【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及烧结炉，具体是一种ito靶材均匀加热的烧结炉。
技术介绍
1、加热时，烧结炉体内腔容易受热不均匀，导致ito靶材各个面受热温度不一，无法保证成品质量，靶材不能得到均匀的受热。
2、公开号为cn115790139a的专利文件公开了一种立式烧结炉，包括炉体和炉门，所述炉门安装于炉体顶部开口处，所述炉体和炉门之间安设有可将其两者进行锁定的抱箍，所述炉体和炉门之间安设有升降旋转组件，所述升降旋转组件的下端与炉体外壁连接，所述升降旋转组件的上端与炉门外侧顶部连接，所述升降旋转组件带动炉门竖直向上移动至抱箍上侧，继而螺旋上移在水平方向远离炉体。本专利技术的炉门开启装置结构紧凑，操作方便，制造成本低，通过第一油缸推动升降主轴沿着导向槽竖直向上移动将炉门顶升，随着导向槽轨迹的变化，升降主轴螺旋上移，带动炉门在水平方向远离炉体，实现炉门开启工作，炉门开启状态时，炉门在水平方向远离炉体，从而使炉体顶部更开放，便于装卸工件。
3、上述装置存在以下不足，上述装置在使用时无法快速地针对靶材进行轮换，烧结过程中缺乏保持温度各处均匀分布的结构，烧结用时较长，且上述装置没有针对筒状ito靶材的稳定结构，不能快速对完成烧结和准备烧结的ito靶材进行更替，同时上述装置缺乏对烧结炉内部的热量进行导流的结构，存在内侧顶部温度竖直向下逐渐降低的温度不均的现象。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于针对上述存在的问题和不足，提供一种ito靶材均匀加热的烧结炉，提升了整体的工作效率。p>
2、本专利技术所解决的技术问题为：
3、(1)上述装置在使用时无法快速地针对靶材进行轮换，烧结过程中缺乏保持温度各处均匀分布的结构，烧结用时较长；
4、(2)上述装置没有针对筒状ito靶材的稳定结构，不能快速对完成烧结和准备烧结的ito靶材进行更替；
5、(3)上述装置缺乏对烧结炉内部的热量进行导流的结构，存在内侧顶部温度竖直向下逐渐降低的温度不均的现象。
6、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种ito靶材均匀加热的烧结炉，包括烧结箱，烧结箱的顶部设有密封顶盖，密封顶盖下表面的前后两侧均密封固定连接有密封侧板，烧结箱的左右两侧均安装有第一推杆，第一推杆的伸缩端安装有连接块，连接块与密封顶盖固定连接，烧结箱底部的前后两侧均安装有支撑侧台，支撑侧台上滑动设有支撑箱，密封顶盖的下表面中部安装有安装板，安装板下表面安装有若干个呈等角度均匀分布的加热竖管，安装板下且位于每个加热竖管周围分别安装有支撑竖架，支撑竖架上安装有呈等距均匀分布的加热环管，烧结箱的底部中心处安装有隔热箱，隔热箱内安装有第二推杆，第二推杆的伸缩端安装有驱动电机，驱动电机的驱动轴上端固定连接有花键轴。
7、作为专利技术进一步的方案，密封顶盖和烧结箱密封抵接，密封侧板和烧结箱密封抵接，支撑箱上表面中部贯穿嵌设有支撑嵌板，支撑嵌板上表面中部贯穿嵌设有若干个呈等角度均匀分布的旋转盒，旋转盒上表面中部贯穿嵌设有支撑网板，旋转盒与加热竖管一一对应，烧结箱的底部中心处以及支撑箱的底部中心处均安装有花键套，烧结箱和支撑箱均与所安装的花键套密封转动连接，花键轴与花键套密封滑动连接。
8、作为专利技术进一步的方案，支撑侧台的中部嵌设有推料滑台，推料滑台的滑块上安装有推杆架，推杆架靠近烧结箱的一端安装有卡接架，支撑箱的前后两端均开设有配合卡接架对接的卡接槽。
9、作为专利技术进一步的方案，支撑侧台的上表面与烧结箱底部上表面的左右两侧均开设有限位滑槽，支撑箱的底部两侧边缘处均安装有限位嵌杆，限位嵌杆和限位滑槽相互配合，烧结箱的内侧底部上表面四角处均嵌设有弹簧卡珠，支撑箱的底部四角对应开设有珠形槽。
10、作为专利技术进一步的方案，旋转盒的内侧中部安装有导风筒，导风筒的外周底部开设有若干个呈等角度均匀分布的导风槽，旋转盒内且位于导风筒轴心处活动穿设有第一传动轴，第一传动轴与旋转盒转动连接，第一传动轴的上端与支撑网板转动连接，第一传动轴的上部外周安装有导风扇叶，第一传动轴的下端外周安装有第一齿轮，旋转盒的底部外周安装有传动齿环。
11、作为专利技术进一步的方案，支撑箱的内侧底部中心处安装有主动齿轮，主动齿轮通过推力轴承与支撑箱转动连接，主动齿轮与各个第一齿轮分别啮合传动，主动齿轮的轴心处开设有配合花键轴的花键槽。
12、作为专利技术进一步的方案，支撑箱的内侧底部中心处安装有主动齿轮，主动齿轮通过推力轴承与支撑箱转动连接，主动齿轮与各个第一齿轮分别啮合传动，主动齿轮的轴心处开设有配合花键轴的花键槽。
13、作为专利技术进一步的方案，支撑箱内且位于旋转盒的外周一侧转动连接有第二传动轴，各个第二传动轴呈等角度均匀分布，第二传动轴、第一传动轴以及花键轴共面并且平行，第二传动轴和第一传动轴一一对应。
14、作为专利技术进一步的方案，第二传动轴的下端由下向上依次安装有第二齿轮和第三齿轮，支撑箱内且位于第二齿轮和第一齿轮之间转动连接有传动齿轮，第二齿轮和第一齿轮一一对应，第二齿轮和第一齿轮均分别与传动齿轮啮合传动，第三齿轮与传动齿环啮合传动，支撑箱的内侧壁上安装有定位块，第二传动轴的上端与定位块转动连接。
15、作为专利技术进一步的方案，ito靶材底部设有支撑垫板，第一推杆通过隔热板安装在烧结箱的侧面。
16、本专利技术的有益效果：
17、(1)工作时，通过支撑箱盛装筒状的ito靶材，并将ito靶材通过支撑垫板放置在支撑网板的上表面中心，通过多个支撑箱实现连续盛装、烧结和轮换，加快烧结轮换的节奏，提高烧结生产的效率，卡接架通过卡接槽与支撑箱对接，方便推料滑台准确推动支撑箱进行移动和顶推的步骤，并使得推料滑台将各个支撑箱准确移动至烧结箱内侧中心或另一个支撑侧台上，烧结时，通过第一推杆升起密封顶盖和密封侧板，空出烧结箱的前后两侧，随后外侧的待烧结的支撑箱推入烧结箱并将内侧烧结完成的支撑箱推出，实现快速轮换，待烧结的支撑箱移动至烧结箱内的准确位置后，第一推杆收缩，密封顶盖和密封侧板与烧结箱的各个接缝处均抵接密封，避免内部热量外流，降低能耗损失，烧结时，加热竖管插入筒状的ito靶材的中心处，加热环管套设在筒状的ito靶材外周，且加热竖管和加热环管均与ito靶材侧壁有间隙，从而使得ito靶材进行内外两侧同时升温烧结，缩短ito靶材的烧结时长，提高ito靶材的烧结均匀度，同时第二推杆伸展，推动花键轴的上端穿过烧结箱和支撑箱的花键套且伸入到支撑箱内，驱动旋转盒和支撑网板带着所盛装的ito靶材旋转，从而进一步地使得ito靶材各处均匀受热升温烧结，烧结结束后，第二推杆收缩，花键轴收回，方便轮换，从而既确保了烧结效率的极大提升，又确保了烧结效果的均匀度，保质保量地烧结ito靶材；
18、(2)工作时，将筒状的ito靶材通过支撑垫板放置在支撑网板的上表面中部，保持稳定，通过限位嵌杆和限位滑槽相配合，使得支撑箱在移动时保持移动方向和整体姿态的不偏斜，通过弹簧卡珠和珠形槽的对应嵌合，使得支本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，包括烧结箱(1)，所述烧结箱(1)的顶部设有密封顶盖(2)，密封顶盖(2)下表面的前后两侧均密封固定连接有密封侧板(3)，所述烧结箱(1)的左右两侧均安装有第一推杆(12)，第一推杆(12)的伸缩端安装有连接块(14)，连接块(14)与密封顶盖(2)固定连接，所述烧结箱(1)底部的前后两侧均安装有支撑侧台(4)，支撑侧台(4)上滑动设有支撑箱(5)，所述密封顶盖(2)的下表面中部安装有安装板(17)，安装板(17)下表面安装有若干个呈等角度均匀分布的加热竖管(18)，安装板(17)下且位于每个加热竖管(18)周围分别安装有支撑竖架(19)，支撑竖架(19)上安装有呈等距均匀分布的加热环管(20)，所述烧结箱(1)的底部中心处安装有隔热箱(21)，隔热箱(21)内安装有第二推杆(22)，第二推杆(22)的伸缩端安装有驱动电机(23)，驱动电机(23)的驱动轴上端固定连接有花键轴(24)。
2.根据权利要求1所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述密封顶盖(2)和烧结箱(1)密封抵接，所述密封侧板(3)和烧结箱
3.根据权利要求1所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑侧台(4)的中部嵌设有推料滑台(9)，推料滑台(9)的滑块上安装有推杆架(10)，推杆架(10)靠近烧结箱(1)的一端安装有卡接架(11)，所述支撑箱(5)的前后两端均开设有配合卡接架(11)对接的卡接槽。
4.根据权利要求1所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑侧台(4)的上表面与烧结箱(1)底部上表面的左右两侧均开设有限位滑槽(15)，所述支撑箱(5)的底部两侧边缘处均安装有限位嵌杆(16)，限位嵌杆(16)和限位滑槽(15)相互配合，所述烧结箱(1)的内侧底部上表面四角处均嵌设有弹簧卡珠(36)，支撑箱(5)的底部四角对应开设有珠形槽。
5.根据权利要求2所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述旋转盒(7)的内侧中部安装有导风筒(25)，导风筒(25)的外周底部开设有若干个呈等角度均匀分布的导风槽(26)，旋转盒(7)内且位于导风筒(25)轴心处活动穿设有第一传动轴(27)，第一传动轴(27)与旋转盒(7)转动连接，第一传动轴(27)的上端与支撑网板(8)转动连接，第一传动轴(27)的上部外周安装有导风扇叶(28)，第一传动轴(27)的下端外周安装有第一齿轮(29)，所述旋转盒(7)的底部外周安装有传动齿环(35)。
6.根据权利要求1所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑箱(5)的内侧底部中心处安装有主动齿轮(30)，主动齿轮(30)通过推力轴承(37)与支撑箱(5)转动连接，主动齿轮(30)与各个第一齿轮(29)分别啮合传动，主动齿轮(30)的轴心处开设有配合花键轴(24)的花键槽(41)。
7.根据权利要求6所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑箱(5)的内侧底部中心处安装有主动齿轮(30)，主动齿轮(30)通过推力轴承(37)与支撑箱(5)转动连接，主动齿轮(30)与各个第一齿轮(29)分别啮合传动，主动齿轮(30)的轴心处开设有配合花键轴(24)的花键槽(41)。
8.根据权利要求7所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑箱(5)内且位于旋转盒(7)的外周一侧转动连接有第二传动轴(31)，各个第二传动轴(31)呈等角度均匀分布，第二传动轴(31)、第一传动轴(27)以及花键轴(24)共面并且平行，第二传动轴(31)和第一传动轴(27)一一对应。
9.根据权利要求8所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述第二传动轴(31)的下端由下向上依次安装有第二齿轮(32)和第三齿轮(34)，所述支撑箱(5)内且位于第二齿轮(32)和第一齿轮(29)之间转动连接有传动齿轮(33)，第二齿轮(32)和第一齿轮(29)一一对应，第二齿轮(32)和第一齿轮(29)均分别与传动齿轮(33)啮合传动，第三齿轮(34)与传动齿环(35)啮合传动，支撑箱(5)的内侧壁上安装有定位块(40)，第二传动轴(3...
【技术特征摘要】
1.一种ito靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，包括烧结箱(1)，所述烧结箱(1)的顶部设有密封顶盖(2)，密封顶盖(2)下表面的前后两侧均密封固定连接有密封侧板(3)，所述烧结箱(1)的左右两侧均安装有第一推杆(12)，第一推杆(12)的伸缩端安装有连接块(14)，连接块(14)与密封顶盖(2)固定连接，所述烧结箱(1)底部的前后两侧均安装有支撑侧台(4)，支撑侧台(4)上滑动设有支撑箱(5)，所述密封顶盖(2)的下表面中部安装有安装板(17)，安装板(17)下表面安装有若干个呈等角度均匀分布的加热竖管(18)，安装板(17)下且位于每个加热竖管(18)周围分别安装有支撑竖架(19)，支撑竖架(19)上安装有呈等距均匀分布的加热环管(20)，所述烧结箱(1)的底部中心处安装有隔热箱(21)，隔热箱(21)内安装有第二推杆(22)，第二推杆(22)的伸缩端安装有驱动电机(23)，驱动电机(23)的驱动轴上端固定连接有花键轴(24)。
2.根据权利要求1所述的一种ito靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述密封顶盖(2)和烧结箱(1)密封抵接，所述密封侧板(3)和烧结箱(1)密封抵接，所述支撑箱(5)上表面中部贯穿嵌设有支撑嵌板(6)，支撑嵌板(6)上表面中部贯穿嵌设有若干个呈等角度均匀分布的旋转盒(7)，旋转盒(7)上表面中部贯穿嵌设有支撑网板(8)，所述旋转盒(7)与加热竖管(18)一一对应，所述烧结箱(1)的底部中心处以及支撑箱(5)的底部中心处均安装有花键套，烧结箱(1)和支撑箱(5)均与所安装的花键套密封转动连接，花键轴(24)与花键套密封滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种ito靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑侧台(4)的中部嵌设有推料滑台(9)，推料滑台(9)的滑块上安装有推杆架(10)，推杆架(10)靠近烧结箱(1)的一端安装有卡接架(11)，所述支撑箱(5)的前后两端均开设有配合卡接架(11)对接的卡接槽。
4.根据权利要求1所述的一种ito靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑侧台(4)的上表面与烧结箱(1)底部上表面的左右两侧均开设有限位滑槽(15)，所述支撑箱(5)的底部两侧边缘处均安装有限位嵌杆(16)，限位嵌杆(16)和限位滑槽(15)相互配合，所述烧结箱(1)的内侧底部上表面四角处均嵌设有弹簧卡珠(36)，支撑箱(5)的底部四角对应开设有珠形槽。
5.根据权利要求2所述的一种it...
【专利技术属性】
技术研发人员：高建成，张廷，张莉兰，徐涛，钟小华，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：
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