【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于涉及太阳能电池，尤其涉及一种提高硼se结构topcon电池钝化性能的方法。
技术介绍
1、近年，随着光伏电池新技术、新工艺的开发和利用，光伏发电行业得到了迅猛发展，n型电池作为支撑新能源发展和智能电网的关键技术，已成为光伏产业的发展热点。2023年已进入n-topcon电池的时代，而硼se结构已成为行业标配。目前，行业内在硼se结构topcon电池的制作过程中，在经过激光处理后，直接进行氧化，制得电池。在实际应用过程发现，所得的电池在开路电压和光电转换效率表现得并非十分稳定。经研究发现，激光处理时使得硅片分成激光接触区(简称接触区)和激光非接触区(简称非接触区)，详见图1，其中，非接触区残留有金属离子、表面沾污以及硼扩散时形成的硼硅玻璃层，影响其氧化钝化效果，进而影响了电池电池的开路电压和光电转换效率。
技术实现思路
1、针对上述问题，本专利技术提供了一种提高硼se结构topcon电池钝化性能的方法，通过引入氧化酸洗步骤，该步骤不仅可以使硅片在进入扩散炉前更洁净，减少污染，而且有效提升非接触区钝化性能，从而提高电池的开路电压和光电转换效率。
2、本专利技术目的在于提供一种提高硼se结构topcon电池钝化性能的方法，所述方法包括：
3、对n型硅片进行表面制绒；
4、在制绒后的硅基片上进行一次硼扩散，形成扩散结；
5、采用激光对栅线接触区域进行掺杂推进；
6、进行氧化酸洗，随后放回扩散炉内进行氧化形成选择性发射
7、其中，所述氧化酸洗包括：
8、在设定温度下的h2o2和hcl的混合水溶液中清洗；
9、随后常温下用hf清洗溶液清洗，使硅片表面呈斥水状态。
10、进一步地，所述制绒采用氢氧化钠溶液，氢氧化钠浓度为1％-4％，制绒的温度为65-80℃，反应时间为10-1000s。
11、进一步地，所述硼扩散中，硼源为三氯化硼，反应温度为800-900℃，三氯化硼流量为50-1000sccm，通源时间为100-1000s，推进时间为300-3000s。
12、进一步地，所述掺杂推进，所述激光为纳秒或皮秒激光，激光功率15-40w，扫描速度20-25m/s。
13、进一步地，所述设定温度为62-65℃。
14、进一步地，所述h2o2和hcl的混合水溶液中，h2o2、hcl、h2o的体积比为1:2-4:10-20。
15、进一步地，所述h2o2和hcl的混合水溶液洗涤中，清洗时间为60-600s。
16、进一步地，所述hf清洗溶液的质量浓度为5-30％。
17、进一步地，所述hf清洗溶液清洗时间为60-600s。
18、进一步地，所述扩散炉中氧化操作中氧化温度为1000-1050℃，氧化时间为30-3000s，氧气流量为1000-30000sccm。
19、本专利技术的有益效果：
20、本专利技术提供的一种提高硼se结构topcon电池钝化性能的方法，可以使硅片在进入扩散炉前更洁净，避免将污染源带入扩散炉管；
21、有效提升非接触区钝化性能，从而提高电池的开路电压和光电转换效率。
22、本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所指出的结构来实现和获得。
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1.一种提高硼SE结构TOPCon电池钝化性能的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种提高硼SE结构TOPCon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述制绒采用氢氧化钠溶液，氢氧化钠浓度为1％-4％，制绒的温度为65-80℃，反应时间为10-1000s。
3.根据权利要求1所述的一种提高硼SE结构TOPCon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述硼扩散中，硼源为三氯化硼，反应温度为800-900℃，三氯化硼流量为50-1000sccm，通源时间为100-1000s，推进时间为300-3000s。
4.根据权利要求1所述的一种提高硼SE结构TOPCon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述掺杂推进，所述激光为纳秒或皮秒激光，激光功率15-40W，扫描速度20-25m/s。
5.根据权利要求1所述的一种提高硼SE结构TOPCon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述设定温度为62-65℃。
6.根据权利要求1所述的一种提高硼SE结构TOPCon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述H2O2和HCl的混合水溶液中，H2O2
7.根据权利要求1所述的一种提高硼SE结构TOPCon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述H2O2和HCl的混合水溶液洗涤中，清洗时间为60-600s。
8.根据权利要求1所述的一种提高硼SE结构TOPCon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述HF清洗溶液的质量浓度为5-30％。
9.根据权利要求1所述的一种提高硼SE结构TOPCon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述HF清洗溶液清洗时间为60-600s。
10.根据权利要求1-9任一所述的一种提高硼SE结构TOPCon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述扩散炉中氧化操作中氧化温度为1000-1050℃，氧化时间为30-3000s，氧气流量为1000-30000sccm。
...【技术特征摘要】
1.一种提高硼se结构topcon电池钝化性能的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种提高硼se结构topcon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述制绒采用氢氧化钠溶液，氢氧化钠浓度为1％-4％，制绒的温度为65-80℃，反应时间为10-1000s。
3.根据权利要求1所述的一种提高硼se结构topcon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述硼扩散中，硼源为三氯化硼，反应温度为800-900℃，三氯化硼流量为50-1000sccm，通源时间为100-1000s，推进时间为300-3000s。
4.根据权利要求1所述的一种提高硼se结构topcon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述掺杂推进，所述激光为纳秒或皮秒激光，激光功率15-40w，扫描速度20-25m/s。
5.根据权利要求1所述的一种提高硼se结构topcon电池钝化性能的方法，其特征在于，所述设定温度为62-65℃。
【专利技术属性】
技术研发人员：杨露，宋志成，倪玉凤，张婷，阮妙，
申请(专利权)人：青海黄河上游水电开发有限责任公司西宁太阳能电力分公司，
类型：发明
国别省市：
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