简单，制造成本较低。
26、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
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1.一种外延炉喷淋装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述至少一个喷淋隔板(3)包括第一喷淋隔板(31)和第二喷淋隔板(32)；所述侧板(12)为台阶式，所述侧板(12)包括自所述上盖(2)朝向所述底板(11)的方向上依次相连的第一侧板部(122)、第二侧板部(123)和第三侧板部(124)，所述第一侧板部(122)的壁厚小于所述第二侧板部(123)的壁厚，所述第二侧板部(123)的壁厚小于所述第三侧板部(124)的壁厚；所述第一侧板部(122)与所述第二侧板部(123)之间形成第一台阶面(125)，所述第二侧板部(123)与所述第三侧板部(124)之间形成第二台阶面(126)；
3.根据权利要求2所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述至少两个进气孔(121)包括设在所述第一侧板部(122)上的第一进气孔(1211)、设在所述第二侧板部(123)上的第二进气孔(1212)和设在所述第三侧板部(124)上的第三进气孔(1213)；
4.根据权利要求2所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述第一喷淋隔板(31
5.根据权利要求4所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置还包括喷淋底板(4)，所述喷淋底板(4)放置在所述底板(11)上；所述喷淋底板(4)包括第三圆板(41)和与所述第三圆板(41)的边沿相连的第三翼缘板(42)；所述第三翼缘板(42)与所述第三侧板部(124)的内壁之间具有第三径向空隙(421)，所述第三翼缘板(42)与所述上盖(2)之间具有第三轴向空隙(422)。
6.根据权利要求5所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述第一圆板(311)上开设有第一导气孔(351)，所述第二圆板(321)上开设有第二导气孔(352)，所述第三圆板(41)上开设有第三导气孔(411)，所述底板(11)上开设有第四导气孔(112)；
7.根据权利要求6所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述第一导气孔(351)内穿设有第一导气管(361)或第一阻气塞(37)，所述第一导气管(361)的一端与所述第一气体流动腔(341)连通、另一端穿过对应位置的所述第二导气孔(352)、所述第三导气孔(411)和所述第四导气孔(112)与所述外延炉连通；所述第一阻气塞(37)用于封闭对应的所述第一导气孔(351)；
8.根据权利要求7所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述第一导气管(361)为中空管状结构，所述第一导气管(361)上朝向所述第一气体流动腔(341)的一端设有第一端盖(3611)，所述第一端盖(3611)上设有多个第一通气孔(3612)；
9.根据权利要求5所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述第三圆板(41)上设有第二出气孔(412)，所述第二出气孔(412)与第一出气孔(111)的数量和位置均相同。
10.根据权利要求5所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述上盖(2)、所述第一圆板(311)、所述第二圆板(321)、所述第三圆板(41)和所述底板(11)上穿设有探温管(5)。
...【技术特征摘要】
1.一种外延炉喷淋装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述至少一个喷淋隔板(3)包括第一喷淋隔板(31)和第二喷淋隔板(32)；所述侧板(12)为台阶式，所述侧板(12)包括自所述上盖(2)朝向所述底板(11)的方向上依次相连的第一侧板部(122)、第二侧板部(123)和第三侧板部(124)，所述第一侧板部(122)的壁厚小于所述第二侧板部(123)的壁厚，所述第二侧板部(123)的壁厚小于所述第三侧板部(124)的壁厚；所述第一侧板部(122)与所述第二侧板部(123)之间形成第一台阶面(125)，所述第二侧板部(123)与所述第三侧板部(124)之间形成第二台阶面(126)；
3.根据权利要求2所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述至少两个进气孔(121)包括设在所述第一侧板部(122)上的第一进气孔(1211)、设在所述第二侧板部(123)上的第二进气孔(1212)和设在所述第三侧板部(124)上的第三进气孔(1213)；
4.根据权利要求2所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述第一喷淋隔板(31)包括第一圆板(311)和与所述第一圆板(311)的边沿相连的第一翼缘板(312)；所述第一翼缘板(312)与所述第一侧板部(122)的内壁之间具有第一径向空隙(3121)，所述第一翼缘板(312)与所述上盖(2)之间具有第一轴向空隙(3122)；
5.根据权利要求4所述的外延炉喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置还包括喷淋底板(4)，所述喷淋底板(4)放置在所述底板(11)上；所述喷淋底板(4)包括第三圆板(41)和与所述第三圆板(41)的边沿相...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏玉山，
申请(专利权)人：希科半导体科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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