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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及特气供应系统,尤其是涉及一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法。
技术介绍
1、大宗特种气体系统主要用于超大规模集成电路厂(气体种类包括s ih4、n20、co2、c2f6、nh3、nf3等)、100mw以上的太阳能光伏电池生产线(气体种类包括s ih4、nh3)、化合物半导体外延工序线(气体种类包括nh3等)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括sih4、nh3、nf3等)、光纤(气体种类包括s ici4、omcts)、硅材料外延生产线(气体种类包括sici4、hci)等行业。它们的投资规模巨大,采用先进的工艺生产设备,用气需求较大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
2、本条从大宗特种气体系统的工艺流程、安全特性提出了大宗特种气体系统设备及管路配置要求。系统的气体供应能力由气源瓶的供气压力变化与气体流程管道及零部件造成的压力损失决定,供应能力要经过相应的热力学和流体力学计算核实。液化气体瓶的大宗特种气体系统设计合适的钢瓶加热与保温装置是由于气体经过调压阀减压后的焦耳一汤普孙效应,气体减压后,温度会降低,甚至液化,从而使输送压力的不稳定以及管路系统的损坏,因此需要考虑在减压前对气体进行预热和保温。
3、现有的技术中,由于大宗特种气体的焦耳一汤姆孙效应明显,对于大流量输送系统,特种气体高压变低压输送时不加热或加热不均匀,会使得调压阀会出现结霜现象,严重时会造成膜片变脆,无法调节压力,可通过对气体进行加热来解决,而现有工厂绝大部分的加热方式是在调压阀缠绕加热带加热,来减
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足,本专利技术的目的是提供一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其通过在调节阀上安装加热马甲,并在输气管路上安装两级加热模块,能够明显地改善高压气体变低压气体吸热导致的结冰结露情况。
2、本专利技术的上述专利技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
3、一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,包括以下步骤:压力为1400-2400ps i高压气体,在气柜bsgs端通过第一加热模块加热进高压阀门减压至250-300ps i,再进第二加热模块到低压阀门减压至70-120ps i,两级调压阀门上分别配置加热马甲,气柜bsgs内部管道全部利用加热线进行螺旋缠绕。
4、作为本专利技术的进一步的技术方案:所述加热马甲包括保温层以及固定在所述保温层上的加热带,所述加热带缠绕覆盖在所述调压阀门的阀体上,所述加热带连接有电线,所述电线的另一端外接220v的交流电。
5、作为本专利技术的进一步的技术方案:所述加热马甲电连接有控制系统,所述控制系统用于控制电流和电压来实现对加热带的调节,从而使得加热带达到所需的温度。
6、作为本专利技术的进一步的技术方案:所述控制系统包括plc模块以及与所述plc模块连接的功率控制器、温度控制器以及气柜显示屏,所述功率控制器用于对输出至所述加热带的加热功率进行调节,所述温度控制器用于对温度进行调节,所述气柜显示屏用于设置温度参数程序。
7、作为本专利技术的进一步的技术方案:所述plc模块内设置有温度保护电路、电流过载保护电路。
8、作为本专利技术的进一步的技术方案:所述加热带内的加热元件由铂、钨、铬其中的一种加热元件材料制成。
9、作为本专利技术的进一步的技术方案:所述加热带的尾端固定在所述保温层上,另一端与电线电连接,所述加热带呈一端开口的矩形状分布在所述保温层上。
10、作为本专利技术的进一步的技术方案:所述加热马甲内安装有温度探头,所述温度探头通过电线与所述plc模块连接,所述温度探头用于实时监测所述加热马甲内的温度。
11、综上所述,本专利技术包括以下至少一种有益技术效果:
12、1.本专利技术公开了一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其通过在调节阀上安装加热马甲,并在输气管路上安装两级加热模块,能够明显地改善高压气体变低压气体吸热导致的结冰结露情况。
13、2.本专利技术中加热马甲它具有加热速度快、温度控制精确的优点,由于采用了电阻加热的方式,加热块可以迅速将物体加热到所需温度,并且可以通过精确的温度控制系统来控制加热过程,确保加热的准确性和稳定性。其次,缠绕覆盖加热具有均匀加热的特点。通过合理设计加热元件的布局和控制系统的调节,可以实现对物体的均匀加热,避免了热处理过程中可能出现的温度不均匀的问题。此外,加热马甲还具有结构简单、使用方便的特点,可以满足不同领域的加热需求。
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1.一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,包括以下步骤:压力为1400-2400psi高压气体,在气柜(1)BSGS端通过第一加热模块(2)加热进高压阀门减压至250-300psi,再进第二加热模块(3)到低压阀门减压至70-120psi,两级调压阀门(4)上分别配置加热马甲(5),气柜(1)BSGS内部管道全部利用加热线进行螺旋缠绕。
2.根据权利要求1所述的一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,所述加热马甲(5)包括保温层(51)以及固定在所述保温层(51)上的加热带(52),所述加热带(52)缠绕覆盖在所述调压阀门(4)的阀体上,所述加热带(52)连接有电线,所述电线的另一端外接220V的交流电。
3.根据权利要求2所述的一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,所述加热马甲(5)电连接有控制系统,所述控制系统用于控制电流和电压来实现对加热带(52)的调节,从而使得加热带(52)达到所需的温度。
4.根据权利要求3所述的一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,所述控制系统包
5.根据权利要求4所述的一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,所述PLC模块内设置有温度保护电路、电流过载保护电路。
6.根据权利要求2所述的一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,所述加热带(52)内的加热元件由铂、钨、铬其中的一种加热元件材料制成。
7.根据权利要求2所述的一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,所述加热带(52)的尾端固定在所述保温层(51)上,另一端与电线电连接,所述加热带(52)呈一端开口的矩形状分布在所述保温层(51)上。
8.根据权利要求1所述的一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,所述加热马甲(5)内安装有温度探头(6),所述温度探头(6)通过电线与所述PLC模块连接,所述温度探头(6)用于实时监测所述加热马甲(5)内的温度。
...【技术特征摘要】
1.一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,包括以下步骤:压力为1400-2400psi高压气体,在气柜(1)bsgs端通过第一加热模块(2)加热进高压阀门减压至250-300psi,再进第二加热模块(3)到低压阀门减压至70-120psi,两级调压阀门(4)上分别配置加热马甲(5),气柜(1)bsgs内部管道全部利用加热线进行螺旋缠绕。
2.根据权利要求1所述的一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,所述加热马甲(5)包括保温层(51)以及固定在所述保温层(51)上的加热带(52),所述加热带(52)缠绕覆盖在所述调压阀门(4)的阀体上,所述加热带(52)连接有电线,所述电线的另一端外接220v的交流电。
3.根据权利要求2所述的一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,所述加热马甲(5)电连接有控制系统,所述控制系统用于控制电流和电压来实现对加热带(52)的调节,从而使得加热带(52)达到所需的温度。
4.根据权利要求3所述的一种新型控制特气高低压调节阀温度变化的方法,其特征在于,所述控制系统包括pl...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈勇,朱万良,肖东雷,
申请(专利权)人:上海韩科建设工程有限公司,
类型:发明
国别省市:
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