【技术实现步骤摘要】
本专利技术总体涉及控制流体流动。更具体地，本公开涉及控制半导体处理系统中的流体流动，例如用于在半导体器件制造期间将膜沉积到衬底上的半导体处理系统中的流体流动。
技术介绍
1、半导体处理系统，例如用于在半导体器件制造期间将材料层沉积到衬底上的半导体处理系统，通常在半导体器件制造期间使用流体流。在一些半导体处理操作中，流体可能含有危险材料。例如，用于将材料层沉积到衬底上的半导体处理系统可以使用包含已知对人体健康有害、易燃和/或具有腐蚀性的材料的流体。半导体处理系统也可能排出含有危险材料的排放流，例如在处理操作期间产生的残留材料层前体和/或反应产物。为了确保安全，半导体处理系统因此通常包括有效限制(或消除)与处理期间包含危险材料的流体流相关的风险的对策。例如，用于控制含有危险材料的流体流量的流动控制设备通常容纳在外壳内—在处理期间流体从流动控制设备中泄漏的不太可能的情况下，使用通风流对外壳进行通风，以从外壳内去除危险材料。出于类似的原因，惰性气体和/或稀释剂通常混合到包含半导体处理系统在半导体处理期间产生的易燃和/或腐蚀性材料的排放流中。
2、通常，提供给流动控制设备的通风流的流量的大小根据可能通过流动控制设备的危险材料的最大流量来确定。这确保了在流动控制设备在全开位置失效的情况下降低风险。这同样适用于提供给排放流的惰性气体和稀释剂的流量，其通常也根据排放流中可能存在的危险材料的最大流量来确定大小，该最大流量基于提供对排放流中的危险材料负责的流体的流动控制设备的流量额定值。虽然在限制处理期间提供和/或产生的危险材料所伴随的
3、这种系统和方法通常被认为适于它们的预期目的。然而，在本领域中仍需要改进的流动控制装置、具有流动控制装置的半导体处理系统以及流动控制方法。本公开提供了对这种需求的解决方案。
技术实现思路
1、提供了一种流动控制装置。流动控制装置包括壳体、隔离阀和流动开关。壳体安置入口导管和出口导管。隔离阀布置在壳体中，并连接到入口导管。流动开关布置在壳体中，连接到隔离阀，并且将出口导管流体联接到隔离阀。流动开关还具有关断触发，并且可操作地连接到隔离阀，以在流经隔离阀的流量大于关断触发时关闭隔离阀。
2、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，进一步示例可以包括流动控制装置的壳体包括包围隔离阀和流动开关的防篡改主体。
3、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，进一步示例可以包括流动控制装置可以包括继电器和螺线管。继电器可以布置在壳体的外部，并且可操作地与流动开关相关联。螺线管可以电连接到继电器并布置在壳体中。螺线管可以可操作地连接到隔离阀，以在流经流动开关的流体的流量大于关断触发时关闭隔离阀。
4、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，流动控制装置的其他示例可以包括内部通信线束、电连接器、外部通信电缆和控制器。内部通信线束布置在壳体中，连接到隔离阀，并进一步连接到流动开关。电连接器连接到内部通信线束，并且位于在壳体的壁中。外部通信电缆布置在壳体的外部，并连接到电连接器。控制器连接到外部通信电缆，并通过外部通信电缆、电连接器和内部通信线束将流动开关可操作地连接到隔离阀。
5、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，流动控制装置的进一步示例可以包括控制器，其布置在壳体的外部并且可操作地将流动开关连接到隔离阀。
6、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，流动控制装置的进一步示例可以包括控制器包括安全可编程逻辑控制器设备。
7、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，进一步示例可以包括控制器包括处理器，其布置成与具有非暂时性机器可读介质的存储器通信，该非暂时性机器可读介质上记录有包含指令的多个程序模块。这些指令可以使处理器接收来自流动开关的关断信号，并在接收到来自流动开关的关断信号时向隔离阀提供关闭信号。
8、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，进一步示例可以包括隔离阀是第一隔离阀，并且流动控制装置包括第二隔离阀。第二隔离阀可以布置在壳体中，并将第一隔离阀联接到出口导管。第二隔离阀可以可操作地与流动开关相关联。
9、除了上述一个或多个特征之外，或者作为替代，进一步示例可以包括第一继电器、第一螺线管、第二继电器和第二螺线管。第一继电器可以布置在壳体的外部，并且可操作地与流动开关相关联。第一螺线管可以电连接到继电器，布置在壳体中，并且可操作地连接到第一隔离阀，以在流经流动开关的流体的流量大于关断触发时关闭第一隔离阀。第二继电器可以布置在壳体的外部，并且可操作地与流动开关相关联。第二螺线管可以电连接到布置在壳体中的第二继电器，并且可操作地连接到第二隔离阀，以在流经流动开关的流体的流量大于关断触发时关闭第二隔离阀。
10、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，进一步示例可以包括流动控制装置包括内部通信线束、电控制器、外部通信电缆和控制器。内部通信线束可以布置在壳体中，并连接到第一隔离阀、流动开关和第二隔离阀。电连接器可以连接到内部通信线束并位于在壳体的壁中。外部通信电缆可以连接到电连接器并布置在壳体的外部。控制器可以连接到外部通信电缆，并且可操作地将流动开关连接到第一隔离阀和第二隔离阀。
11、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，进一步示例可以包括控制器具有处理器，其布置成与具有非暂时性机器可读介质的存储器通信，该非暂时性机器可读介质具有记录在包含指令的存储器上的多个程序模块。这些指令可以使处理器接收来自流动开关的关断信号，在接收到来自流动开关的关断信号时向第一隔离阀提供第一关闭信号，并且在接收到来自流动开关的关断信号时向第二隔离阀提供第二关闭信号。
12、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，进一步示例可以包括流动开关是第一流动开关，并且流动控制装置还包括第二流动开关。第二流动开关可将第一流动开关联接到出口导管，并可操作地连接到隔离阀。
13、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，进一步示例可以包括关断触发是第一关断触发，并且第二流动开关具有第二关断触发。第二关断触发可以与第一关断触发基本相当。
14、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，进一步示例可以包括关断触发是第一关断触发，并且第二流动开关具有第二关断触发。第二关断触发不同于第一关断触发，例如可以大于或小于第一关断触发。
15、除了上述的一个或多个特征之外，或者作为替代，流动控制装置的进一步示例可以包括布置在壳体外部的控制器。控制器可以可操作地将第一流动开关和第二流动开关连接到隔离阀。
16、除了上述的一个本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种流动控制装置，包括：
2.根据权利要求1所述的流动控制装置，其中，所述壳体包括包围所述隔离阀和流动开关的防篡改主体。
3.根据权利要求1所述的流动控制装置，还包括：
4.根据权利要求1所述的流动控制装置，还包括：
5.根据权利要求1所述的流动控制装置，还包括控制器，其布置在所述壳体的外部，并且将所述流动开关可操作地连接到所述隔离阀。
6.根据权利要求5的流动控制装置，其中，所述控制器包括安全可编程逻辑控制器设备。
7.根据权利要求5所述的流动控制装置，其中，所述控制器包括与存储器通信的处理器，所述存储器包括记录有多个程序模块的非暂时性机器可读介质，所述程序模块包含指令，所述指令在被处理器读取时使处理器：
8.根据权利要求1所述的流动控制装置，其中，所述隔离阀是第一隔离阀，并且还包括第二隔离阀，其中第二隔离阀布置在所述壳体中，并且将第一隔离阀联接到所述出口导管，并且其中第二隔离阀可操作地与所述流动开关相关联。
9.根据权利要求8所述的流动控制装置，还包括：
10.根据
11.根据权利要求9所述的流动控制装置，其中，所述控制器包括与存储器通信的处理器，所述存储器包括记录有多个程序模块的非暂时性机器可读介质，所述程序模块包含指令，所述指令在被处理器读取时使处理器：
12.根据权利要求1所述的流动控制装置，其中，所述流动开关是第一流动开关，并且还包括第二流动开关，其中第二流动开关将第一流动开关联接到所述出口导管，并且可操作地连接到所述隔离阀。
13.根据权利要求12所述的流动控制装置，其中，所述关断触发是第一关断触发，并且所述第二流动开关具有第二关断触发，其中第二关断触发与第一关断触发相当。
14.根据权利要求12所述的流动控制装置，其中，所述关断触发是第一关断触发，并且所述第二流动开关具有第二关断触发，其中第二关断触发大于或小于第一关断触发。
15.根据权利要求12所述的流动控制装置，还包括布置在所述壳体的外部的控制器，其中控制器可操作地将所述第一流动开关和第二流动开关连接到所述隔离阀。
16.根据权利要求1所述的流动控制装置，其中，所述隔离阀是第一隔离阀，并且所述流动开关是第一流动开关，所述流动控制装置还包括：
17.根据权利要求16所述的流动控制装置，其中，所述第一流动开关可操作地连接到所述第一隔离阀和第二隔离阀，其中，所述第二流动开关可操作地连接到第一隔离阀和第二隔离阀。
18.根据权利要求16所述的流动控制装置，其中，所述第一流动开关和第二流动开关中的一个仅可操作地连接到所述第一隔离阀和第二隔离阀中的一个。
19.一种半导体处理系统，包括：
20.根据权利要求19所述的半导体处理系统，还包括连接到所述气体箱并向气体箱提供通风流的通风源，其中通风流相对于所述流动控制设备的流量额定值过小。
21.根据权利要求19所述的半导体处理系统，还包括：
22.一种流动控制方法，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种流动控制装置，包括：
2.根据权利要求1所述的流动控制装置，其中，所述壳体包括包围所述隔离阀和流动开关的防篡改主体。
3.根据权利要求1所述的流动控制装置，还包括：
4.根据权利要求1所述的流动控制装置，还包括：
5.根据权利要求1所述的流动控制装置，还包括控制器，其布置在所述壳体的外部，并且将所述流动开关可操作地连接到所述隔离阀。
6.根据权利要求5的流动控制装置，其中，所述控制器包括安全可编程逻辑控制器设备。
7.根据权利要求5所述的流动控制装置，其中，所述控制器包括与存储器通信的处理器，所述存储器包括记录有多个程序模块的非暂时性机器可读介质，所述程序模块包含指令，所述指令在被处理器读取时使处理器：
8.根据权利要求1所述的流动控制装置，其中，所述隔离阀是第一隔离阀，并且还包括第二隔离阀，其中第二隔离阀布置在所述壳体中，并且将第一隔离阀联接到所述出口导管，并且其中第二隔离阀可操作地与所述流动开关相关联。
9.根据权利要求8所述的流动控制装置，还包括：
10.根据权利要求8所述的流动控制装置，还包括：
11.根据权利要求9所述的流动控制装置，其中，所述控制器包括与存储器通信的处理器，所述存储器包括记录有多个程序模块的非暂时性机器可读介质，所述程序模块包含指令，所述指令在被处理器读取时使处理器：
12.根据权利要求1所述的流动控制装置，其中，所述流动开关是第一流动开关，并且还包括第二流动开关，其中...
【专利技术属性】
技术研发人员：G·霍尔布鲁克，M·费斯勒，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：
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