【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，尤其涉及一种石英制品弧面冷抛设备及冷抛方法。
技术介绍
1、石英产品是应用日益广泛的高新技术材料，如石英圆弧、圆锥作为半导体行业的部件材料。石英产品需要光滑的外观，通过火焰抛光后冷抛来实现。
2、现有技术，通常将圆弧、圆锥类石英制品放置在工作台上，由作业员手持磨光机对产品进行冷抛，此作业方式，在冷抛过程中很容易造成表面损伤，尺寸精度、均匀性等难以把握，作业难度大，人工成本高，作业效率和产品良率低。
3、因此，有必要提出一种石英制品弧面冷抛设备及冷抛方法以解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种石英制品弧面冷抛设备及冷抛方法，用以改善现有的人工冷抛产品质量低、作业难度大、人工成本高、作业效率和产品良率低的问题。
2、本专利技术提供了一种石英制品弧面冷抛设备，该冷抛设备包括：所述冷抛设备包括：腔体、转台、第一驱动件、冷抛液供给组件、机械手臂以及磨光机；所述腔体内部中空且顶部为敞口；所述转台可旋转地安装于所述腔体内，所述转台呈水平设置且用于承托石英制品；所述第一驱动件与所述转台驱动连接且用于驱动所述转台旋转；所述冷抛液供给组件用于向所述石英制品喷射冷抛液；所述机械手臂靠近所述腔体设置，所述机械手臂具有位置可移动调节的移动端，所述机械手臂可伸入所述腔体内；所述磨光机安装于所述移动端上且用于对喷射有所述冷抛液的石英制品的弧面进行抛光加工。
3、在一种可能的实施例中，所述磨光机包括打磨盘以及与所述打
4、在一种可能的实施例中，该冷抛设备还包括设于所述转台表面的限位机构，所述限位机构用于对所述石英制品进行限位。
5、在一种可能的实施例中，所述转台呈圆形状；所述限位机构包括可径向移动调节地安装于所述转台之上的若干个限位块，若干个所述限位块沿所述转台的周向方向均匀分布，通过若干个所述限位块挡设于所述石英制品的外侧以对所述石英制品进行限位。
6、在一种可能的实施例中，所述转台的顶面设有若干个调节孔，若干个所述调节孔沿所述转台的周向方向均匀分布，所述调节孔的设置方向与所述转台的径向方向一致，所述转台的底面对应所述调节孔设有凹槽，所述凹槽沿所述调节孔的长度方向通长设置且与所述调节孔连通；所述调节孔与所述限位块一一对应设置，每个所述限位块上穿设有紧固件，所述紧固件的底端穿过对应的所述调节孔并伸入对应的所述凹槽内，通过螺母螺纹连接于所述紧固件的底端，以将所述限位块锁紧固定于所述转台上，在锁紧所述限位块之前，通过移动调节所述紧固件在所述调节孔内的位置，以实现对所述限位块的径向移动调节。
7、在一种可能的实施例中，所述转台的顶面设有以所述转台中心为圆心且呈环形状的若干个定位槽，若干个所述定位槽的半径不相同以用于定位不同尺寸的所述石英制品。
8、在一种可能的实施例中，该冷抛设备还包括机架和内部中空的桶体；所述腔体安装于所述机架上；所述桶体位于所述腔体的下方且内部装有冷抛液；所述冷抛液供给组件包括输送管、喷头以及输送泵，所述输送管的一端安装于所述桶体上且另一端伸入所述腔体内，所述喷头安装于所述输送管的另一端且朝向所述石英制品设置，所述输送泵安装于所述输送管上。
9、在一种可能的实施例中，所述桶体与所述腔体的底部之间安装有导管，通过所述导管回收流入所述腔体底部的冷抛液。
10、在一种可能的实施例中，该冷抛设备还包括安装于所述移动端上的压力传感器，所述压力传感器用于检测所述磨光机对所述石英制品的压力。
11、本专利技术还提供了一种石英制品弧面冷抛方法，该冷抛方法包括：
12、启动所述第一驱动件，通过所述第一驱动件驱动所述转台旋转；
13、通过所述冷抛液供给组件向所述石英制品表面喷射冷抛液；
14、启动所述磨光机，控制所述机械手臂沿所述石英制品的表面上下来回移动，以使所述磨光机对喷射有所述冷抛液的石英制品的弧面进行抛光加工，在所述转台的旋转作用下，使所述磨光机完成对所述石英制品整个弧面的抛光加工。
15、本专利技术的有益效果在于：操作人员可以根据实际冷抛加工需求设定转台旋转速度、机械手臂的移动轨迹等，启动程序后，所述机械手臂可以带着所述磨光机对所述石英制品表面进行自动冷抛加工，从而提高了产品质量、产品精度、作业效率、产品良率，降低了作业难度和人工成本。
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1.一种石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，所述冷抛设备包括：腔体、转台、第一驱动件、冷抛液供给组件、机械手臂以及磨光机；
2.根据权利要求1所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，所述磨光机包括打磨盘以及与所述打磨盘驱动连接的第二驱动件；
3.根据权利要求1所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，还包括设于所述转台表面的限位机构，所述限位机构用于对所述石英制品进行限位。
4.根据权利要求3所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，所述转台呈圆形状；
5.根据权利要求4所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，所述转台的顶面设有若干个调节孔，若干个所述调节孔沿所述转台的周向方向均匀分布，所述调节孔的设置方向与所述转台的径向方向一致，所述转台的底面对应所述调节孔设有凹槽，所述凹槽沿所述调节孔的长度方向通长设置且与所述调节孔连通；
6.根据权利要求1-5中任一项所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，所述转台的顶面设有以所述转台中心为圆心且呈环形状的若干个定位槽，若干个所述定位槽的半径不相同以用于定位不同尺寸的所述石英制品。>
7.根据权利要求1-5中任一项所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，还包括机架和内部中空的桶体；
8.根据权利要求7所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，所述桶体与所述腔体的底部之间安装有导管，通过所述导管回收流入所述腔体底部的冷抛液。
9.根据权利要求1-5中任一项所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，还包括安装于所述移动端上的压力传感器，所述压力传感器用于检测所述磨光机对所述石英制品的压力。
10.一种石英制品弧面冷抛方法，其特征在于，所述冷抛方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，所述冷抛设备包括：腔体、转台、第一驱动件、冷抛液供给组件、机械手臂以及磨光机；
2.根据权利要求1所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，所述磨光机包括打磨盘以及与所述打磨盘驱动连接的第二驱动件；
3.根据权利要求1所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，还包括设于所述转台表面的限位机构，所述限位机构用于对所述石英制品进行限位。
4.根据权利要求3所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，所述转台呈圆形状；
5.根据权利要求4所述的石英制品弧面冷抛设备，其特征在于，所述转台的顶面设有若干个调节孔，若干个所述调节孔沿所述转台的周向方向均匀分布，所述调节孔的设置方向与所述转台的径向方向一致，所述转台的底面对应所述调节孔设有凹槽，所述凹槽沿所述调节孔的长度方向通长...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，周韦军，吕红兵，钱配志，谢栋磊，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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